专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
专利下载VIP
公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
更多 »
专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
更多 »
钻瓜专利网为您找到相关结果1个,建议您升级VIP下载更多相关专利
  • [发明专利]一种薄膜体声波谐振器及其制作工艺-CN202010526851.5有效
  • 李林萍;盛荆浩;江舟 - 见闻录(浙江)半导体有限公司
  • 2020-06-09 - 2021-10-15 - H03H3/02
  • 公开了一种薄膜体声波谐振器,包括设置在声波反射结构所在衬底的上部的底电极层、压电层和顶电极层,其中压电层的与声波反射结构的边界对应的部位经过退极化处理以形成退极化部。还公开了一种薄膜体声波谐振器的制作工艺,包括在形成或将要形成声波反射结构的衬底上制作底电极层以覆盖声波反射结构;在底电极层上制作压电层;对压电层的与声波反射结构的边界对应的部位进行退极化处理以形成退极化部;在压电层上制作顶电极层。该薄膜体声波谐振器及其制作工艺可以抑制横波从谐振器的空腔上部的谐振区域带走能量,从而保证谐振区域的机械振动强度,抑制寄生振荡,并提升谐振器Q值。
  • 一种薄膜声波谐振器及其制作工艺

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

400-8765-105周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top