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- [发明专利]结晶硅制造设备用的搬运设备-CN201210019067.0在审
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荻原尚
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大福股份有限公司
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2012-01-20
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2012-07-25
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C30B28/06
- 本发明提供一种结晶硅制造设备用的搬运设备，以减轻多结晶硅体至纵断加工为止的作业员的负担。一种结晶硅制造设备用的搬运设备，位于直线状的移动路径L的一侧部分L1的一侧空间Z1，以及位于另一侧部分L2的另一侧空间Z2，由形成有通过用开口4让搬运车1由通过的分隔壁3分隔且互相邻接般配置，铸造多结晶硅体的多个多结晶炉R沿着一侧部分L1被设置，将多结晶炉R所铸造的多结晶硅体进行纵断加工的多个加工机K沿着另一侧部分L2被设置，自由搬运多结晶硅体的搬运车1通过分隔壁3搬运多结晶硅体般被构成。
- 结晶制造备用搬运设备
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