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- [实用新型]一种柔性探针组件-CN202221423355.8有效
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王乾龙;俞方能;雷旺;罗鑫依;陆冰彬
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英铂科学仪器(上海)有限公司
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2022-06-07
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2022-11-29
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G01R1/067
- 本实用新型属于半导体超低温检测技术领域,公开了一种柔性探针组件,包括具有导热性的安装基板,还包括探针、柔性连接件和电信接头;所述探针连接在柔性连接件上,并通过柔性连接件与所述安装基板连接;所述柔性连接件通过导线与所述电信接头连接,电信接头用于将电信参数引出所述柔性探针组件外;所述柔性连接件具有弹性结构,以通过弹性结构抵消柔性连接件由于热胀冷缩带来的应力。本实用新型通过以具有弹性结构的柔性连接件作为探头臂,在自动连续变温实验中,可抵消热胀冷缩带来的应力,实现自动补偿热铆钉探头的探头臂的温度膨胀,显著提高了测量的稳定性,并且柔性探针允许连续的变温实验,减少了反复落针带来的连接问题。
- 一种柔性探针组件
- [实用新型]一种探针座-CN202120720243.8有效
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陆冰彬
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英铂科学仪器(上海)有限公司
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2021-04-08
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2021-12-21
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G01R1/067
- 本实用新型涉及半导体测试技术领域,公开了一种探针座,包括基座,设置在基座上的X向移动机构、设置在X向移动机构上的Y向移动机构和设置在Y向移动机构上的Z向移动机构,所述X向移动机构包括设于基座上的底座、设于底座上的中座、与底座转动连接的第一丝杆和与第一丝杆螺纹连接的第一螺母,所述Y向移动机构包括设于中座上的上座、与中座转动连接的第二丝杆和与第二丝杆螺纹连接的第二螺母,所述Z向移动机构包括设于上座一侧的侧座、与上座转动连接的第三丝杆和与第三丝杆螺纹连接的第三螺母;本实用新型提供的一种探针座,解决了现有探针座调试精度不高,安装结构设计复杂的问题。
- 一种探针
- [实用新型]一种探针台真空腔装置-CN202120720298.9有效
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陆冰彬
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英铂科学仪器(上海)有限公司
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2021-04-08
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2021-12-21
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G01R1/04
- 本实用新型涉及半导体测试技术领域,公开了一种探针台真空腔装置,包括真空腔体以及与真空腔体连通的抽真空管道,真空腔体包括同轴嵌套设置的外腔体和内腔体,外腔体和内腔体之间为保温腔,外腔体与内腔体一一对应设有外探测孔和内探测孔,相对应的外探测孔和内探测孔构成探测孔,内腔体内设有载物台,载物台的高度与探测孔的高度相适应,载物台上设有加热模块和温度传感器,载物台内设有冷源循环通道,冷源循环通道的两端分别通过管道连接至真空腔体的外部;本实用新型提供的一种探针台真空腔装置,解决了现有探针台的真空腔存在升温速度慢,对半导体器件的测试效率低的问题。
- 一种探针空腔装置
- [实用新型]一种可移动式升降移动台装置-CN202021729455.4有效
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陆冰彬
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英铂科学仪器(上海)有限公司
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2020-08-19
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2021-03-05
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G02B21/24
- 本实用新型涉及显微镜移动台技术领域,具体为一种可移动式升降移动台装置,包括显微镜主体,所述显微镜主体包括台面,所述台面的内部安装有套接机构,所述台面的顶端连接有基座,所述基座的顶端安装有连接杆,所述连接杆远离基座一侧的底端安装有气压杆,所述气压杆的底端连接有移动台,所述移动台的顶端安装有目镜,且目镜的数量为两个。本实用新型通过设置有套接机构,工作人员通过转动旋转握把并以此来带动螺杆进行转动,以此来使得套接在螺杆上的基座进行移动,以此来让工作人员在之后使用移动台对样品台进行观测时,工作人员可在不触动样品台上的玻璃样品时,来对样品台上的物品进行全方面的观测。
- 一种移动式升降移动装置
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