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[发明专利]一种基于PVDF薄膜的柔性振动传感器及其制备方法-CN202010201290.1有效
发明人：杨成韬;谢易微;孙贤;孙星林 -专利权人：电子科技大学
申请日： 2020-03-20 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： H10N30/30 文献下载
摘要：本发明涉及一种基于PVDF薄膜的柔性振动传感器，属于传感技术领域。本发明提出的传感器具有良好的柔韧性、延展性、可自由弯曲甚至折叠，而且结构形式灵活多样，可根据测量物体表面条件的要求任意布置，能够非常方便地对复杂的测量物体表面进行检测，可在生物医疗、桥梁等具有不规则表面的领域发挥重大作用。此外，本发明还涉及一种基于PVDF薄膜的柔性振动传感器的制备方法，该方法适用的薄膜尺寸灵活、能大大缩短薄膜封装成器件的时间，同时也不会对PVDF薄膜造成损伤，且与现有生产工艺相兼容，同时具有封装操作方便、封装耗时短、封装尺寸小、反应灵敏等优点，封装后的PVDF器件可以很好的将接收到的振动信号转化成电荷信号，适于大规模的推广使用。
一种基于 pvdf 薄膜柔性振动传感器及其制备方法

[发明专利]可控制薄膜成分的镶嵌靶材实验设计方法-CN202010123673.1有效
发明人：杨成韬;孙贤;谢易微 -专利权人：电子科技大学
申请日： 2020-02-27 - 公布日： 2022-01-25 - 主分类号： C23C14/06 文献下载
摘要：本发明提供一种可控制薄膜成分的镶嵌靶材实验设计方法，根据磁场仿真得到靶材表面不同位置的磁场分布，以此来排列镶嵌孔在靶材上的位置，从而制备均匀性c轴取向AlN薄膜，并理论计算掺杂薄膜的含量；包含以下步骤：(1)根据磁场仿真计算靶材表面不同位置的磁场分布；(2)利用废旧靶材，测量靶材表面由于磁控溅射而凹下去的部分所形成的刻蚀跑道，记录凹陷位置高度沿径向的变化曲线；(3)比较磁场分布图和靶材表面刻蚀轨道，安排镶嵌孔的位置，并求得薄膜中Sc、Er、Al原子的理论含量。本发明使用镶嵌靶可实现多种元素掺杂，并能够准确控制和计算所沉积薄膜成分，相比传统合金靶能够实现掺杂浓度的调控，制备高度均匀一致性薄膜。
控制薄膜成分镶嵌实验设计方法