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[发明专利]激光放大装置及极紫外光发生装置-CN202080098218.9在审
发明人：田所让;山本达也;西前顺一 -专利权人：三菱电机株式会社
申请日： 2020-03-16 - 公布日： 2022-10-25 - 主分类号： H01S3/23 文献下载
摘要：具有：激光振荡器(20)，其具有第1激光活性介质，该第1激光活性介质具有包含碳酸气体的混合气体，该激光振荡器(20)使半值全宽为15ns至200ns之间的脉冲激光振荡；以及激光放大器(30)，其具有第2激光活性介质，该第2激光活性介质具有包含碳酸气体的混合气体，从激光振荡器(20)振荡的脉冲激光经过第2激光活性介质，由此缩短成半值全宽为5ns至30ns之间的脉冲激光而输出。
激光放大装置紫外光发生

[发明专利]气体激光放大器、气体激光装置、EUV光发生装置及EUV曝光装置-CN201980102111.4在审
发明人：山本达也;西前顺一;田所让;成濑正史;川岛拓也 -专利权人：三菱电机株式会社
申请日： 2019-11-11 - 公布日： 2022-06-24 - 主分类号： H01S3/134 文献下载
摘要：气体激光放大器(10A)具有框体(11)、放电电极对(20A、20B)和光谐振器(40)。框体(11)具有：入射窗口(12)，其从外部被射入第1激光；以及出射窗口(13)，其将放大的第1激光射出。放电电极对(20A、20B)使供给至在框体(11)的内部相对而配置的放电电极(21A、22A、21B、22B)之间的激光气体发生激励。光谐振器(40)在第1激光没有从框体(11)的外部从入射窗口(12)射入至框体(11)的内部的非入射状态时，通过被激励的激光气体的增益使第2激光振荡，在第1激光从入射窗口(12)射入至框体(11)的内部的入射状态时，使第2激光的振荡停止。
气体激光放大器装置 euv 发生曝光

[发明专利]激光器装置-CN201880098412.X在审
发明人：田所让;西前顺一;山本达也 -专利权人：三菱电机株式会社
申请日： 2018-10-10 - 公布日： 2021-05-14 - 主分类号： H01S3/08 文献下载
摘要：激光器装置(10)具有：第1反射镜(3)及第2反射镜(4)，它们使波长彼此不同的多个光束共振；衍射光栅(2)，其关于在光束中心轴的朝向彼此不同的状态下从第1反射镜(3)射入的多个光束，使彼此光束中心轴一致而向第2反射镜(4)行进，且关于在光束中心轴彼此一致的状态下从第2反射镜(4)射入的多个光束，使光束中心轴的朝向彼此不同而向第1反射镜(3)行进；以及收容部(1)，其对激光介质进行收容，该激光介质是在第1反射镜(3)和衍射光栅(2)之间行进的多个光束所经过的介质，具有在多个光束的各波长中出现峰值的离散性的增益谱。
激光器装置

[发明专利]波长耦合激光器装置-CN201880015868.5有效
发明人：小林信高;桂智毅;森田大嗣;西前顺一;京藤友博 -专利权人：三菱电机株式会社
申请日： 2018-01-12 - 公布日： 2021-03-02 - 主分类号： H01S5/14 文献下载
摘要：波长耦合激光器装置(10)具有：半导体激光器，其从在激光耦合方向排列的多个发光部的出射端面(1b)，向与激光耦合方向垂直的光轴的方向射出多个激光(6)；波长耦合元件(3)，其在激光耦合方向对多个激光进行耦合而作为1根激光进行输出；交叉耦合抑制光学系统(4)，其在与从波长耦合元件输出的1根激光的光轴垂直的激光耦合方向具有正的焦度；以及部分反射镜(5)，其对经过交叉耦合抑制光学系统的1根激光进行反射并使其透过而射出，在由光轴和激光耦合方向所成的平面内，通过将出射端面和部分反射镜共轭地连结，从而以将出射端面在部分反射镜之上成像的方式配置有交叉耦合抑制光学系统。
波长耦合激光器装置

[发明专利]激光装置-CN201780077849.0有效
发明人：京藤友博;西前顺一;桂智毅;森田大嗣 -专利权人：三菱电机株式会社
申请日： 2017-01-20 - 公布日： 2020-08-14 - 主分类号： H01S5/14 文献下载
摘要：本发明提供一种激光装置(100－1)，其与产生波长彼此不同的激光束的多个激光介质(11)，使从多个激光介质(11)各自射出的激光束通过重叠透镜(2)在分散元件(3)上重叠为1个而进行耦合，在该激光装置(100－1)中，分散元件(3)配置在通过重叠透镜(2)将多个激光束重叠为1个的位置，并且使多个激光束的一部分作为第1激光束而向激光介质(11)侧返回，使多个激光束的一部分作为具有1个光轴的第2激光束而输出。
激光装置

[发明专利]激光振荡装置-CN201780074812.2有效
发明人： 西前顺一;桂智毅;森田大嗣;黑川裕章 -专利权人：三菱电机株式会社
申请日： 2017-03-01 - 公布日： 2020-07-24 - 主分类号： H01S5/14 文献下载
摘要：具有：多个激光介质(1、2)，它们所发出的激光束的波长不同；衍射光栅(3)，其使从多个激光介质(1、2)射入的多个激光束重叠地射出；部分反射镜(4)，其对从衍射光栅(3)射出的多个激光束的一部分进行反射而使其返回至衍射光栅(3)，使剩余部分透过；以及多个透镜(5、6)，它们分别配置于多个激光介质(1、2)的每一个和衍射光栅(3)之间，多个透镜(5、6)各自针对在多个激光介质(1、2)和衍射光栅(3)之间形成的每个光路进行配置，使来自多个激光介质(1、2)的激光束在向衍射光栅(3)的入射面上以同一外径进行重叠。
激光振荡装置

[发明专利]激光模块及激光加工装置-CN201680030650.8有效
发明人：山本达也;久场一树;河崎正人;井上阳子;小岛哲夫;西前顺一;野田进 -专利权人：三菱电机株式会社;国立大学法人京都大学;浜松光子学株式会社;罗姆股份有限公司
申请日： 2016-04-07 - 公布日： 2019-11-08 - 主分类号： H01S5/022 文献下载
摘要：激光模块(10)具有：光子晶体面发光激光元件(1)；准直透镜阵列(4)，其使光束平行化；聚光透镜(5)，其使光束聚光；以及光纤(6)，其在一端侧接收光束，向外部传送。关于在准直透镜阵列(4)中与准直透镜对应的孔部(41)，将射入至准直透镜阵列(4)的光束的能量设为100％，该孔部(41)使大于或等于94.0％而小于或等于99.5％的能量的光束透过。
激光模块加工装置

[发明专利]激光振荡装置-CN201780074525.1在审
发明人： 西前顺一;桂智毅;森田大嗣;黑川裕章 -专利权人：三菱电机株式会社
申请日： 2017-02-13 - 公布日： 2019-07-19 - 主分类号： H01S3/082 文献下载
摘要：激光振荡装置(100)具备外部共振器(10)，该外部共振器(10)由激光介质(11、12)和部分反射镜(14)构成，该激光介质(11、12)发出的激光束的波长不同，该部分反射镜(14)使激光束的一部分透过并且对剩余进行反射而返回至激光介质(11、12)侧，在外部共振器(10)的内部配置有：衍射光栅(13)，其将从激光介质(11、12)发出的波长不同的多个激光束重叠为1个，使其进行波长耦合而向部分反射镜(14)射出；以及棱镜(15)，其配置于激光介质(11、12)和衍射光栅(13)之间，将多个激光束在衍射光栅(13)之上重叠为1个，并且形成顶角的2个面的一个是入射面，另一个面是出射面。
激光介质激光束外部共振器衍射光栅反射镜激光振荡装置波长波长耦合出射面入射面棱镜顶角配置射出反射返回

[发明专利]光束整形装置以及激光振荡器-CN201780009453.2在审
发明人：小林信高;小田千纱子;森田大嗣;西前顺一 -专利权人：三菱电机株式会社
申请日： 2017-01-13 - 公布日： 2018-09-28 - 主分类号： G02B27/09 文献下载
摘要：光束整形装置具有SAC以及FAC。SAC配置在LD棒与FAC之间。在SAC设有第1入射面和第1出射面。第1入射面具有沿慢轴方向X排列的多个入射侧透镜面。各入射侧透镜面的形状为在与快轴方向Y正交的截面上向SAC的外侧凸出且在与慢轴方向X正交的截面上向SAC的内侧凹陷的形状。第1入射面以及第1出射面各自的形状为在与慢轴方向X正交的截面上以发光层的出射端面上的点为中心的同心的圆弧状。
入射面正交的慢轴光束整形装置出射面入射侧透镜激光振荡器凸出出射端发光层同心的透镜面圆弧状凹陷快轴配置

[发明专利]半导体激光装置-CN201580082167.X在审
发明人：山本达也;森田大嗣;河崎正人;久场一树;西前顺一;小岛哲夫 -专利权人：三菱电机株式会社
申请日： 2015-12-25 - 公布日： 2018-04-17 - 主分类号： H01S5/14 文献下载
摘要：具有半导体激光条(11)，其从连续的发光区域射出波长不同的多个光束；聚光光学系统(13)，其对多个光束进行聚光；波长色散光学元件(14)，其具有波长色散功能；光学滤光器(15)，透过该光学滤光器(15)的光束的波长周期性地改变；光阑(16)，其配置在叠加于同一轴之上的多个光束的光路之上；以及部分反射镜(17)，在半导体激光条(11)的背面形成有全反射镜(19)，被全反射镜(19)反射而从半导体激光条(11)射出的波长不同的多个光束各自的波长与从光学滤光器(15)透过的波长相同。
半导体激光装置

[其他]气体激光装置-CN201390001204.6有效
发明人：谷野阳一;西前顺一;山本达也 -专利权人：三菱电机株式会社
申请日： 2013-12-27 - 公布日： 2016-08-10 - 主分类号： H01S3/034 文献下载
摘要：本实用新型提供一种气体激光装置，其通过使激光通过被放电激发的激光气体，来进行光放大，其具有第1放电电极对(11、12)及第2放电电极对(13、14)、至少2个反射镜(43、44、45、46)和遮蔽部件(51)，其中，所述第1放电电极对及所述第2放电电极对沿着激光的光轴排列配置，所述至少2个反射镜隔着由所述第1放电电极对(11、12)规定的第1放电区域(21)及由所述第2放电电极对(13、14)规定的第2放电区域(22)相向配置，对由于激光气体而放大的激光进行反射，所述遮蔽部件设置于所述第1放电电极对(11、12)和所述第2放电电极对(13、14)之间，从放电电极的电极面向激光的光轴突出。采用这种结构，能够以简单的结构来有效抑制寄生振荡。
气体激光装置

[发明专利]激光加工装置-CN201380031615.4有效
发明人：中村直幸;山本达也;西前顺一;藤川周一;濑口正记;西尾彰伦;村井博幸;猿田健儿 -专利权人：三菱电机株式会社
申请日： 2013-05-31 - 公布日： 2015-02-25 - 主分类号： B23K26/064 文献下载
摘要：为了得到能够使用光路结构不特别复杂的反射型扩束机构，而充分抑制光束发散角，并且将无像差且具有期望光束直径的激光照射到被加工材料上的激光加工装置，在本发明的激光加工装置中，具有：激光振荡器(1)；加工工作台(2)；传输光学系统，其将从激光振荡器(1)射出的激光(L)传输至加工工作台(2)；加工头(4)，其将经由传输光学系统传输的激光(L)聚光照射至被加工材料；移动单元(5)，其使照射至被加工材料的激光(L)和被加工材料的相对位置发生变化；以及球面曲率可变反射镜(67)。传输光学系统具有对来自激光振荡器(1)的激光进行平行化且扩大的反射型扩束机构(6)，反射型扩束机构(6)设为包含球面反射镜(63)、以及正交的2个轴的曲率不同的凹反射镜(62)的结构。
激光加工装置

[发明专利]CO₂激光装置及CO₂激光加工装置-CN201280060355.9有效
发明人：谷野阳一;西前顺一 -专利权人：三菱电机株式会社
申请日： 2012-10-23 - 公布日： 2014-08-20 - 主分类号： H01S3/08 文献下载
摘要：得到一种CO₂激光装置及CO₂激光加工装置，其射出高输出、且光束直径稳定而不依赖于重复频率的脉冲激光。具有：激光气体(G)，其成为CO₂激光介质；近同心型的稳定型光共振器，其将至少1个共振器反射镜的曲率半径设置为与从光开关至共振器反射镜为止的距离相等；光开关，其设置在稳定型光共振器内；以及传输反射镜(51～56)，其设置为使从稳定型光共振器产生的激光(41)再次通过CO₂激光介质。
co sub 激光装置加工

[发明专利]激光加工装置-CN201280015595.7有效
发明人：山本达也;西前顺一;藤川周一 -专利权人：三菱电机株式会社
申请日： 2012-03-13 - 公布日： 2013-12-18 - 主分类号： B23K26/04 文献下载
摘要：为了将焦距自动调整装置设为单纯的结构来得到廉价的激光加工装置，具备：加工透镜（3），使激光（2）聚光到加工对象（9）；焦距调整单元（4）、（6），调整加工透镜（3）的焦距；接触式的温度传感器（5），具有从加工透镜（3）的激光（2）的入射侧的中心沿着径向在一个直线上设置于不被照射激光（2）的透镜表面、且距加工透镜（3）的中心的距离不同的第1以及第2温度测定点，用第1以及第2温度测定点检测温度差；以及控制装置（7）、（8），根据与由温度传感器（5）检测出的温度差对应的电位差计算加工透镜的热透镜的大小，根据所计算出的热透镜的大小，以使聚光到加工对象的激光的束径成为恒定的方式计算焦距校正量，对焦距调整单元（6）输出控制信号。
激光加工装置

[发明专利]激光加工装置以及激光加工方法-CN201080023011.1有效
发明人：熊本健二;竹中裕司;久场一树;村井融;荻田平;西前顺一;古田启介 -专利权人：三菱电机株式会社
申请日： 2010-05-14 - 公布日： 2012-05-09 - 主分类号： B23K26/08 文献下载
摘要：具有：光纤激光振荡器(19)，其振荡形成缩顶形状的激光；聚光透镜(16)及加工头(13)，其以下述方式将缩顶形状的激光(15)聚光，并向被加工物(22)照射，即，使与加工对象的加工阈值相对应的光强度的位置处的缩顶形状的激光(15)的光束直径，成为具有与缩顶形状的激光(15)大致相同的光束品质的高斯模式的激光的光束直径的大约3倍，聚光透镜(16)以焦点深度成为加工对象的厚度的大约1/3的方式使激光(15)聚光，其中，焦点深度表示相对于与加工对象的加工阈值相对应的光强度的位置处的激光(15)的光束直径的最小值，光束直径成为该最小值的倍的焦点位置范围。
激光加工装置以及方法

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