|
钻瓜专利网为您找到相关结果 32个,建议您 升级VIP下载更多相关专利
- [发明专利]一种可提拉的直拉法单晶硅夹持机构及工作方法-CN202011523381.3有效
-
苏文佳;李九龙
-
江苏大学
-
2020-12-22
-
2022-03-22
-
C30B15/00
- 本发明公开了一种可提拉的直拉法单晶硅夹持机构及工作方法,主要包括电动推杆、单晶硅棒、电动滑块、夹持环机构、电动导轨、凸轴;炉壳上部设有套筒,所述凸轴设于所述电动导轨上部,所述电动推杆与所述凸轴通过螺纹连接;所述电动滑块一侧存在双层凹槽;所述夹持环机构分为夹持基座和夹持环,所述夹持基座侧部的旋块与双层凹槽嵌入配合;所述夹持环设有滚轮,两个夹持环通过插柱与凹槽配合对接。使用该装置时需将硅棒拉制出腰部,电动推杆推动凸轴,带动电动导轨从两侧向中心移动,使夹持环机构夹持住腰部,防止硅棒晃动,同时协助提拉线提拉,降低负载,并防止因单晶硅棒重量过大导致细颈断裂,有利于减小安全隐患并提升单晶硅质量。
- 一种可提拉直拉法单晶硅夹持机构工作方法
- [发明专利]一种单晶硅夹持爪装置及其工作方法-CN202011525157.8有效
-
苏文佳;张振;李九龙
-
江苏大学
-
2020-12-22
-
2022-02-15
-
C30B15/32
- 本发明公开了一种单晶硅夹持爪装置,包括伸缩杆,内层套筒,电动推拉机构,外层套筒,连接部及夹持爪机构;电动推拉机构包括电机和推拉杆,通过螺栓固定在内层套筒上;夹持爪机构包括第一联动杆、第二联动杆及弯爪;使用该装置时需将单晶硅棒拉制出腰部,控制电动推拉机构推动外层套筒向下移动,带动联动杆使弯爪向内合拢,弯爪底部的刻纹斜面紧贴硅棒腰部斜面,可抓紧单晶硅棒边防止相对滑动,之后松弛提拉线,夹持爪装置可代替提拉线工作。本发明能解决目前传统提拉机构难以提拉承载超重单晶硅棒的不足,具强度大,装载可靠稳定等优点,可夹持超重单晶硅棒并防止细颈断裂。
- 一种单晶硅夹持装置及其工作方法
- [发明专利]一种用于晶硅铸锭炉的载气导流装置及其导流方法-CN202010047321.2有效
-
苏文佳;李琛;王军锋
-
江苏大学
-
2020-01-16
-
2021-05-25
-
C30B28/06
- 本发明公开了一种用于晶硅铸锭炉的载气导流装置及其导流方法,主要包括导流套筒、外导流管和内导流管;所述导流套筒上端和顶部隔热笼上方进气管接头螺纹连接,导流套筒内壁设置周向均匀分布的内壁凸台,导流套筒下端设置密封管;所述外导流管外壁设置周向均匀分布的外壁凸台,下端设置侧部喷管和侧流底座,外导流管通过外壁凸台挂靠在导流套筒的内壁凸台上;所述内导流管上端和牵引装置连接,下端设置底部喷管,内导流直管和底部喷管连接处设置支撑台;使用该系统时,针对不同生长阶段,独立控制内导流管和外导流管载气流量及出流位置,从而在加速熔体自由表面杂质蒸发的同时,抑制载气回流和化学反应,最终降低铸锭中的氧碳含量。
- 一种用于铸锭导流装置及其方法
- [实用新型]一种多晶硅铸锭炉氩气导流系统-CN201320658718.0有效
-
苏文佳;左然
-
江苏大学
-
2013-10-24
-
2014-05-28
-
C30B28/06
- 本实用新型提供一种多晶硅铸锭炉氩气导流系统,包括氩气进口直管、石墨坩埚和盖板,石墨坩埚的开口边缘开有凹槽,顶部盖板上绕氩气进口直管对称分布盖板排气口,氩气进口直管出口端与喇叭形进口管的进口端连接,氩气进口直管出口端侧壁上对称分布有出口气孔,喇叭形进口管的出口端与喷淋式进口管的进口端连接,喷淋式进口管为有底管,喷淋式进口管的底部对称分布有底部气孔,喷淋式进口管的侧壁上对称开有侧壁气孔。使用该系统时,针对熔料、生长和收尾的不同阶段,控制氩气进口直管的上下不同位置,从而能够优化氩气流动,降低晶体硅中的氧碳含量,同时方便地控制晶体硅和熔体硅的轴向温度梯度。
- 一种多晶铸锭炉氩气导流系统
- [实用新型]一种定向凝固法准单晶硅生长炉-CN201320753560.5有效
-
苏文佳;左然
-
江苏大学
-
2013-11-26
-
2014-05-28
-
C30B11/00
- 本实用新型提供一种定向凝固法准单晶硅生长炉,包括石英坩埚、石墨坩埚、DS块和氩气冷却进口管,石英坩埚内底部开若干籽晶凹槽,在DS块上开氩气冷却孔和氩气流道,该流道最终使氩气沿DS块的四周流入炉体,底部氩气冷却进口管构成底部氩气强制冷却系统。使用该系统时,针对熔料、生长和收尾的不同阶段,控制底部氩气冷却进口管的氩气流量,从而控制籽晶的熔接、固液界面保持水平并略凸以及晶体硅和熔体硅的轴向温度梯度。与现有准单晶生长方法中籽晶铺满石英坩埚底部相比,籽晶用量大大减少,节约成本,准单晶硅的单晶率可达95%以上,大大提高了太阳光伏电池的效率。
- 一种定向凝固单晶硅生长
- [发明专利]一种多晶硅铸锭炉氩气导流系统及其导流方法-CN201310505537.9有效
-
苏文佳;左然
-
江苏大学
-
2013-10-24
-
2014-02-19
-
C30B28/06
- 本发明提供一种多晶硅铸锭炉氩气导流系统及其导流方法,包括氩气进口直管、石墨坩埚和盖板,石墨坩埚的开口边缘开有凹槽,顶部盖板上绕氩气进口直管对称分布盖板排气口,氩气进口直管出口端与喇叭形进口管的进口端连接,氩气进口直管出口端侧壁上对称分布有出口气孔,喇叭形进口管的出口端与喷淋式进口管的进口端连接,喷淋式进口管为有底管,喷淋式进口管的底部对称分布有底部气孔,喷淋式进口管的侧壁上对称开有侧壁气孔。使用该系统时,针对熔料、生长和收尾的不同阶段,控制氩气进口直管的上下不同位置,从而能够优化氩气流动,降低晶体硅中的氧碳含量,同时方便地控制晶体硅和熔体硅的轴向温度梯度。
- 一种多晶铸锭炉氩气导流系统及其方法
- [实用新型]一种带有内部水冷的直拉单晶炉热屏-CN201120229547.0有效
-
苏文佳;左然;李通通
-
江苏大学
-
2011-07-01
-
2012-05-30
-
C30B15/00
- 本实用新型公开一种带有内部水冷的直拉单晶炉热屏,具体为一种用于半导体单晶生长的、带有内部水冷的直拉炉热屏,涉及半导体材料生长设备技术领域。本实用新型包括外热屏、保温碳毡、内热屏和保温桶上盖,外热屏、保温碳毡、内热屏为三层圆台形同轴结构,从外向内依次为外热屏、保温碳毡、内热屏,还包括冷却水管进口、圆台形螺旋水冷管、冷却水管出口、冷却水流量阀、高压水泵和喷淋冷却塔,圆台形螺旋水冷管包裹在保温碳毡中,圆台形螺旋水冷管与内热屏和外热屏均同轴;冷却水管进口和冷却水管出口从内热屏上沿穿过;冷却水管进口与高压水泵连接,冷却水管出口与喷淋冷却塔连接。
- 一种带有内部水冷直拉单晶炉热屏
|