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[发明专利]大型中空状多孔质石英玻璃母材以及其制造方法-CN202110764980.2在审
发明人： 角儿太郎;桑原光 -专利权人：信越石英株式会社
申请日： 2021-07-06 - 公布日： 2022-01-18 - 主分类号： C03B8/04 文献下载
摘要：提供一种中空状合成石英玻璃多孔质母材的制造方法以及合成石英玻璃筒的制造方法，即使是外径超过300mm的烟炱体，也能够不使生长中产生的离心力等对装置的负载大幅增大地制作烟炱体，即使在以低速旋转制造的情况下，也不会对烟炱体产生裂缝、破裂，且容易拔出靶。是通过OVD法制造中空状多孔质石英玻璃母材的方法，基于生长时变动的烟炱体的外径使该烟炱体的转速变动，从而将该烟炱体的旋转圆周速度控制为实际上固定，且在该烟炱体的外径超过250mm的范围内，将由γ＝S/(L·Nm)[S为燃烧器的移动速度(mm/分钟)，L为燃烧器的移动距离(mm)，Nm为烟炱体的变动的转速的最低值(rpm)]计算出的频度系数γ设定为0.13≤γ＜1.0的范围。
大型中空多孔石英玻璃及其制造方法

[发明专利]多孔石英玻璃母材的制造方法-CN201810047374.7有效
发明人： 角儿太郎 -专利权人：信越石英株式会社
申请日： 2018-01-17 - 公布日： 2021-10-08 - 主分类号： C03B29/00 文献下载
摘要：本发明提供能够容易且廉价地确保在VAD法中可耐受大重量的机械强度的种棒、以及使用该种棒的多孔石英玻璃母材的制造方法以及石英玻璃锭的制造方法。一种使玻璃微粒堆积于旋转的种棒而制造多孔石英玻璃母材的方法，上述种棒是通过对堆积上述玻璃微粒的堆积部的至少顶端部表面进行粗面化处理而成的。理想的是，上述种棒是具有顶端为半球形状的半球部的圆柱状种棒，且是通过对至少上述半球部的表面进行粗面化处理而成的。
多孔石英玻璃制造方法