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[发明专利]使用扫描探针显微镜的表面成像方法及使用该方法的相应系统-CN202080074923.5在审
发明人：安德鲁·汉弗里斯 -专利权人： 英菲尼特斯马有限公司
申请日： 2020-10-23 - 公布日： 2022-07-22 - 主分类号： G01Q10/04 文献下载
摘要：一种使用扫描探针显微镜的表面成像方法，该扫描探针显微镜包括具有从基部支持物(2)延伸到自由端的悬臂的探针、由悬臂的自由端承载的探针尖端以及转向镜(13)；所述方法包括：跨表面横向扫描探针，使得探针进行跨表面的扫描运动；经转向镜将检测光束转向到探针上，检测光束以返回光束的形式从探针反射；移动转向镜，使检测光束进行与扫描运动同步的跟踪运动，并且通过转向镜保持检测光束转向到探针上；使用返回光束获得图像测量值，每个图像测量值表示表面上相应点的测量高度；通过将转向镜位置的目标值与转向镜位置的实际位置进行比较来获得表面上每个点的相关高度误差测量值，每个高度误差测量值表示测量高度的相应误差；以及，使用高度误差测量值校正图像测量值，以生成校正图像测量值。
使用扫描探针显微镜表面成像方法相应系统

[发明专利]扫描探针系统-CN202080084232.3在审
发明人：安德鲁·汉弗里斯 -专利权人： 英菲尼特斯马有限公司
申请日： 2020-11-30 - 公布日： 2022-07-22 - 主分类号： G01Q10/06 文献下载
摘要：一种用扫描探针系统扫描样品的方法，扫描探针系统包括探针，探针具有从基部延伸到自由端的悬臂的探针，以及由悬臂的自由端承载的探针尖端。该方法包括：使用探针测量样品和探针之间的静电相互作用；并且在静电相互作用之后，在向扫描探针系统施加偏置电压的同时，用探针扫描样品，其中，所施加的偏置电压是基于测得的样品和探针之间的静电相互作用的。
扫描探针系统

[发明专利]控制探针尖端倾斜角度的扫描探针系统-CN201880035134.3有效
发明人：安德鲁·汉弗里斯 -专利权人： 英菲尼特斯马有限公司
申请日： 2018-04-06 - 公布日： 2022-06-07 - 主分类号： G01Q10/06 文献下载
摘要：一种用探针扫描特征的方法，探针包括悬臂支架、从悬臂支架延伸到自由端的悬臂以及由悬臂的自由端承载的探针尖端。测量探针相对于参考表面的定向以生成探针定向测量结果；参考表面限定垂直于参考表面的参考表面轴线，探针尖端相对于参考表面轴线具有参考倾斜角；根据探针定向测量结果改变悬臂的形状，使得探针尖端相对于悬臂支架移动，参考倾斜角从第一参考倾斜角减小到第二参考倾斜角。采用探针扫描样品表面，其中，样品表面限定垂直于样品表面的样品表面轴线，探针尖端具有相对于样品表面轴线的扫描倾斜角。在扫描样品表面期间，移动悬臂支架，使得探针尖端以小于第一参考倾斜角的扫描倾斜角插入到样品表面中的特征中。
控制探针尖端倾斜角度扫描系统

[发明专利]自适应模式扫描探针显微镜-CN201280007027.2有效
发明人： A·霍姆菲瑞斯 -专利权人： 英菲尼特斯马有限公司
申请日： 2012-01-31 - 公布日： 2013-12-04 - 主分类号： B82Y35/00 文献下载
摘要：一种包括机械响应于驱动力的探针的扫描探针显微镜。信号产生器向产生驱动力的致动器提供驱动信号，该驱动信号例如用于促使致动器重复地朝向和远离样品移动探针。检测系统布置为输出指示从探针反射的光和高度参考束之间的路径差异的高度信号。图像处理装置布置为使用高度信号来形成样品的图像。信号处理装置布置为在探针接近样品时监控探针且检测探针与样品相互作用的表面位置。响应于表面位置的检测，信号处理装置提示信号产生器修改驱动信号。
自适应模式扫描探针显微镜