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专利名称
农业 化学；冶金 建筑 机械工程 区域搜索
主分类
A 农业
B 作业；运输
C 化学；冶金
D 纺织；造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]曝光装置-CN201910678844.4有效
  • 水野博文;茂野幸英 - 株式会社斯库林集团
  • 2019-07-25 - 2022-07-12 - G03F7/20
  • 本发明容易地提高曝光装置的二维图案的曝光精度。曝光装置具备发光部、微透镜阵列部以及传感器部。发光部具有发出光的多个发光区域。微透镜阵列部具有有效区域和非有效区域。有效区域包括分别位于多个发光区域分别所发出的光的路径上的多个微透镜。非有效区域位于有效区域的外侧并包括调整用标识。传感器部具有沿第一方向排列的多个受光元件和沿第二方向排列的多个受光元件。传感器部能够输出调整用光点与调整用标识的相对位置关系的信号，调整用光点是在从发光部发出并通过非有效区域的包括调整用标识的区域的光的路径上，从多个发光区域中的调整用发光区域发出向并非有效区域照射的光所形成的光点。
  • 曝光装置
  • [发明专利]照明装置以及检查装置-CN201710111359.X在审
  • 茂野幸英 - 株式会社斯库林集团
  • 2017-02-28 - 2017-09-05 - G01N21/88
  • 一种易于提高对象物的单位面积的光的照射强度的照明装置。该照明装置具有出射部列和反射部。在此，出射部列具有多个出射部，多个出射部沿着预先设定的排列方向排列且分别向预先设定的出射方向出射光。反射部具有以向与排列方向交叉的交叉方向观察与排列方向正交的方式配置且能够反射光的反射面。另外，多个出射部包括出射同种光的2个以上的出射部，2个以上的出射部包括从距离反射面近的位置依次排列的第一个出射部和第二个出射部。另外，向交叉方向观察，反射面与第一个出射部之间的第一间隔为第一个出射部与第二个出射部之间的第二间隔的一半以下。
  • 照明装置以及检查
  •  1 
  • 共 4 条
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