专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]芯片堆叠结构清洗方法及清洗设备-CN202311105350.X在审
  • 蒋超伟;廖周芳;马玉峰;吴疆;鲍雨 - 江苏芯梦半导体设备有限公司
  • 2023-08-30 - 2023-10-03 - H01L21/02
  • 本发明涉及一种芯片堆叠结构清洗方法及清洗设备,方法包括:S1、根据所述芯片堆叠结构的缝隙参数,确定所述清洗腔内的工作压力;开启真空泵,抽取清洗腔内的气体,以使所述清洗腔处于负压状态;其中,所述清洗腔内容纳有芯片堆叠结构;S2、在所述清洗腔处于负压状态下,并在无超声及无兆声下,控制喷嘴朝向所述芯片堆叠结构喷淋清洗液。本发明的方法,在负压状态下对芯片堆叠结构进行喷淋清洗,使得清洗液能够充分地进入芯片堆叠结构的缝隙里,有利于缝隙内的污染物与清洗液充分接触,提高清洗效果,还能够有效地避免清洗对芯片堆叠结构的表面造成破坏。
  • 芯片堆叠结构清洗方法设备
  • [发明专利]基于兆声波技术的晶圆清洗设备及清洗方法-CN202210816416.5有效
  • 廖周芳;蒋超伟;王泳彬 - 江苏芯梦半导体设备有限公司
  • 2022-07-12 - 2023-09-05 - B08B3/02
  • 本发明公开了一种基于兆声波技术的晶圆清洗设备及清洗方法。其中清洗设备包括工作台、载台、喷射装置、空化检测装置及控制单元,喷射装置包括支架与喷射主体,支架能够相对运动地设于工作台上,喷射主体包括喷嘴及兆声波组件;空化检测装置包括空化传感器;控制单元与空化传感器、喷射装置分别电性连接或信号连接。清洗方法依次包括如下步骤:S1、喷射装置向空化检测装置喷射兆声流体,空化检测装置检测空化效果,控制单元判断空化效果,若达标,则执行步骤S3;若不达标,则执行步骤S2;S2、校正喷射装置,然后再次执行步骤S1;S3、喷射装置向待清洗的晶圆喷射兆声流体,进行晶圆清洗。本发明具有智能反馈功能,能够提高清洗效率和晶圆良率。
  • 基于声波技术清洗设备方法
  • [实用新型]一种多级压力管路系统-CN202320471887.7有效
  • 蒋超伟;张正 - 江苏芯梦半导体设备有限公司
  • 2023-03-13 - 2023-09-05 - F15B11/06
  • 本实用新型公开了一种多级压力管路系统,管路系统包括主路、先导式减压阀,以及用于控制主路中流体压力的支路控制系统,支路控制系统包括支路,先导式减压阀包括主阀与先导阀,主路与主阀相连通,支路的一端与主路相连通,支路的另一端与先导阀相连通,沿流体的流动方向,先导阀位于支路的下游,支路控制系统还包括设置在支路上的调压阀及支路压力监测装置。本实用新型能够在相对简化的结构基础上实现多级压力的控制,同时具有控制精准、响应快速、自动化程度高以及成本可控等优点,在半导体湿法制造工艺中具有较好的发展前景。
  • 一种多级压力管路系统
  • [实用新型]一种焚烧炉废气处理装置-CN202223482595.8有效
  • 蒋健良;吴玲琳;蒋超伟 - 江苏奥立环保科技有限公司
  • 2022-12-26 - 2023-05-05 - B01D50/60
  • 本实用新型提供了一种焚烧炉废气处理装置,属于废气处理设备技术领域。该焚烧炉废气处理装置包括箱体、喷洒装置和集尘装置。所述箱体表面设置有进气管和排气管,且所述箱体内安装有导流回型块,所述喷洒装置包括输水件和喷洒件,所述集尘装置包括集尘皿和两个弹性件,所述集尘皿与导流回型块表面紧贴,两个所述弹性件均安装在所述箱体内,且两个所述弹性件均与所述集尘皿两侧贴合。本实用新型通过输水件和喷洒件的配合,使废气中的固体颗粒受潮并掉落,减少了废气中的固体颗粒物,再由两个弹性件的配合,使待清理的集尘皿按压其中一个弹性件,备用的集尘皿将待清理的集尘皿推出,利于将集尘皿内的固体颗粒物进行清理。
  • 一种焚烧废气处理装置
  • [发明专利]一种排气装置及其应用和气体的分离方法-CN202211308043.7有效
  • 邵树宝;蒋超伟;高彪 - 江苏芯梦半导体设备有限公司
  • 2022-10-25 - 2023-03-24 - F16K11/10
  • 本发明提供一种排气装置。该排气装置包括具有排气组件和排气切换机构的气体切换模块,其中,排气组件包括第一通道和第二通道;排气切换机构包括转动地设置在第一通道的开口上的第一叶片、转动地设置在第二通道的开口上的第二叶片,及具有第一配合件、第二配合件和用于驱动第一配合件和第二配合件同步运动的第一驱动件的第一控制组件。本发明的排气装置通过第一驱动件驱动第一配合件和第二配合件同步运动,使第一叶片和第二叶片同时转动,从而使第一叶片和第二叶片中的一者盖设到相应通道的开口上以使相应通道的开口关闭,另一者对应的通道的开口打开,从而实现仅需要一个驱动件即可实现两种气体的排气切换,以及两种气体的分别排放。
  • 一种排气装置及其应用气体分离方法

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