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[发明专利]光学量测方法-CN201911163770.7有效
发明人： 萧玮仁;蔡钧亦;张巍耀 -专利权人：致茂电子（苏州）有限公司
申请日： 2019-11-25 - 公布日： 2023-09-15 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本申请提供一种光学量测方法，用以量测对象的表面，所述光学量测方法包含以下步骤。首先，提供输入光线。于输入光线的光学路径上，提供空间光调制器，空间光调制器具有多个像素，所述多个像素用以选择性地调变输入光线为测试光线。并且，控制空间光调制器，使所述多个像素中的第一像素群组不调变输入光线，第一像素群组对应表面的定位标记的位置。并且，分别于第一时间与第二时间取得表面的第一表面影像与第二表面影像。并且，依据第一表面影像与第二表面影像中的定位标记，对准第一表面影像与第二表面影像。
光学方法

[发明专利]光电组件特性测量装置-CN202011635851.5在审
发明人： 萧玮仁 -专利权人：致茂电子（苏州）有限公司
申请日： 2020-12-31 - 公布日： 2022-07-01 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：本申请提供一种光电组件特性测量装置，包含物镜、焦点调整模块以及摄影模块。所述物镜设置于第一光路径上，用以接收第一待测光线，并将第一待测光线转换成第二待测光线。所述焦点调整模块设置于第一光路径上，用以接收第二待测光线以反射出第三待测光线，并且受控于测试指令调整第三待测光线聚焦在第二光路径上的第一位置或第二位置。所述摄影模块设置于第二光路径上，用以测量第三待测光线的光束特性。
光电组件特性测量装置