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[发明专利]宽光谱物镜垂轴色差检测系统、方法及半导体设备-CN202210196190.3有效
发明人：马骏;闫力松;赵润川;方斌;张羽;艾立夫 -专利权人：上海精积微半导体技术有限公司
申请日： 2022-03-01 - 公布日： 2023-06-20 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：本发明提供了宽光谱物镜垂轴色差检测系统、方法及半导体设备，该系统包括运动台，用于承载表面具有可识别的图案的标定片；照明模块，用于产生包含若干不同波长λm照明光的宽波段光束，分别提取宽波段光束中的不同波长λm照明光并垂直入射至标定片；调焦模块；成像模块，用于对位于宽光谱物镜的焦面的标定片成像，以获取标定片表面图案的清晰图像；计算单元，获取不同波长λm照明光形成清晰图像时图案的图案尺寸并基于图案尺寸确定宽光谱物镜垂轴色差LA。通过本发明，基于供不同波长透过的滤光片在清晰图像状态下所对应的最大可识别的图案尺寸与最小可识别的图案尺寸之间的差值，可方便地计算出宽光谱物镜垂轴色差。
光谱物镜色差检测系统方法半导体设备

[发明专利]表面缺陷检测方法、装置、设备及存储介质-CN202110047151.2有效
发明人：董立超;赵东峰;艾立夫;刘艺;朱春霖;刘宝山;彭旭 -专利权人：歌尔股份有限公司
申请日： 2021-01-13 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： G06F30/23 文献下载
摘要：本发明涉及光学检测技术领域，公开了一种表面缺陷检测方法、装置、设备及存储介质，所述方法包括：获取待测元件表面的预设缺陷区域的散射光空间分布数据，并基于所述散射光空间分布数据确定所述预设缺陷区域的缺陷形状，获取所述预设缺陷区域的散射光强值，并基于所述散射光强值确定所述缺陷形状对应的缺陷尺寸，基于所述缺陷形状和所述缺陷尺寸进行表面缺陷检测，以获得所述待测元件表面的缺陷结构信息，通过本发明所述的散射法检测中的非成像法对待测元件表面缺陷进行检测，避免了现有技术中通过超声检测和光学检测中的成像法进行表面缺陷检测时所带来的弊端，实现了对多种类型的待测元件的高精度、高效率的表面微纳级别缺陷检测。
表面缺陷检测方法装置设备存储介质

[发明专利]一种光学物镜轴向色差检测方法、系统及半导体设备-CN202210196153.2有效
发明人：马骏;闫力松;赵润川;张羽;艾立夫 -专利权人：上海精积微半导体技术有限公司
申请日： 2022-03-01 - 公布日： 2023-04-28 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种光学物镜轴向色差检测方法、系统及半导体设备，该方法包括：基于宽光谱光源分别产生若干不同波长λm照明光并将不同波长λm照明光垂直入射至位于运动台上的标定片，其中，m为正整数；通过光学物镜搜集自标定片表面的反射光并将反射光投射至成像单元；获取不同波长λm照明光下标定片表面图案的清晰图像，并确定清晰图像生成时运动台与Z轴方向的位置基于多个Z轴方向的位置其中，Z轴方向为光学物镜的中心轴方向，且光学物镜的中心轴与运动台垂直，计算的最大值及其最小值的差值，以确定光学物镜轴向色差。通过本发明，实现了对光学物镜轴向色差的检测。
一种光学物镜轴向色差检测方法系统半导体设备

[发明专利]入射光束的角度调节装置和反射器件的制造方法-CN202110051640.5有效
发明人：朱春霖;赵东峰;董立超;刘宝山;刘艺;艾立夫;彭旭;金成滨;李晓萱 -专利权人：歌尔股份有限公司
申请日： 2021-01-14 - 公布日： 2023-02-28 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：本发明公开一种入射光束的角度调节装置及反射器件的制造方法，该入射光束的角度调节装置包括光源、反射器件和驱动组件，光源用于发射入射光束，反射器件的反射面具有多个方向不同的法线，反射器件位于光源的照射光路上，驱动组件可带动反射器件或/和光源在至少一个方向上直线移动。本发明技术方案通过驱动组件带动反射器件或光源直线移动，使得入射光束照射在不同的反射面元上，从而得到不同反射角度的反射光束，并将该反射光束反射至待测光学系统，以检测待测光学系统的视场角，而不必再旋转反射器件或者光源来获得不同的反射光束，简化了待测光学系统的视场角的测试方法，提高了待测光学系统的测试效率。
入射光束角度调节装置反射器件制造方法

[发明专利]调制传递函数测试装置-CN202110051636.9有效
发明人：朱春霖;赵东峰;董立超;刘宝山;刘艺;艾立夫;彭旭;金成滨;李晓萱 -专利权人：歌尔股份有限公司
申请日： 2021-01-14 - 公布日： 2023-01-24 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：本发明公开一种调制传递函数测试装置，该调制传递函数测试装置包括光源、样板、第一光学元件、第二光学元件和成像件，样板上设有成像图案，第一光学元件用于分离不同波段的光线，第二光学元件用于调节光线的出射角度，成像图案、第一光学元件、第二光学元件和成像件依次设置于光源的光路上，待测件放置于样板之后以及第一光学元件之前的光路上。本发明技术方案的第一光学元件能将复合光分离成不同波段的单色光，再通过第二光学元件调节光线的出射角度，从而在成像件上形成不同单色光的投影，然后获取不同单色光的成像数据，得到待测件在不同波段的单色光下的MTF数值，因此整个测试可以一次完成，节省了测试时间，提高了测试效率。
调制传递函数测试装置

[发明专利]波导片的光学性能测试装置-CN202011186782.4有效
发明人：刘宝山;赵东峰;董立超;彭旭;刘艺;朱春霖;艾立夫 -专利权人：歌尔光学科技有限公司
申请日： 2020-10-29 - 公布日： 2023-01-20 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种波导片的光学性能测试装置，所述波导片的光学性能测试装置包括：第一遮光机构；第二遮光机构，所述第二遮光机构与所述第一遮光机构盖合后，在所述第二遮光机构与所述第一遮光机构之间形成有环形凹槽，所述环形槽用于容置所述波导片的边缘，以遮挡所述波导片的边缘；其中，所述第二遮光机构与所述第一遮光机构中，至少一者上开设有测试窗口，以暴露所述波导片的至少一个表面。本发明通过设置具有遮光作用的机构，在对波导片测试时由遮光机构遮挡波导片边缘处的进光，在避免杂散光的同时无需在波导片侧面涂覆遮光层，提高波导片的良品率。
波导光学性能测试装置

[发明专利]出射亮度均匀的衍射光波导、制造方法、头戴显示设备-CN202011181683.7有效
发明人：彭旭;赵东峰;董立超;杜凯凯;刘宝山;刘艺;朱春霖;艾立夫 -专利权人：歌尔股份有限公司
申请日： 2020-10-29 - 公布日： 2022-10-14 - 主分类号： G02B6/124 文献下载
摘要：本发明提供了一种出射亮度均匀的衍射光波导、制造方法、头戴显示设备，包括玻璃基底、耦出光栅和耦入光栅，所述耦出光栅为折射率渐变光栅，通过不同耦出区域的折射率渐变光栅的折射率变化提高耦出光线亮度的均匀性。上述衍射光波导及方法、头戴显示设备在不改变光栅设计参数的前提下，使光波导耦出光线亮度均匀。
亮度均匀衍射波导制造方法显示设备

[发明专利]光栅衍射效率测试装置及方法-CN202110325791.5有效
发明人： 艾立夫;赵东峰;杜凯凯;董立超;刘宝山;刘艺;朱春霖;彭旭;饶轶 -专利权人：歌尔股份有限公司
申请日： 2021-03-26 - 公布日： 2022-10-14 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：本发明提供一种光栅衍射效率测试装置及方法，其中的装置包括光源、设置在光源与待检测的衍射光波导之间的分束装置、设置在衍射光波导一侧的棱镜，以及第一光功率计和第二光功率计；其中，分束装置用于将光源发射的光束分为第一光束和第二光束，第一光功率计用于检测第一光束的第一功率；第二光束通过衍射光波导的耦入光栅进入衍射光波导内部后经棱镜射出；或者，第二光束经棱镜进入衍射光波导内部，并从衍射光波导的耦出光栅射出；第二光功率计用于检测经衍射光波导或者棱镜射出的第二光束的第二功率；根据第一功率和第二功率确定衍射光波导的衍射效率。利用上述发明能够实现耦出区和耦入区的分别测试，提高光栅衍射效率的测试精度。
光栅衍射效率测试装置方法

[发明专利]椭偏仪及其测试方法、装置、计算机存储介质-CN202011178181.9有效
发明人：刘艺;赵东峰;彭旭;董立超;朱春霖;刘宝山;艾立夫 -专利权人：歌尔股份有限公司
申请日： 2020-10-28 - 公布日： 2022-09-20 - 主分类号： G01N21/21 文献下载
摘要：本发明公开了一种椭偏仪及其测试方法、装置、计算机存储介质，椭偏仪包括：光源；分束器，分束器位于光源的出光侧，以将光源发出的光线分成第一子光线以及第二子光线；入射光调整组件，入射光调整组件位于第一子光线的出射光路上，用于将第一子光线调整为处于第一偏振态的偏振光；测试台用于放置待测样品；出射光调整组件，出射光调整组件位于测试台的出光侧，用于将待测样品的出射光线调整为处于第二偏振态的偏振光；第一探测器，第一探测器位于出射光调整组件的出光侧，用于采集处于第二偏振态的偏振光的光学参数；第二探测器，第二探测器位于第二子光线的出射光路上，用于采集第二子光线的光学参数。本发明旨在提高椭偏仪测试结果的准确性。
椭偏仪及其测试方法装置计算机存储介质

[实用新型]光波导组件、显示系统及显示设备-CN202120272388.6有效
发明人：彭旭;赵东峰;董立超;杜凯凯;刘宝山;刘艺;朱春霖;艾立夫 -专利权人：歌尔股份有限公司
申请日： 2021-01-29 - 公布日： 2021-11-02 - 主分类号： G02B6/00 文献下载
摘要：本申请提供一种光波导组件、显示系统及显示设备。光波导组件包括光波导单元，所述光波导单元包括第一表面和与所述第一表面平行的第二表面；在所述第一表面和所述第二表面的同一面上或不同面上设有耦入区域和耦出区域；其中，除所述第一表面和第二表面之外的其余表面上镀有高反射膜；光线从所述光波导单元的耦入区域耦入所述光波导单元，并从所述光波导单元的耦出区域射出。相较于现有技术，本申请在光波导的边缘设有高反射膜，将杂散光反射回光波导中，再次到达耦出区域，在抑制杂散光的同时，改善了耦出区域出射光线的亮度均匀性。
波导组件显示系统设备

[实用新型]光波导结构、显示系统及显示设备-CN202120237780.7有效
发明人：彭旭;赵东峰;董立超;杜凯凯;刘宝山;刘艺;朱春霖;艾立夫 -专利权人：歌尔股份有限公司
申请日： 2021-01-27 - 公布日： 2021-11-02 - 主分类号： G02B6/00 文献下载
摘要：本申请提供一种光波导结构、显示系统及显示设备。其中，所述光波导结构包括：层叠的至少一层光波导层和覆盖最上层的所述光波导层的保护层；其中，各所述光波导层之间以及所述光波导层与所述保护层之间，通过高折射率吸收胶在两端胶合。相较于相关技术，本申请采用高折射率吸收胶在光波导层两端进行胶合，光线进入胶合区便会被高折射率吸收胶吸收掉，不会出射光波导形成杂散光；而且不需要涂墨，使光波导的生产加工过程减少了一个步骤，极大地节约了成本。
波导结构显示系统设备

[发明专利]一种转印胶收缩率的测试方法-CN202110602748.9在审
发明人：刘艺;赵东峰;董立超;朱春霖;李晓萱;刘宝山;金成滨;艾立夫;吾晓;饶轶 -专利权人：歌尔股份有限公司
申请日： 2021-05-31 - 公布日： 2021-09-10 - 主分类号： G01N25/16 文献下载
摘要：本申请公开了一种转印胶收缩率的测试方法，包括如下步骤：S1：将转印胶均匀涂抹在基板上以形成胶层；S2：测量所述胶层厚度D；S3：光照固化所述胶层，测量固化后的所述胶层厚度d；S4：计算所述胶层的收缩率S＝(D‑d)/D。在本申请实施例中，通过在基板上涂抹转印胶形成胶层，并根据胶层固化前后的厚度差的比值准确得出转印胶的收缩率，只需较少的转印胶便可以得出精度较高的收缩率数值，实现了提高转印胶收缩率检测的精度同时降低了成本。
一种转印胶收缩测试方法

[实用新型]用于非正常视力的衍射光波导及头戴显示设备-CN202022518278.1有效
发明人：彭旭;赵东峰;董立超;杜凯凯;刘宝山;刘艺;朱春霖;艾立夫 -专利权人：歌尔股份有限公司
申请日： 2020-11-04 - 公布日： 2021-07-23 - 主分类号： G02B6/124 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种用于非正常视力的衍射光波导及头戴显示设备，所述衍射光波导的耦出区域包括曲面，所述曲面位于衍射光波导的光栅面或无光栅面，所述曲面的边缘厚度根据屈光度和透镜曲率确定。上述衍射光波导及头戴显示设备采用曲面光波导的方式矫正非正常视力用户纵轴屈光不正的问题，不影响成像质量。
用于正常视力衍射波导显示设备

[实用新型]用于抑制杂散光的衍射光波导镜片及头戴显示设备-CN202022519868.6有效
发明人：彭旭;赵东峰;董立超;杜凯凯;刘宝山;刘艺;朱春霖;艾立夫 -专利权人：歌尔股份有限公司
申请日： 2020-11-04 - 公布日： 2021-07-23 - 主分类号： G02B6/124 文献下载
摘要：本实用新型提供一种用于抑制杂散光的衍射光波导镜片及头戴显示设备，包括衍射光波导以及设置在衍射光波导耦入区域的反射式偏振装置和波片装置，所述反射式偏振装置和波片装置的轴向角度叠合，入射光依次经过反射式偏振装置和波片装置，使得入射光偏振方向改变，衍射光波导反射后再经过波片装置，使得入射光偏振方向再次改变，再一次入射到反射式偏振装置反射后第三次经过波片装置，第三次改变偏振方向后进入衍射光波导，入射光经过多次偏振方向改变和反射进入衍射光波导，不影响入射光线的同时将零级反射衍射光反射回衍射光波导。上述衍射光波导镜片及头戴显示设备提升光波导衍射效率并抑制光学系统杂散光。
用于抑制散光衍射波导镜片显示设备

[发明专利]表面缺陷检测方法、装置、设备及存储介质-CN202011022128.X有效
发明人：董立超;赵东峰;艾立夫;刘艺;朱春霖;刘宝山;彭旭 -专利权人：歌尔股份有限公司
申请日： 2020-09-25 - 公布日： 2021-02-05 - 主分类号： G01N21/88 文献下载
摘要：本发明涉及光学检测技术领域，公开了一种表面缺陷检测方法、装置、设备及存储介质，其中，在激光光源投射至待测物体表面的目标待测区域时，获取目标待测区域反馈的散射光强信号，将散射光强信号输入至预设缺陷散射模型，以获得与散射光强信号匹配的缺陷结构信息，并根据缺陷结构信息生成表面缺陷检测报告，实现了通过散射法检测中的非成像法进行表面缺陷检测，避免了现有技术中通过散射法检测中的成像法进行表面缺陷检测时带来的精度和效率上的限制，提高了对待测物体进行表面缺陷检测时的检测效率和检测精度，也避免了通过衍射法进行表面缺陷检测时对表面缺陷种类进行限制的问题，实现了对多种类型的待测物体进行高精度、高效率的表面缺陷检测。
表面缺陷检测方法装置设备存储介质

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