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[实用新型]一种真空磁控镀膜生产线-CN202122887074.X有效
发明人：黄红峰 -专利权人： 肇庆市鸿利达真空设备科技有限公司
申请日： 2021-11-23 - 公布日： 2022-05-31 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种真空磁控镀膜生产线，包括磁控镀膜机构和抽真空机构；其中，磁控镀膜机构包括若干真空室和磁控溅射镀膜室，真空室用于提供真空环境，磁控溅射镀膜室用于对基材溅射镀膜；抽真空机构用于对真空室抽真空，抽真空机构包括连接管、滑阀泵、连通连接管和滑阀泵的通气管道，连接管与真空室连接，连接管与通气管道连接处设置有第一阀，所述通气管道上还设置有第二阀。本实用新型的抽真空机构能够减小真空波动，使溅射镀膜保持稳定，通过设置有第一阀、第二阀和滑阀泵，可对真空室内进行抽气或充气工作，使腔室内部达到大气压强或一定负压强后，基材可进出真空室，便于基材稳定通过各真空室，进而能够提高生产效率。
一种真空镀膜生产线

[实用新型]一种真空锁-CN202122976338.9有效
发明人：黄红峰 -专利权人： 肇庆市鸿利达真空设备科技有限公司
申请日： 2021-11-29 - 公布日： 2022-05-31 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种真空锁，包括真空锁板和锁板驱动装置；其中，真空锁板包括板体、锁轴和若干固定座，锁轴用于带动板体转动，固定座设于工件通道口上部，固定座设有无油轴承，无油轴承套设在锁轴上；锁板驱动装置至少设有一个，设置于锁轴的一端，用于驱动锁轴转动以带动板体开启或关闭工件通道口，包括齿轮、齿条和气缸，齿轮设置于锁轴一端，齿条与齿轮相啮合，气缸驱动齿条以带动齿轮转动。本真空锁的锁板驱动装置的气缸驱动齿条正向传动齿轮带动锁轴转动，板体同步转动开启通道，允许基材通过；当反向传动时，板体转动关闭通道，具有良好的密封性；真空锁启闭到位，可避免基材通过工件通道口时发生卡位或掉落，提高生产效率。
一种真空