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[发明专利]使用多个检测器的材料分析-CN202180056178.6在审
发明人： 西蒙·布格斯;桑托希·巴哈戴尔;克里斯·泰雷尔;彼得·斯泰瑟姆 -专利权人：牛津仪器纳米技术工具有限公司
申请日： 2021-07-08 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： H01J37/244 文献下载
摘要：提供了一种在用于分析样品的装置中使用的检测器模块。检测器模块包括多个X射线传感器元件和一个或多个电子传感器元件，且适于定位在装置的电子束组件的极片下方，由组件生成的电子束从极片朝向使用中的样品射出，使得检测器模块接收由电子束与样品之间的相互作用生成的X射线和反向散射电子。多个X射线传感器元件中的每一个被配置为监测各个接收到的X射线光子的能量，并且多个X射线传感器元件具有大于20mm2的总有源区域。对于检测器模块的至少第一部分，检测器模块相对于使用中的电子束轴的径向范围小于10mm。还提供了用于分析样品的装置和方法。
使用检测器材料分析

[发明专利]改善的用于电子显微镜的导引-CN201880059664.1有效
发明人：安东尼·海德;詹姆斯·霍兰;西蒙·布格斯;彼得·斯泰瑟姆;菲利普·皮纳尔;詹姆士·科林 -专利权人：牛津仪器纳米技术工具有限公司
申请日： 2018-07-19 - 公布日： 2023-03-21 - 主分类号： H01J37/244 文献下载
摘要：公开了用于在显微镜中分析样品的方法和系统。所述方法包括：使用第一检测器和与第一检测器不同的第二检测器来获取一系列复合图像帧，其中，获取复合图像帧包括：使带电粒子束撞击样品区域内的多个位置，所述区域与显微镜的配置视场对应，所述显微镜被配置为具有一组显微镜条件，根据经配置的显微镜条件，使用第一检测器监控在样品内在所述多个位置生成的第一组所得粒子以获得第一图像帧，根据经配置的显微镜条件，使用第二检测器监控在样品内在所述多个位置生成的第二组所得粒子以获得第二图像帧，其中，每个图像帧包括多个像素，所述多个像素与所述区域内的多个位置对应，并且从在所述区域内的多个位置生成的监控的粒子得到，针对第二图像帧的每个像素，如果配置的显微镜条件与在该系列中紧接的前一个获取的复合帧的存储的第二图像帧的配置的显微镜条件相同，并且如果各个像素对应于与所述存储的第二图像帧包括的存储的像素对应的区域内的位置，则将所述存储的像素与所述像素组合以提高所述像素的信噪比，并将第一图像帧与第二图像帧组合以生成复合图像帧，使得复合图像帧针对多个像素中的每一个提供从所述区域内的对应位置生成并通过第一检测器和第二检测器中的每一个监控的粒子得到的数据；以及在视觉显示器上实时显示一系列复合图像帧。
改善用于电子显微镜导引

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