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专利名称
农业 化学；冶金 建筑 机械工程 区域搜索
主分类
A 农业
B 作业；运输
C 化学；冶金
D 纺织；造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]钟摆阀-CN202110513123.5在审
  • 安熙俊;金凑泽 - 褔田株式会社
  • 2021-05-11 - 2021-11-16 - F16K3/10
  • 本发明涉及一种钟摆阀，在半导体工艺的蚀刻线中，其设置于连接管并调节气体量，所述连接管在干式蚀刻装置的腔室和真空泵之间连接真空泵，更详细地，涉及一种钟摆阀，其包括：固定壳，其使得与调节气体量的阀门结合的轴通过密封圈紧贴固定于阀壳；旋转轴(内部轴)，其结合于固定壳的内侧，通过提供所述钟摆阀，从而仅使得与阀壳分离的旋转轴以唇封为轴进行旋转，维持钟摆阀的密封特性的同时，可抑制不需要的颗粒和硬化物质排出。
  • 钟摆
  •  1 
  • 共 1 条
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