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专利名称
农业 化学；冶金 建筑 机械工程 区域搜索
主分类
A 农业
B 作业；运输
C 化学；冶金
D 纺织；造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]气体混合装置及半导体制造设备-CN202021927930.9有效
  • 许志章 - 亦立科技有限公司
  • 2020-09-07 - 2021-07-13 - C23C16/455
  • 本实用新型提出一种气体混合装置，其包含：主体、气体混合槽、第一通气槽、第二通气槽及第三通气槽；主体，包含有第一面，第一面设有第一开口及第二开口；气体混合槽，设置于主体内部；第一通气槽，设置于主体内部，第一通气槽自第一开口连通至气体混合槽；第二通气槽，设置于主体内部，其具有第一端及第二端，第一端与第二开口连接；第三通气槽，设置于主体内部，第三通气槽自气体混合槽连通至第二通气槽的第二端，俾使第一通气槽的直线延伸与第三通气槽的直线延伸形成夹角。
  • 气体混合装置半导体制造设备
  •  1 
  • 共 1 条
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