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[实用新型]一种靶阴极磁钢布置结构及采用该结构的磁控溅射装置-CN202222804686.2有效
发明人：王懿;李勇滔;梁德广;李勇;唐毓金;陈立鹏;胡晓钰 -专利权人：柳州长虹数控机床有限责任公司;广西科技大学
申请日： 2022-10-24 - 公布日： 2023-03-10 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型一种靶阴极磁钢布置结构及采用该结构的磁控溅射装置，靶阴极磁钢布置结构，包括一个磁柱和多个磁环，磁柱的横截面宽度和磁环的横截面宽度相等，且磁柱的高度与磁环的高度相等，多个磁环的内径等差分布，磁柱设置于中心位置，磁环以磁柱为中心按内径由小到大同心相套依次排布在磁柱外。磁控溅射装置包括真空腔室、真空系统、基片、极板、电源，靶阴极磁钢布置结构设置在极板上表面，电源包括直流偏置电源、射频电源Ⅰ、射频电源Ⅱ，直流偏置电源和射频电源Ⅰ接在极板上，射频电源Ⅰ与极板之间还连接有阻抗匹配器，射频电源Ⅱ接在基片上。靶阴极磁钢布置结构能够提高靶材利用率、降低集成电路制造成本，磁控溅射装置可提高集成电路质量。
一种阴极磁钢布置结构采用磁控溅射装置

[实用新型]一种具备自检内漏的阀套式截止阀-CN202121069608.1有效
发明人：孙玲玲;冯玉民;徐志斌;吴章彦;胡晓钰;孙林;伍庆花;刘伟刚;成强;孙恒霞;赵瑞 -专利权人：冯玉民
申请日： 2021-05-19 - 公布日： 2021-11-05 - 主分类号： F16K1/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种具备自检内漏的阀套式截止阀，包括阀座，所述阀座的顶部固定连接有底端为封堵结构的安装管，阀座的左侧开设有进口槽，阀座的右侧开设有出口槽，进口槽的右侧内壁上开设有与出口槽的顶部内壁相连通的第一通孔，所述第一通孔的底部内壁设为圆台形结构，所述阀座上设有与第一通孔相配合的封堵机构；所述封堵机构包括密封活动套设在第一通孔内的圆台形橡胶堵塞。本实用新型设计合理，便于在第一通孔封堵时对其进行自检内漏作业，达到在截止阀出现内漏时及时报警提醒人员的目的，降低介质的流出浪费现象，且便于在打开第一通孔时对矩形槽进行封堵，避免在正常流通介质时，介质进入到矩形槽内挤压活塞的现象。
一种具备自检阀套式截止阀