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- [发明专利]部件安装装置及基板输送方法-CN200680004414.5有效
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辻慎治郎;村田崇彦;藤原启二;小田原广造
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松下电器产业株式会社
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2006-02-01
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2008-02-13
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H01L21/60
- 本发明提供一种部件安装装置及基板输送方法。部件安装装置的基板输送装置(24A)具备直动导件(78A、78B)和基板保持滑块(79A、79B)。直动导件(78A、78B)沿从第一基板交接位置(P1)向第二基板交接位置(P2)的输送方向(C)延伸,并且在与输送方向(C)正交的方向上隔开间隔(G1)相互对置。基板保持滑块(79A、79B)可以沿直动导件(78A、78B)移动,在与输送方向(C)正交的方向上隔开间隔(G2)相互对置,并且通过作用于基板(12)的下面的真空源的吸引力可解除地保持。基板保持滑块(79A、79B)通过X轴驱动机构(87)在第一及第二基板交接位置(P1、P2)之间沿基板(12)的输送方向往复移动。
- 部件安装装置输送方法
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