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- [发明专利]晶圆载片台的角度补偿方法-CN202211392616.9在审
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谢世敏;陶靖飞
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精芯智能装备（苏州）有限公司
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2022-11-08
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2023-09-29
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H01L21/66
- 本发明提供一种晶圆载片台的角度补偿方法，其包括：S1、选取两个参照点A、B，根据所述两个参照点A、B，确定所述晶圆载片台的旋转中心点；S2、记录所述晶圆载片台旋转n周时，记录滑块移动的位置T1、T2……Tn，及对应的角度偏差值e1、e2……en，建立Tn‑en的对应关系；S3、在对晶圆角度偏差补偿的时候，当ei值位于[ea,eb]区间范围，则根据Ta‑ea和Tb‑eb对应关系形成线性关系，得到滑块水平移动补偿距离Ti。本发明通过选取两个参照点，来实现晶圆载片台旋转中心的确定。并根据两个参照点及确定的旋转中心，建立滑块位置与晶圆角度偏差的Tn‑en关系，据此可通过滑块带动晶圆旋转至需求的位置。
- 晶圆载片台角度补偿方法
- [实用新型]晶圆厚度检测装置-CN202222437756.5有效
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谢世敏;王然;李艳来
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精芯智能装备（苏州）有限公司
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2022-09-15
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2023-04-07
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G01B11/06
- 本实用新型提供一种晶圆厚度检测装置，其包括：升降机构、开盖机构以及厚度检测机构；所述升降机构能够带动所述开盖机构以及厚度检测机构的整体进行升降运动；所述开盖机构包括：解锁销以及驱动单元，所述解锁销按照盒盖上的解锁位置进行设置，所述驱动单元能够带动所述解锁销进行枢转解锁动作；所述厚度检测机构包括光纤单元，所述光纤单元按照厚度检测方向进行设置，并位于所述开盖机构的上方。本实用新型的晶圆厚度检测装置中，通过设置开盖机构可自动将存放晶圆的料盒盒盖打开，并在升降机构的驱动下，通过厚度检测机构对叠放的各晶圆的厚度进行逐一检测，其具有较高的检测效率，克服了现有技术中存在的缺陷。
- 厚度检测装置
- [实用新型]针尖视觉识别装置-CN202222437828.6有效
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谢世敏;王然;李艳来
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精芯智能装备（苏州）有限公司
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2022-09-15
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2022-12-27
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G01B11/00
- 本实用新型提供一种针尖视觉识别装置，其包括：第一视觉识别机构和第二视觉识别机构，两个视觉识别单元并排设置；所述第一视觉识别机构包括：第一光源、第二光源、远心镜头以及第一相机模组；所述第二视觉识别机构包括：高倍镜头以及第二相机模组。本实用新型的针尖视觉识别装置中，设置有两组视觉识别机构，通过该两组视觉识别机构可以先对针尖位置进行初步识别，再对针尖进行高精度识别，进而有利于实现对于探针针尖的有效识别。此外，通过对第二光源进行优化设计，有利于保证光源汇聚位置与相机物距基本处在同一高度，进而提高照明的效果。
- 针尖视觉识别装置
- [实用新型]固定装置及检测系统-CN202221944474.8有效
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谢世敏;陶靖飞
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精芯智能装备（苏州）有限公司
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2022-07-26
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2022-11-29
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G01R1/04
- 本实用新型公开了一种固定装置及检测系统。其中，固定装置包括第一固定架、固定盘和多个固定组件；第一固定架设置有第一孔；各固定组件围绕第一孔安装于第一固定架上，固定组件包括第一驱动器和固定件，第一驱动器用于驱使固定件进入或脱离第一孔；固定件设置有第一连接部和第一抵持部，第一连接部与第一驱动器的输出端连接；固定盘设置有底面，固定盘设置于第一孔内，第一抵持部与底面抵持。通过多个固定件的抵持能够实现固定盘在第一孔内的固定，且当检测操作完成后需要更换固定盘或探针卡时，将固定盘沿底面方向从第一固定架上拆卸即可，不需要等检测装置复位后，再进行固定盘的取出，提高拆卸效率。
- 固定装置检测系统
- [实用新型]晶圆料盒开锁机构及上料装置-CN202221205532.5有效
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谢世敏;陶靖飞
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精芯智能装备（苏州）有限公司
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2022-05-19
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2022-10-21
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H01L21/677
- 本实用新型公开了一种晶圆料盒开锁机构及上料装置，晶圆料盒开锁机构包括传动杆、驱动件、开锁件及旋转件，传动杆包括传动部与转动部，驱动件与传动部连接，用于驱动传动杆平移，开锁件端部具有锁钥，旋转件一端与开锁件连接，另一端与转动部连接，旋转件跟随传动部的平移绕开锁件所在轴线转动；上料装置包括晶圆料盒开锁机构。本实用新型中，采用传动杆平动的方式将驱动件的动力传递至开锁件，传动杆具有一定刚性，运动过程中不易受阻卡顿，克服了开锁不到位的缺陷，传动杆的平移运动转换为开锁件的旋转运动，由于开锁件与旋转件同轴转动，旋转件向开锁件的动力传递效率高，晶圆料盒的开锁顺畅，晶圆的取放效率高。
- 晶圆料盒开锁机构装置
- [实用新型]晶圆测试载物台及晶圆测试设备-CN202220340294.2有效
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谢世敏
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精芯智能装备（苏州）有限公司
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2022-02-18
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2022-08-26
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G01R1/04
- 本实用新型公开了一种晶圆测试载物台及晶圆测试设备，晶圆测试载物台包括工作台、底座、第一连接体及第二连接体，第一连接体与第二连接体的两端均分别与工作台、底座连接，第一连接体与第二连接体的个数总和不少于三个，第一连接体与第二连接体均匀分布于底座，其中，第一连接体设置为直线电机，第二连接体设置为导向套；晶圆测试设备包括晶圆测试载物台。本实用新型中，通过直线电机直接驱动工作台升降，具有较高的升降精度以及驱动响应速度，能够将工作台准确定位至相应的测试高度，便于探针对晶圆的测试，直线电机与导向套连接于工作台的不同位置，并组合对工作台进行支撑，有利于提高晶圆测试的精确度。
- 测试载物台设备
- [实用新型]一种用于心内科的护理转运装置-CN202121180288.7有效
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谢世敏;赵淑媛;吴梅;赵燕池
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谢世敏
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2021-05-30
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2022-04-26
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A61G1/02
- 本实用新型公开了一种用于心内科的护理转运装置，包括转运箱，转运箱的顶部开设有放置槽，放置槽的内部设有盛放板。通过设置的转运床上，工作人员可以将患者抬至转运床上，再将转运床抬盛放板上，然后工作人员推动本装置，通过万向轮将本装置移动至病床旁，然后转动转把，通过转把，使丝杆进行转动，通过丝杆与第一卡接板之间的螺纹配合，从而带动两个第一卡接板进行移动，以通过连接杆对第二卡接板进行顶升，即盛放板带动转运床升起，当转运床升至与病床同样高时，工作人员只需推动转运床，通过转棍，能够轻松将转运床推至病床上，从而减轻了工作人员因搬运而产生的劳累，并且减少对患者的搬运次数，减轻患者的痛苦。
- 一种用于内科护理转运装置
- [实用新型]一种移动式紫外线灭菌灯-CN202121947821.8有效
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王怡玮;谢世敏;李宝洲
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湖北鲁中宝厨业有限公司
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2021-08-19
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2021-12-28
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B08B1/00
- 本实用新型公开了一种移动式紫外线灭菌灯，涉及紫外线灭菌灯技术领域，包括移动平台，所述移动平台上表面的边角处均固定连接有灯座，每个所述灯座的内部均安装有灭菌灯本体，所述移动平台的上方设有支撑板，每个灭菌灯本体的上端均与支撑板的底面固定连接，支撑板的上方设有旋转机构，移动平台和支撑板之间设有清理机构，支撑板的上方设有吸尘机构，移动平台底面的边角处均设有移动机构。本实用新型能够通过旋转机构和清理机构的配合设计，能够通过旋转机构带动清理机构上下移动，来对灭菌灯本体的外表面起到清理的效果，能够保持灭菌灯本体外表面的清洁，防止灰尘堆积在灭菌灯本体的外表面对灭菌灯本体的灭菌效果起到影响。
- 一种移动式紫外线灭菌
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