“萨尔瓦多”申请（专利权）人搜索_中国专利权人_发明人_技术持有人_科研专家_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果20个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]一种化学气相沉积装置及其温控方法-CN201410668535.6有效
发明人：宋涛;萨尔瓦多;刘强;马悦;黄占超;奚明 -专利权人：理想能源设备(上海)有限公司
申请日： 2014-11-20 - 公布日： 2018-06-26 - 主分类号： C23C16/52 文献下载
摘要：一种化学气相沉积装置，包括：反应腔；设置于所述反应腔底部的基座，用于支撑一个或多个待处理基片；用于加热所述基座与基片的加热单元；设置于所述反应腔顶部的气体喷淋组件，包括第一进气装置和第二进气装置，所述气体喷淋组件与所述基座之间形成反应区；设置于气体喷淋组件上用于封闭反应腔并包含冷却装置的盖体；所述盖体和所述气体喷淋组件之间形成有狭缝；第一温度测量装置，用于测量气体喷淋组件温度；温控供气装置，用于对A与B两种气体进行配比并根据测量的气体喷淋组件温度供应配比后的气体至所述狭缝。本发明通过调节气体喷淋组件与反应腔体冷却部件间的气体比例，实现气体喷淋组件温度的精确控制。
喷淋组件化学气相沉积装置进气装置反应腔盖体配比温控狭缝测量温度测量装置反应腔顶部反应腔体封闭反应供气装置加热单元冷却部件冷却装置反应区加热支撑

[发明专利]生长高铝组分氮基化合物半导体的气体分配装置及其生长方法-CN201280001823.5有效
发明人：黄占超;何川;马悦;丁兴燮;宋涛;萨尔瓦多;胡兵;奚明 -专利权人：理想能源设备（上海）有限公司
申请日： 2012-07-19 - 公布日： 2018-01-23 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：一种用于生长高铝组分氮基化合物半导体的气体分配装置包括入口端、第一气体分配装置、第二气体分配装置、第三气体分配装置、出口端和冷却系统。所述第一气体分配装置由所述冷却系统加以冷却，通过所述的气体分配装置，可以在出口端形成非均匀的气体环境，减少不同种类气体之间的混合，从而减少不同气体之间的预反应。同时，本发明还揭示了一种高铝组分氮基化合物半导体的生长方法。
化合物半导体生长方法设备

[发明专利]化学气相沉积装置-CN201210396302.6有效
发明人：宋涛;萨尔瓦多;奚明;马悦;黄占超;刘强 -专利权人：理想能源设备（上海）有限公司
申请日： 2012-10-17 - 公布日： 2017-12-29 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：本发明涉及一种化学气相沉积装置。所述化学气相沉积装置包括反应腔、位于反应腔顶部的喷淋组件以及与所述喷淋组件相对设置的基座，所述基座可以相对所述喷淋组件旋转，所述喷淋组件包括第一进气管路以及第二进气管路，用于分别将第一气体以及第二气体传输到气体分配板，所述气体分配板具有面向所述基座的排气面，所述排气面具有若干凹槽，用以收容气体并安装板部件，所述板部件具有若干出气孔，所述出气孔排列成若干列，所述若干列中至少有两列的出气孔排列位置部分错开，所述出气孔用以排出所述第一气体或第二气体中的一种或多种。本发明的化学气相沉积装置结构简单，制造成本较低，且易于拆分清洁。
化学沉积装置

[发明专利]一种咖啡机用锅炉结构-CN201410407084.0有效
发明人： 萨尔瓦多;莫亚秋 -专利权人：群韵饮料机械(上海)有限公司
申请日： 2014-08-18 - 公布日： 2017-10-27 - 主分类号： A47J31/00 文献下载
摘要：本发明涉及锅炉技术领域，公开了一种咖啡机用锅炉结构，包括锅炉本体，锅炉本体底部设有电加热器，锅炉本体侧壁还设有注水管和排水管，锅炉本体内还设有内胆，内胆的开口端从锅炉本体上端伸出锅炉本体外，内胆的开口端设有连接座，连接座上设有与内胆连通的进水孔、出水孔，进水管、出水管分别与进水孔、出水孔连通，连接座上还设有控制水流通断的电磁阀，连接座与锅炉本体之间可拆卸连接，内胆的内壁设有陶瓷层，锅炉本体呈封闭状态，锅炉本体内设有导热水。因此，本发明具有水垢清理方便，水质好，冲泡咖啡口感好的有益效果。
一种咖啡机锅炉结构

[发明专利]用于承载基片的基座及其基片处理的方法-CN201310198959.6有效
发明人：马悦;奚明;萨尔瓦多;胡兵 -专利权人：理想晶延半导体设备（上海）有限公司
申请日： 2013-05-24 - 公布日： 2017-04-12 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于承载基片的基座，所述基片具有承载面与处理表面，所述基座包括承载部和基片夹具，所述承载部上具有若干用于放置所述基片的承载单元，所述基片夹具具有本体部以及若干与所述承载单元相对设置的空腔，所述本体部为刚性，所述空腔用以暴露所述基片的处理表面，所述基片夹具具有与所述承载部配合的扣齿部，用以在所述基座的旋转过程中将所述基片夹具固定在所述承载部上。本发明提供的所述基座能防止所述基片在所述基座的旋转中发生翘曲或位移。此外，本发明还提供了一种利用所述基座进行基片处理的方法。
用于承载基座及其处理方法

[发明专利]金属有机化学气相沉积装置、气体喷淋组件及其气体分配的控制方法-CN201310167085.8有效
发明人：马悦;萨尔瓦多;奚明 -专利权人：理想晶延半导体设备（上海）有限公司
申请日： 2013-05-08 - 公布日： 2017-04-05 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本发明涉及一种金属有机化学气相沉积装置、气体喷淋组件及其气体分配的控制方法，所述气体喷淋组件包括第一进气管路、第二进气管路和第三进气管路，用于分别将第一气体、第二气体和第三气体传输至气体分配单元，所述气体分配单元为一体成型的单层结构，所述气体分配单元包括间隔设置的A型气体分配腔，B型气体分配腔和C型气体分配腔，分别用于分配所述第一气体、第二气体和第三气体，且所述间隔设置在水平面与垂直面截面皆为连续迂回截面。本发明使得可以调节两种反应气体的气体分配腔的数量，在单一反应单元内实现了多种材料生长。本发明分配单元为一体成型的单层结构，避免了多层、多点焊接的复杂加工，极大降低了制造成本。
金属有机化学沉积装置气体喷淋组件及其分配控制方法

[实用新型]咖啡机锅炉结构-CN201420467027.7有效
发明人： 萨尔瓦多;莫亚秋 -专利权人：群韵饮料机械(上海)有限公司
申请日： 2014-08-18 - 公布日： 2015-01-21 - 主分类号： A47J31/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及锅炉技术领域，公开了一种咖啡机锅炉结构，包括锅炉本体，锅炉本体底部设有电加热器，锅炉本体侧壁还设有注水管和排水管，锅炉本体内还设有内胆，内胆的开口端从锅炉本体上端伸出锅炉本体外，内胆的开口端设有连接座，连接座上设有与内胆连通的进水孔、出水孔，进水管、出水管分别与进水孔、出水孔连通，连接座上还设有控制水流通断的电磁阀，连接座与锅炉本体之间可拆卸连接，内胆的内壁设有陶瓷层，锅炉本体呈封闭状态，锅炉本体内设有导热水。因此，本实用新型具有水垢清理方便，水质好，冲泡咖啡口感好的有益效果。
咖啡机锅炉结构

[实用新型]咖啡机用奶泡冲泡头机构-CN201420466895.3有效
发明人： 萨尔瓦多;莫亚秋 -专利权人：群韵饮料机械(上海)有限公司
申请日： 2014-08-18 - 公布日： 2015-01-21 - 主分类号： A47J31/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及咖啡机技术领域，尤其公开了一种咖啡机用奶泡冲泡头结构，包括冲泡头壳体，冲泡头壳体的一侧设有气液混合腔，冲泡头壳体的另一侧设有进液管安装座，气液混合腔的上端开口处设有连接头，连接头的上端设有进气孔，连接头的侧面设有与进气孔连通的进液孔，进气孔处连接有进气管接头，进液孔处连接有进液管接头，连接头的下端延伸形成与进气孔连通的喷嘴，喷嘴与气液混合腔连通，气液混合腔的底部设有奶泡排出孔，奶泡排出孔为锥形孔，奶泡排出孔内设有十字隔板，所述的十字隔板的交叉处与奶泡排出孔的轴线共线。因此，本实用新型具有结构简单，水蒸气对牛奶同步进行混合、加热，奶泡形成效率高、气泡均匀的有益效果。
咖啡机用奶泡冲泡机构

[实用新型]咖啡机锅炉本体与内胆的连接结构-CN201420467068.6有效
发明人： 萨尔瓦多;莫亚秋 -专利权人：群韵饮料机械(上海)有限公司
申请日： 2014-08-18 - 公布日： 2015-01-21 - 主分类号： A47J31/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及锅炉技术领域，公开了一种咖啡机锅炉本体与内胆的连接结构，包括锅炉本体和内胆，内胆的内壁设有陶瓷层，锅炉本体上端设有连接套，连接套的下端与锅炉本体之间焊接连接，连接套的上端设有下法兰，锅炉本体的开口端从连接套处伸出锅炉本体外，内胆的开口端设有连接座，连接座的下端设有上法兰，下法兰与上法兰之间螺栓连接，上法兰的端面上设有环形槽，内胆的开口端向外翻折延伸形成挡环，挡环伸入环形槽内，挡环外端下侧与下法兰的端面之间设有橡胶密封圈，挡环下侧面与下法兰面之间设有弹性铜环，弹性铜环的截面呈V形，弹性铜环的小径端延伸形成定位环。因此，本实用新型具有连接可靠，拆卸方便，能有效防止漏水的有益效果。
咖啡机锅炉本体内胆连接结构

[实用新型]咖啡机锅炉内胆结构-CN201420467030.9有效
发明人： 萨尔瓦多;莫亚秋 -专利权人：群韵饮料机械(上海)有限公司
申请日： 2014-08-18 - 公布日： 2015-01-21 - 主分类号： A47J31/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及咖啡机锅炉技术领域，公开了一种咖啡机锅炉内胆结构，包括安装在锅炉内的内胆本体，内胆本体的开口端设有连接座，连接座上设有与内胆连通的进水孔、出水孔，连接座侧面设有电磁阀，胆本体的内壁设有陶瓷层，内胆本体的外壁设有若干环形槽，连接座内设有贯穿连接座的内腔，内腔的内端与内胆本体同轴连通，内腔的外端设有密封螺栓，内腔内还设有同轴的导流管，导流管与内腔腔壁之间形成环形间隙，进水孔与环形间隙连通，出水孔与导流管连通，出水孔外端与电磁阀连通，电磁阀上还连接有出水管，进水孔处连接有进水管，连接座上还设有与锅炉连接的法兰。因此，本实用新型具有不易产生水垢，水垢清理方便，更换方便的有益效果。
咖啡机锅炉内胆结构

[发明专利]分体式气体喷淋组件及金属有机化学气相沉积装置-CN201310198956.2有效
发明人：马悦;奚明;萨尔瓦多 -专利权人：理想晶延半导体设备（上海）有限公司
申请日： 2013-05-24 - 公布日： 2014-12-03 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本发明涉及一种分体式气体喷淋组件及金属有机化学气相沉积装置，所述气体喷淋组件包括第一进气管路、第二进气管路、气体分配单元和若干板部件，所述气体分配单元包括A型和B型气体分配腔，所述A型、B型气体分配腔间隔设置，分别用于分配第一、第二气体，所述气体分配单元内安装有A型、B型板部件，所述A型、B型板部件分别与所述A型、B型气体分配腔相对设置，所述A形、B形板部件相互拼接，并将所述气体分配单元与所述基座隔开。本发明所提供的气体喷淋组件结构简单，气体分配单元加工容易，且使用过程中只需要维护所述A型、B型板部件，减少了整个气体喷淋组件的拆卸或安装，减少了所述金属有机气相沉积装置的维护时间，提高了利用率。
体式气体喷淋组件金属有机化学沉积装置

[发明专利]一种咖啡机用奶泡冲泡头-CN201410406397.4在审
发明人： 萨尔瓦多;莫亚秋 -专利权人：群韵饮料机械(上海)有限公司
申请日： 2014-08-18 - 公布日： 2014-11-19 - 主分类号： A47J31/44 文献下载
摘要：本发明涉及咖啡机技术领域，尤其公开了一种咖啡机用奶泡冲泡头，包括冲泡头壳体，冲泡头壳体上设有气液混合腔，气液混合腔的上端开口处设有连接头，连接头的上端设有进气孔，连接头的侧面设有与进气孔连通的进液孔，进气孔处连接有进气管接头，进液孔处连接有进液管接头，连接头的下端延伸形成与进气孔连通的喷嘴，喷嘴与气液混合腔连通，气液混合腔的底部设有奶泡排出孔。因此，本发明具有结构简单，水蒸气对牛奶同步进行混合、加热，奶泡形成效率高、气泡均匀的有益效果。
一种咖啡机用奶泡冲泡

[发明专利]金属有机化学气相沉积装置-CN201210459091.6有效
发明人：奚明;户高良二;马悦;萨尔瓦多;黄占超;林芳;刘强;肖蕴章 -专利权人：理想能源设备（上海）有限公司
申请日： 2012-11-14 - 公布日： 2014-05-21 - 主分类号： C23C16/46 文献下载
摘要：本发明涉及一种金属有机化学气相沉积装置。所述金属有机化学气相沉积装置包括反应腔、传输腔，传输装置，所述反应腔上部具有喷淋组件，所述反应腔下部设置有加热器，所述喷淋组件和所述加热器之间设置有承载部件，用以承载基片，所述反应腔还具有致动装置，所述致动装置驱动所述承载部件，所述承载部件包括上层承载部件与下层承载部件，所述上层承载部件与下层承载部件之间具有缓冲间隙，所述下层承载部件被所述加热器以非接触加热方式加热，且所述上层承载部件被所述下层承载部件以非接触传热方式加热并同时加热设置在其上的基片，所述传输装置用以在所述传输腔和所述反应腔之间传输所述上层承载部件。本发明的金属有机化学气相沉积装置可以使得待处理基片的受热更均匀。
金属有机化学沉积装置

[发明专利]金属有机化合物化学气相沉积方法及其装置-CN201210090988.6有效
发明人：马悦;黄占超;何川;王俊;宋涛;林芳;任爱玲;丁兴燮;萨尔瓦多;奚明 -专利权人：理想能源设备（上海）有限公司
申请日： 2012-03-30 - 公布日： 2013-10-23 - 主分类号： C23C16/18 文献下载
摘要：一种金属有机化合物化学气相沉积方法及其装置。所述方法包括：提供基座及至少一基片；提供第一进气装置和第二进气装置，第一气体沿着第一出气口喷出的方向与第二气体沿着第二出气口喷出的方向成一夹角；第一气体与第二气体在基片上表面沉积得到一层金属有机化合物；第一气体在反应区域内浓度梯度分布，包括A区域和B区域，A区域的气体平均浓度高于B区域的气体平均浓度；第二气体在反应区域内的浓度梯度分布，包括C区域和D区域，C区域的气体平均浓度高于D区域的气体平均浓度；A区域与C区域间隔排列；基片依次通过A区域与C区域。本发明既可以避免反应气体提前反应，也可以提高反应速率，降低生产成本。
金属有机化合物化学沉积方法及其装置

[发明专利]化学气相沉积装置-CN201110287513.1有效
发明人：奚明;马悦;萨尔瓦多;林芳;黄占超 -专利权人：理想能源设备（上海）有限公司
申请日： 2011-09-23 - 公布日： 2013-04-03 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：一种化学气相沉积装置，包括：反应腔、冷却装置、位于所述反应腔顶部的喷淋组件以及与所述喷淋组件相对设置的基座，所述基座具有加热单元，所述喷淋组件包括第一进气装置以及第二进气装置，用于分别将第一气体以及第二气体传输至基座与喷淋组件之间的反应区，所述冷却装置设置在所述喷淋组件背离所述基座的一侧；设置在第一进气装置和冷却装置之间的第一间隔件，设置在第二进气装置和冷却装置之间的第二间隔件，第一间隔件的热传导系数大于第二间隔件的热传导系数，加热单元在加热过程中，第一进气装置与第二进气装置具有不同的温度。本发明可以为不同进气装置中的气体提供不同的温度。
化学沉积装置

1
2
下一页»
尾页
共 20 条