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- [实用新型]一种具有多层结构的硅片清洗装置-CN201420221605.9有效
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杨斌;薛小兴;黄凯;黄贤光
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江苏爱多光伏科技有限公司
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2014-04-30
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2014-11-12
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B08B3/02
- 本实用新型公开了一种具有多层结构的硅片清洗装置,包括设在机架上的清洗筒,清洗筒的盖体内面设有清洗部件;清洗筒内设有转盘;清洗筒的下方设有驱动转盘转动的电动机;转盘表面对称地固定有数个定位体,各定位体相向侧形成有多层用于滑入并嵌置治具的滑槽,滑槽朝向转盘中心的一端开放,构成治具的滑入口,相对滑入口的另一端封闭,形成对治具的限位部,且由上至下各层滑槽的限位部逐渐靠近转盘中心;各治具的两端嵌置在相邻定位体的相对应的滑槽中,形成多层排列的结构;各治具承载有硅片载盘。本实用新型充分利用了清洗筒内的空间,提高了清洗效率,且上下层之间不会造成二次污染,结构简单、易使用操作,适合应用于太阳能电池片的生产中。
- 一种具有多层结构硅片清洗装置
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