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- [实用新型]一种立式数控真空镀膜机-CN202223581627.X有效
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王伟平;王金泉;王菊姿
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莱糸真空科技（常州）有限公司
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2022-12-30
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2023-05-12
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C23C14/50
- 本实用新型公开了一种立式数控真空镀膜机，涉及真空镀膜机结构技术领域，为解决现有的立式数控真空镀膜机在对物体进行镀膜的时候，需要对物体进行翻转，从而对物体表面进行镀膜，这样使镀膜的效率不高的问题。所述镀膜机上端安装有冷却装置，所述冷却装置的下端安装有电加热装置，所述电加热装置的下方安装有靶材，所述镀膜机的一端设置有连接座，所述连接座的一侧安装有抽真空管，所述抽真空管的一端安装有真空泵，所述镀膜机内壁的两侧均安装有直线电机，所述直线电机的一端安装有移动座，所述移动座的一侧安装有电机，所述电机的一侧安装有安装箱，所述安装箱的内部安装有电动气缸，所述电动气缸的一侧安装有夹持板。
- 一种立式数控真空镀膜
- [实用新型]新型真空镀膜公自转回转机构-CN202023321010.5有效
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王伟平;王金泉;王菊姿
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莱糸真空科技（常州）有限公司
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2020-12-31
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2022-01-14
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C23C14/50
- 本实用新型公开了新型真空镀膜公自转回转机构，涉及真空镀膜机技术领域，为解决采用一个动力输出，在带动回转支承进行转动时，容易导致回转支承另一端受力不平衡，在转动时容易导致回转支承偏斜，水平度误差较大，降低真空镀膜精度的问题。所述底座上设置有转动槽，所述转动槽的内部设置有回转盘，所述回转盘的外部设置有外齿轮，且外齿轮与回转盘通过螺钉连接，所述底座的下方设置有电机，电机设置有两个，且两个电机均与底座通过螺钉连接，两个所述电机关于底座中心线对称设置，两个所述电机输出端的上方均设置有转轴，且转轴与底座转动连接，所述外齿轮的两侧均设置有齿轮，所述齿轮与转轴连接为一体结构，所述回转盘的上方设置有加工台。
- 新型真空镀膜自转回转机构
- [实用新型]一种高效散热的平面靶-CN202023315858.7有效
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王伟平;王金泉;王菊姿
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莱糸真空科技（常州）有限公司
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2020-12-31
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2021-09-17
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C23C14/35
- 本实用新型公开了一种高效散热的平面靶，涉及平面靶领域，为解决现有技术中的现有的平面靶在高强度使用中会产生高温，影响溅射速率的问题。所述平面靶主体的一侧安装有散热连接板，所述散热连接板的一侧安装有支撑板，所述支撑板的一侧安装有冷却水箱，所述平面靶主体的内表面设置有平面靶限位块，所述平面靶限位块设置有四个，四个所述平面靶限位块的一侧均设置有平面靶凹槽，所述散热连接板的内侧设置有连接板限位块，四个所述连接板限位块的一侧均设置有连接板凹槽，所述连接板凹槽的内部安装有冷却水管，所述冷却水管的两端均延伸至连接板限位块内部与连接板限位块密封连接，所述连接板限位块的内部设置有储水腔。
- 一种高效散热平面
- [实用新型]一种内置加热装置的真空油扩散泵-CN202023315859.1有效
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王伟平;王金泉;王菊姿
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莱糸真空科技（常州）有限公司
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2020-12-31
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2021-09-17
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F04B41/06
- 本实用新型公开了一种内置加热装置的真空油扩散泵，涉及油扩散泵技术领域，为解决现有技术中普通油扩散泵在关机阶段，油蒸汽容易向上流动的问题。所述泵体的内部设置有冷凝帽，所述冷凝帽的两侧均安装有冷凝管，所述冷凝帽与冷凝管固定连接，所述冷凝管与泵体固定连接，所述冷凝帽与泵体通过冷凝管固定连接，所述冷凝帽的上方安装有外保护罩，所述外保护罩与冷凝帽通过紧固螺丝固定连接，所述外保护罩的内部安装有电机，所述电机与外保护罩通过紧固螺丝固定连接，所述泵体的内部设置有吸风扇，所述吸风扇与电机通过连轴固定连接，所述泵体的下方安装有保温罩，所述保温罩与泵体通过紧固螺丝固定连接，所述泵体的内部安装有油锅。
- 一种内置加热装置真空扩散
- [实用新型]一种用于真空镀膜的平面靶-CN202023315874.6有效
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王伟平;王金泉;王菊姿
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莱糸真空科技（常州）有限公司
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2020-12-31
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2021-09-17
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C23C14/34
- 本实用新型公开了一种用于真空镀膜的平面靶，涉及真空镀膜技术领域，为解决现有的平面靶结构和功能单一，使用灵活性较低的问题。所述真空镀膜箱的内部设置有平面靶，所述平面靶的上端设置有跑道刻蚀区，所述跑道刻蚀区包括A区段和B区段，所述A区段和B区段的上端均设置有磁力线，所述A区段包括A金属靶块，所述B区段包括B金属靶块，所述平面靶的外侧设置有挡板，所述挡板上端的一侧设置有第一竖板，所述挡板上端的另一侧设置有第二竖板，所述真空镀膜箱的内侧安装有驱动箱，所述驱动箱内部的一侧设置有凹槽，所述凹槽的内部安装有电机，且凹槽与电机通过螺钉连接，所述电机的一端安装有丝杆，且丝杆与驱动箱通过轴承连接。
- 一种用于真空镀膜平面
- [实用新型]新型高抽速高真空油扩散泵-CN202023349244.0有效
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王伟平;王金泉;王菊姿
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莱糸真空科技（常州）有限公司
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2020-12-31
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2021-09-17
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F04F9/00
- 本实用新型公开了新型高抽速高真空油扩散泵，涉及扩散泵技术领域，为解决现有扩散泵由于较高的返油率使得抽速较慢，并且在扩散泵进行运行时，会产生较高的热量，而现有散热方法一般都是通过散热扇进行吹风散热，而在夏天时，工作环境温度较高时，散热扇吹向扩散泵的空气也会具有较高的温度，从而使得扩散泵散热效果不好，造成扩散泵由于温度较高而容易老化的问题。所述安装箱的下方内壁固定安装有扩散泵装置，所述扩散泵装置的内部固定安装有宝塔式七级泵芯，所述安装箱的一侧外壁开设有通槽，所述安装箱的另一侧外壁开设有散热槽，且散热槽设置有若干个，所述安装箱一侧外壁的内部固定设置有出油管。
- 新型高抽速高真空扩散
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