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[发明专利]清理离子布植机内部氟化表面的方法及装置-CN202110972639.6有效
发明人： 苏义翔;史蒂芬·R·瓦尔特;黄启铭;吴志强 -专利权人：汉辰科技股份有限公司
申请日： 2019-10-15 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： B08B7/04 文献下载
摘要：本发明提出一种清理离子布植机内部氟化表面的方法，包括以下步骤：在离子布植机内部提供含硼离子束的离子束来源；以及将所述含硼离子束自所述离子束来源传送到具有氟化表面的内部元件，藉以使得所述含硼离子束被引导到所述氟化表面。通过布植硼离子束，特别是具有清洁配方的硼离子束到氟化表面，藉以使得含氟颗粒被移除。进一步地，本发明通过调整氟化表面的温度(通常是加热)到一个温度范围，藉以使得氟键结被弱化，而使得这些含氟颗粒容易被挥发而被移除。可选择地，这些含氟颗粒可以连续地、交替地或弹性地被抽真空移除。
清理离子布植机内部氟化表面方法装置

[发明专利]离子布植机内部的氟化表面的清理-CN201910976570.7有效
发明人： 苏义翔;史蒂芬·R·瓦尔特;黄启铭;吴志强 -专利权人：汉辰科技股份有限公司
申请日： 2019-10-15 - 公布日： 2021-09-14 - 主分类号： B08B7/04 文献下载
摘要：本发明提出三种方式来处理氟化表面，其为离子布植机内部不可忽略的问题，并且在低能量含氟离子束被布植到碳表面及/或硅表面时会变得更严重。第一，引导氢气及/或含氢离子(原子的及/或分子的)到含氟表面，藉以使得氟键结被氢键结所取代，并进而让含氟颗粒被移除。第二，布植硼离子束(特别是具有清洁配方的硼离子束)到氟化表面，藉以使得含氟颗粒被移除。第三，调整(通常是加热)氟化表面的温度到一个温度范围，藉以使得氟键结被弱化而使得这些含氟颗粒容易被挥发而被移除。可选择地，这些含氟颗粒可以连续地、交替地或弹性地被抽真空移除。
离子布植机内部氟化表面清理