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[发明专利]照明装置、照明方法以及检查装置-CN201210578830.3无效
发明人：林义典;井筒纪;关胜利;若叶博之;小野洋子;权藤隆德;泷泽明彦 -专利权人：芝浦机械电子装置股份有限公司
申请日： 2012-12-27 - 公布日： 2013-07-03 - 主分类号： G01N21/88 文献下载
摘要：提供一种照明装置、照明方法以及检查装置，即便使用了对于设定光量的切换的响应性比较差的照明单元，也能够在设定光量的切换时以比较短的时间使照明光量成为目标光量。该照明装置具有：第1照明单元（30），其以与设定光量对应的照明光量对被照明体进行照明；第2照明单元（43），其对于设定光量的切换的响应性优于所述第1照明单元（30），并以与来自第1照明单元（30）的照明光进行了叠加的照明光对所述被照明体进行照明；以及照明控制单元（60），其将第1照明单元（30）的照明光量维持在预定量，同时，通过按照控制信息进行的设定光量的切换，控制第2照明单元（43）的照明光量。
照明装置方法以及检查

[发明专利]检查装置及检查方法-CN201210579419.8无效
发明人：林义典;井筒纪;若叶博之;小野洋子;关胜利;权藤隆德;泷泽明彦 -专利权人：芝浦机械电子装置股份有限公司
申请日： 2012-12-27 - 公布日： 2013-07-03 - 主分类号： G01N21/88 文献下载
摘要：一种检查装置及检查方法。即使是在达到目标光量所需时间较长的照明装置的照明光量达到目标光量之前开始检查，也能够进行精度优于过去的检查。检查装置对利用图像数据表示的被检查体的图像进行检查处理，该图像数据是通过拍摄被照明装置照明的被检查体而得到的，该检查装置构成为具有确定用于检查处理的处理信息的处理信息确定单元（S26、S29），该处理信息随着在照明装置的设定光量被从初始光量切换为目标光量时、来自照明装置的照明光量从初始光量到目标光量的时间性变化而变化，检查装置使用由处理信息确定单元根据从照明装置的设定光量被切换为目标光量时起的经过时间确定的处理信息进行检查处理（S27）。
检查装置方法

[发明专利]粘合板状体检查装置及方法-CN201210361062.6有效
发明人：林义典;若叶博之;井筒纪;权藤隆德;小野洋子;关胜利 -专利权人：芝浦机械电子装置股份有限公司
申请日： 2012-09-25 - 公布日： 2013-04-03 - 主分类号： G01B11/14 文献下载
摘要：粘合板状体检查装置及方法，能够比较容易地检查粘合板状体中的板状体的缘端与粘接剂的缘端的间隔。粘合板状体检查装置具备线感测照相机(50)、照明单元(51)和处理从线感测照相机输出的影像信号的处理单元(70)，该线感测照相机在照明单元进行照明的状态下对粘合板状体(10)进行扫描，处理单元具有：检查图像信息生成单元(S12)，其根据上述影像信号生成由像素单位的浓淡值构成的检查图像信息；缘端间距离信息生成单元(S14，S15)，其根据从上述检查图像信息获得的横切第1板状体(11)的缘端的检查线上的浓淡值分布，生成表示检查线上的第1板状体的缘端与粘接剂(13)的缘端之间的间隔的缘端间距离信息(d)，提供基于缘端间距离信息(d)的检查结果。
粘合体检装置方法

[发明专利]贴合板状体检查装置以及方法-CN201210217090.0有效
发明人：林义典;若叶博之;井筒纪;关胜利;小野洋子;权藤隆德 -专利权人：芝浦机械电子装置股份有限公司
申请日： 2012-06-27 - 公布日： 2013-01-09 - 主分类号： G01N21/88 文献下载
摘要：一种能够针对分散在粘接剂中的大多数的气泡高精度地得到可以表示其尺寸的信息的贴合板状体检查装置以及方法。该贴合板状体检查装置具有：线传感器照相机（50）；隔着贴合板状体（10）朝向线传感器照相机（50）进行照明的照明单元（51、52）；以及处理单元，其对视频信号进行处理，该视频信号在通过所述照明单元进行了照明的状态下，在线传感器照相机对所述贴合板状体进行扫描时，从该线传感器照相机输出，所述处理单元根据横穿由检查图像信息得到的暗环的方向的浓淡值曲线，基于与所述暗环对应的2个暗部之间的检查图像上的距离，生成气泡尺寸信息，所述检查图像信息由基于来自所述线传感器照相机的视频信号生成的像素单位的浓淡值构成。
贴合体检装置以及方法

[发明专利]贴合板状体检查装置与方法-CN201210151151.8有效
发明人：林义典;若叶博之;井筒纪;关胜利;小野洋子;权藤隆德 -专利权人：芝浦机械电子装置股份有限公司
申请日： 2012-05-15 - 公布日： 2012-11-21 - 主分类号： G01N21/88 文献下载
摘要：本发明提供贴合板状体检查装置与方法，即使在贴合板状体的周边部存在不透光区域，也能够获得使粘接剂在该周边部的状态与粘接剂内的气泡或异物一起显现出来的检查图像。贴合板状体检查装置具有：线传感器摄像机（50）；从贴合板状体（10）的第1板状体（11）侧对该贴合板状体的表面进行照明的第1照明构件（51）；以及从贴合板状体的第2板状体（12）侧朝向线传感器摄像机照明的第2照明构件（52），第1照明构件从贴合板状体的上方对从贴合板状体的表面上的摄影线（LC）离开预定的距离并在沿该摄影线的方向上延伸的预定区域（EL）斜着进行照明，在第1照明构件及和第2照明构件进行照明的状态下，线传感器摄像机扫描贴合板状体由此生成检查图像。
贴合体检装置方法

[发明专利]基板检查装置、基板检查方法及基板检查装置的调整方法-CN201210115341.4有效
发明人：松嶋大辅;武藤真;林义典;若叶博之;小野洋子;森秀树 -专利权人：芝浦机械电子装置股份有限公司
申请日： 2012-04-18 - 公布日： 2012-10-24 - 主分类号： G01N21/88 文献下载
摘要：本发明提供基板检查装置、基板检查方法及基板检查装置的调整方法，即使在贴合的两个基板层的任意一方中存在不透过检查光的部分，也能检查贴合界面中可能产生的微小空洞。构成为具有：光源单元(30)，其以倾斜入射的方式对基板(100)的表面带状地照射检查光；线感测照相机(20)，其隔着由检查光形成在基板表面上的带状照明区域配置在与光源单元(30)相反侧的预定位置，在照明单元(30)及线感测照相机(20)与基板(100)进行相对移动时，根据从线感测照相机(20)输出的影像信号生成基板图像信息，根据基板图像信息生成与基板(100)的第1基板层(101)和第2基板层(102)的界面中可能产生的微小空洞有关的检查结果信息。
检查装置方法调整

[发明专利]图像处理方法、图像处理装置及使用该图像处理装置的表面检查装置-CN200980140443.8无效
发明人： 若叶博之;林义典;宫园浩一;川崎祥三;森秀树;浜谷和彦 -专利权人：芝浦机械电子装置股份有限公司
申请日： 2009-10-14 - 公布日： 2011-09-07 - 主分类号： G01N21/88 文献下载
摘要：本发明提供一种图像处理方法，能够得到在物体表面图像的边缘部分的区域中实施了合适的图像处理的图像。图像处理方法构成为包括：图像取得步骤(S11)，取得由像素单位的浓淡值构成的、包括物体表面图像的被处理图像；边缘部图像确定步骤(S13)，将包括在所述被处理图像中设定的所述物体表面图像的边缘线的、在与该边缘线正交的方向上为预定宽度的区域的图像，确定为边缘部图像；变换步骤(S14)，将所述边缘部图像变换为宽度相当于所述预定宽度的矩形图像；图像处理步骤(S15)，对所述矩形图像实施对在与该宽度方向正交的方向上排列的多个像素的浓淡值依次进行处理的一维图像处理；以及逆变换步骤(S16)，将实施了所述一维图像处理的所述矩形图像逆变换为原来区域的图像，生成已处理边缘部图像。
图像处理方法装置使用表面检查

[发明专利]特征分析装置-CN200880119406.4有效
发明人：林义典;若叶博之;宫园浩一;小野洋子;森秀树 -专利权人：芝浦机械电子装置股份有限公司
申请日： 2008-12-01 - 公布日： 2010-11-17 - 主分类号： G01N21/956 文献下载
摘要：提供一种能够在视觉上确认检查体的特征，能够比较少地进行基于特征的分类的自由度限制的特征分析装置。成为以下结构：取得检查体的检查体信息的单元(S1)，分析所述检查信息，确定多个层级各自的特征参数的值(S2～S5)，针对多个层级，分别根据多个特征参数各自的值和对应的方向生成单一的参数矢量(S2～S5)，将所述参数矢量转换成作为预定的三维空间中的三维矢量的层级矢量(S2～S5)，生成多个节在所述三维空间中的坐标值的组，作为表示所述检查体的特征信息，其中多个节是针对所述多个层级得到的多个层级矢量按该层级的顺序连接得到的(S6)。
特征分析装置

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