“苏珊·特罗利尔-麦金斯特里”申请（专利权）人搜索_中国专利权人_发明人_技术持有人_科研专家_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果5个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]多层压电薄膜元件-CN201580059541.4有效
发明人：彼得·马迪洛维奇;苏珊·特罗利尔-麦金斯特里 -专利权人：赛尔科技有限公司
申请日： 2015-11-04 - 公布日： 2020-11-13 - 主分类号： H01L41/18 文献下载
摘要：一种压电薄膜元件，其具有第一电极、第二电极和在电极之间的压电薄膜，其中，该薄膜包括具有两个或更多个压电薄膜层的层压体，并且其中，第一薄膜层由一个或多个掺杂剂掺杂和第二膜层由一个或多个掺杂剂掺杂，并且其中，第二薄膜层的至少一个掺杂剂不同于第一薄膜层的一个或多个掺杂剂。
多层压电薄膜元件

[发明专利]极化压电致动器元件的方法-CN201980011949.2在审
发明人：查拉兰波斯·弗拉基亚达克思;彼得·马迪洛维奇;苏珊·特罗利尔-麦金斯特里 -专利权人：赛尔科技有限公司
申请日： 2019-01-31 - 公布日： 2020-09-18 - 主分类号： H01L41/257 文献下载
摘要：一种极化致动器的压电元件的方法，包括向压电元件施加电脉冲加热波形，以将其温度升高到极化温度(S202)，在极化时间段内向压电元件施加电场极化波形(S203)，以及向压电元件施加电场保持极化波形，以在致动器的温度降低时保持极化(S204)。
极化压电致动器元件方法

[发明专利]压电薄膜元件-CN201780016688.4在审
发明人：彼得·马迪洛维奇;高松远;苏珊·特罗利尔-麦金斯特里;特伦特·博尔曼 -专利权人：赛尔科技有限公司
申请日： 2017-03-14 - 公布日： 2018-11-09 - 主分类号： H01L41/187 文献下载
摘要：一种压电薄膜元件，其包括第一电极、第二电极和位于它们之间的一个或更多个压电薄膜，其中第一电极是具有平均晶粒尺寸大于50nm的铂金属电极，并且其中邻近铂金属电极的压电薄膜包括具有多个压电薄膜层的叠层，其中接触铂金属电极的压电薄膜层包括为或大约为PbZr_xTi_1‑xO₃(其中0
电极铂金属压电薄膜元件压电薄膜层第一电极压电薄膜第二电极平均晶粒锆钛酸铅叠层取向邻近

[发明专利]压电薄膜元件-CN201780017158.1在审
发明人：彼得·马迪洛维奇;高松远;苏珊·特罗利尔-麦金斯特里;特伦特·博尔曼;朱宛琳 -专利权人：赛尔科技有限公司
申请日： 2017-03-14 - 公布日： 2018-11-09 - 主分类号： H01L41/187 文献下载
摘要：一种用于制造压电薄膜元件的方法，该压电薄膜元件包括第一电极、第二电极和在其间的一个或更多个压电薄膜，该方法包括通过使用三种溶液的化学溶液沉积形成包括PZT的压电薄膜，其中PZT薄膜的形成包括由三种溶液形成主体PZT薄膜层，其中每种溶液具有不同于任何其它溶液的Zr/Ti含量的Zr/Ti含量，并且至少一种溶液具有大于任何其它溶液的过量铅含量的过量铅含量，使得主体PZT薄膜层在其厚度方向上具有基本上均匀的铅含量和Zr/(Zr+Ti)比率。
压电薄膜元件压电薄膜过量化学溶液沉积第二电极第一电极制造

[发明专利]压电薄膜元件-CN201680046465.8在审
发明人：彼得·马迪洛维奇;苏珊·特罗利尔-麦金斯特里;萨布拉曼尼安·西瓦拉马克里什南 -专利权人：萨尔技术有限公司
申请日： 2016-06-10 - 公布日： 2018-04-17 - 主分类号： H01L41/04 文献下载
摘要：公开了一种压电薄膜元件(20)，包括第一电极(22)、第二电极(23)以及在其之间的一个或更多个压电薄膜，其特征在于，薄膜元件具有下列各项中的至少两项电极布置，其中，电极与这一个或更多个压电薄膜一起布置，以便当压电薄膜元件被致动时，施加到邻近第一电极的压电薄膜或压电薄膜的一部分的电场低于施加到相距第一电极更远的压电薄膜或压电薄膜的一部分的电场；邻近第一电极的压电薄膜，其中，所述第一电极附近的所述压电薄膜的层具有的压电位移常数比相距所述第一电极更远的所述压电薄膜的层的压电位移常数更低；以及邻近第一电极的压电薄膜，其中，所述第一电极附近的所述压电薄膜的层具有的弹性模量比相距所述第一电极更远的所述压电薄膜的层的弹性模量更低。
压电薄膜元件