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[发明专利]纳米氧化镝及其制备方法与应用-CN202210815833.8有效
发明人：刘智勇;何雯睿;刘志宏;裴强胜 -专利权人：中南大学
申请日： 2022-07-12 - 公布日： 2023-10-17 - 主分类号： C01F17/224 文献下载
摘要：本发明涉及稀土材料，具体涉及一种纳米氧化镝及其制备方法与应用。纳米氧化镝的制备方法包括将可溶性镝盐溶液和碳酸盐‑柠檬酸溶液混合，生成碳酸镝沉淀；将反应体系进行水热反应生成氧化镝前驱体；固液分离，洗涤，干燥，得前驱体产物；煅烧得纳米氧化镝。本发明纳米氧化镝粉体分散性好、结晶度好、粒径分布窄、比表面积大，满足高科技产品如多层陶瓷电容器、MRI造影剂等的使用要求。
纳米氧化及其制备方法应用

[发明专利]一种从铜阳极泥中选择性回收碲的方法-CN202210481671.9有效
发明人：刘智勇;周蓬勃;刘志宏;裴强胜;李启厚;王红军 -专利权人：中南大学
申请日： 2022-05-05 - 公布日： 2023-09-01 - 主分类号： C01B19/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种从铜阳极泥中选择性回收碲的方法，具体地，是从铜阳极泥中选择性地浸出硒、碲，并将碲还原成金属碲，有效地富集铜、银、金等有价金属的方法。本发明采用氧压碱浸—Na2S浸出—SO2还原工艺。本发明氧压碱浸工艺中，超过99％的碲富集在渣中，Na2S浸出工艺中碲的浸出率可达94％，SO2还原工艺中碲的回收率能达95％以上。本发明实现了铜阳极泥中硒和碲的分步脱除，碲的回收，铜、银、金等有价金属的富集，具有碲回收率高、操作简单、无烟气污染、成本低等优势。
一种阳极泥选择性回收方法

[发明专利]接近式光刻机的调平装置-CN201910977781.2有效
发明人：肖自雄;张晓辉;霍荣标;裴强胜;江彪;尹建刚;高云峰 -专利权人：大族激光科技产业集团股份有限公司
申请日： 2019-10-15 - 公布日： 2022-02-18 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种接近式光刻机的调平装置，包括掩膜板、设有通孔的承板台、设置在承板台下方的承片台、承片台固定板及支承承片台固定板的载台，还包括：接触调平机构，其设置在承板台内腔；线性驱动器，其输出端与载台固定连接；其中，所述接触调平机构包括接触球，在线性驱动器驱动承片台上升时，所述接触球从承板台内腔伸出，在承片台的推动下夹设于掩膜板的下表面及承片台的上表面之间，以调节所述承片台至与掩膜板平行的位置。本发明实现了接近式光刻机的快速调平，保证曝光质量，提高产品的合格率。
接近光刻平装

[发明专利]曝光装置及曝光加工方法-CN201910599001.5有效
发明人：徐占辉;张晓辉;裴强胜;刘涛;何李志;尹建刚;高云峰 -专利权人：大族激光科技产业集团股份有限公司
申请日： 2019-07-04 - 公布日： 2022-01-04 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明涉及一种曝光装置及曝光加工方法，该曝光装置包括激光输出模块、曝光镜头、载台、移动机构和控制模块，激光输出模块所输出的激光束通过光路系统传至曝光镜头，曝光镜头包括多个调光通道，多个调光通道通过选择性地开闭，形成曝光图案；载台上设有能量检测模块，能量检测模块能够检测曝光镜头的曝光能量；控制模块用于根据曝光能量调整激光输出模块的输出功率；当曝光镜头相对载台移动并对载台上的工件进行曝光时，控制模块调整曝光图案。本发明的曝光装置及曝光加工方法，能量检测模块检测并通过控制模块对激光输出模块调控，并采取移动曝光的方式对工件进行大幅面曝光，确保曝光能量一致，提高曝光效果，且无需多套光路组合，降低了成本。
曝光装置加工方法

[实用新型]一种锁紧结构及光刻机-CN202021872271.3有效
发明人：肖自雄;张晓辉;裴强胜;霍荣标;龙腾云;区俊杰;高云峰 -专利权人：大族激光科技产业集团股份有限公司;深圳市大方舟科技有限公司
申请日： 2020-08-31 - 公布日： 2021-06-01 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本申请实施例属于激光雕刻领域，涉及一种锁紧结构及光刻机。包括机架、承片台组件、滚珠丝杠组件和电磁制动组件，所述承片台组件滑动设置在机架上，所述滚珠丝杠组件和电磁制动组件均固定在机架上，并且所述滚珠丝杠组件和电磁制动组件通过制动间隙相配合；本申请还涉及一种光刻机。本申请提供的技术方案能够通过电磁制动组件消除制动间隙与丝杠本体的端部的前端紧密配合，停止丝杠本体的转动，以锁定丝杠螺母在丝杠轴向上的运动，从而锁定承片台组件，因为丝杠螺母与丝杠本体之间通过滚珠相配合，所以震动范围非常小，保证了承片台组件在静止状态下震动幅度小，且在曝光工艺的可接受范围之内，该方案对承片台的锁紧效果好。
一种结构光刻

[实用新型]激光加工设备-CN201920814077.0有效
发明人：霍荣标;张晓辉;裴强胜;陈超;龙腾云;尹建刚;高云峰 -专利权人：大族激光科技产业集团股份有限公司
申请日： 2019-05-31 - 公布日： 2020-04-21 - 主分类号： B23K26/06 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种激光加工设备，包括激光器、第一反射件、第二反射件、第一载台、第二载台和光路调节结构，光路调节结构包括调光镜和驱动机构，驱动机构能够驱使调光镜运动至第一位置和第二位置；当位于第一位置时，激光器所出射的激光经调光镜反射后入射第一反射件，第一反射件将激光反射至第一载台，当位于第二位置时，激光器所出射的激光经调光镜反射后入射第二反射件，第二反射件将激光反射至第二载台。本实用新型的激光加工设备，通过调整调光镜的位置，使得激光器所出射的激光选择性地入射第一反射件或第二反射件，从而使得激光对第一载台和第二载台的工件进行交替加工，这种结构形式下加工效率快，且能够减少设备占用空间。
激光加工设备

[发明专利]一种生成淬硬钢Cr12MoV塑料模具铣削加工表面防腐膜的装置-CN201810288467.9在审
发明人：陈光军;薛迪;刘永旭;裴强胜;侯帅;赵燕青;缪亚伦;金伟;王佳新 -专利权人：佳木斯大学
申请日： 2018-04-03 - 公布日： 2019-10-18 - 主分类号： C23C8/26 文献下载
摘要：一种生成淬硬钢Cr12MoV塑料模具铣削加工表面防腐膜的装置，主要组成部分分为：气体提供装置，气体混合装置，混合气体输出装置，喷嘴夹持装置，操作装置和可编程控制器。通过红外热像仪测量工件表面温度；通过氮气和氩气浓度传感器检测混合气体中氮气和氩气的浓度；通过气压传感器测混合气体的气压，从而获得的氮化膜生成条件，提高氮化膜的致密程度，降低氮化膜生成难度。该装置能冷却铣削加工的切削区，并可使淬硬钢Cr12MoV加工表面生成防腐蚀的氮化膜，提高模具钢加工型腔表面的防腐性能，能代替或者部分代替后续的表面处理操作，同时减弱铣削过程中使用冷却液而对环境造成的污染。
氮化膜混合气体铣削加工淬硬钢氮气氩气表面防腐塑料模具致密测量工件表面可编程控制器气体混合装置气体提供装置红外热像仪浓度传感器气压传感器操作装置防腐性能加工表面加工型腔生成条件输出装置铣削过程防腐蚀冷却液模具钢喷嘴夹切削区气压冷却检测污染

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