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[发明专利]一种超滑石墨岛移动组件的制作及使用方法-CN202111073946.7有效
发明人：杨鼎麟;瞿苍宇;聂锦辉;马明;郑泉水 -专利权人：深圳清华大学研究院;清华大学
申请日： 2021-09-14 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本申请公开了一种微型块移动组件和制作方法，该组件包括移动部件，移动部件包括：透明基板；位于透明基板表面、用于与微型块阵列接触的透明接触体，透明接触体背离透明基板的表面为平面状，且透明接触体兼具柔性和刚性。由于移动部件为透明的，在推动时可清晰的观察到微型块的运动情况和自回复情况，有利于微型块自回复的判断；由于透明接触体背离透明基板的表面为平面状，面积大，可以同时对多个微型块进行推动和转移，提升推动、转移和自回复判断的效率，同时增加微型块受力均匀性，避免出现锁死的情况，以及增加与微型块之间的粘附力，提升转岛成功率；另外透明接触体兼具柔性和刚性，避免对微型块造成损伤，同时保证推动和转移的顺利进行。
一种滑石移动组件制作使用方法

[发明专利]一种基于多介质的微发电机和发电机组-CN202111006762.9有效
发明人： 聂锦辉;郑泉水 -专利权人：深圳清华大学研究院;清华大学
申请日： 2021-08-30 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： H02N1/06 文献下载
摘要：本申请公开了一种基于多介质的微发电机和发电机组，包括滑动件，绝缘介质层和电极；绝缘介质层包括在平行于滑动件滑动方向上分布的多个介质单元；绝缘介质层和滑动件带有电荷，且相邻介质单元所带电荷电性相反；滑动件在多个介质单元的上表面往复滑动。绝缘介质层包括多个介质单元，当滑动件在相邻介质单元中的第一种介质单元上时，电极中的电荷量为第二种介质单元与滑动件之间的转移电荷量，当滑动件滑动至第二种介质单元上时，电极中的电荷量变为第一种介质单元与滑动件之间的转移电荷量，由于相邻介质单元所带的电荷电性相反，电极中转移的电荷量总量为所有介质单元中所带电荷量的数量和，发电机的输出性能增强。
一种基于介质发电机发电机组

[发明专利]结构超滑的集成微发电机、电容式电路及微型分布式器件-CN202111018964.5有效
发明人： 聂锦辉;黄轩宇;向小健;马明;彭德利;田凯文;郑泉水 -专利权人：深圳清华大学研究院;清华大学
申请日： 2021-09-01 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： H02N1/08 文献下载
摘要：本发明涉及基于结构超滑的集成微发电机、电容式控制电路及其微型分布式器件。基于结构超滑的集成微发电机，包括定子层与动子层，定子层与动子层相对设置，定子层与动子层相对滑动，动子层包括连接层和至少一个动子，动子固定连接于连接层的朝向定子层的一侧，且动子朝向定子层的一侧面为超滑面，动子与定子层超滑接触。电容式控制电路，用于供给用电器电能，至少一个集成微发电机并联或串联并经整流元件与用电器相连接。微型分布式器件，包括基于结构超滑的集成微发电机的电容式控制电路。
结构集成发电机电容电路微型分布式器件

[发明专利]一种超滑岛推动装置和超滑岛的处理方法-CN202111073972.X有效
发明人： 聂锦辉;马明;郑泉水 -专利权人：深圳清华大学研究院;清华大学
申请日： 2021-09-14 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本申请公开了一种超滑岛推动装置，包括：透明基底；位于所述透明基底表面的透明推动体阵列，所述透明推动体阵列与待推动的超滑岛阵列相同。可见，本申请中超滑岛推动装置包括透明基底和透明推动体阵列，由于推动体阵列与待推动的超滑岛阵列一致，所以推动体阵列中的推动体与超滑岛阵列中的超滑岛可以一一对应，在推动时，超滑岛阵列中的所有超滑岛均会发生移动，避免逐个推动超滑岛，增加推岛效率，缩短推岛时间，并且，超滑岛推动装置是透明的，可以清楚的观察到超滑岛阵列的推动情况，非常简单、方便。此外，本申请还提供一种具有上述优点的超滑岛处理方法。
一种超滑岛推动装置处理方法

[实用新型]一种基于弹性梁的结构超滑组件和设备-CN202223430818.6有效
发明人： 聂锦辉;安杰;郑泉水 -专利权人：深圳清华大学研究院;清华大学
申请日： 2022-12-21 - 公布日： 2023-05-12 - 主分类号： B81B5/00 文献下载
摘要：本申请涉及结构超滑技术领域，公开了一种基于弹性梁的结构超滑组件和设备，包括弹性梁和至少两个超滑片，其中，所述弹性梁包括支撑梁、以及与所述支撑梁连接的主体梁；所述超滑片与所述主体梁连接，且所述超滑片在所述主体梁上的投影与所述支撑梁在所述主体梁上的投影不重叠。本申请中弹性梁具有一定的缓冲效果，并且由于超滑片与在主体梁上的投影与支撑梁在主体梁上的投影不重叠，主体梁与超滑片连接区域的弹性比较好，对于高度不等的超滑片，主体梁会存在一定的弯曲来包容高度不一的超滑片，实现超滑片与弹性梁的全接触，同时使超滑片的表面处于同一水平面。本申请不需要对各个高度不一的超滑片进行调平，降低制作难度，从而降低制作成本。
一种基于弹性结构组件设备

[发明专利]一种超滑器件及其加工方法-CN202211648144.9在审
发明人： 聂锦辉;白玉蝶;冯唯嘉;马明;郑泉水 -专利权人：深圳清华大学研究院;清华大学
申请日： 2022-12-21 - 公布日： 2023-04-14 - 主分类号： B81B5/00 文献下载
摘要：本申请涉及结构超滑领域，公开了一种超滑器件及其加工方法，包括获得导电连接体；将至少两个超滑片转移至过渡基板的上表面，在过渡基板上形成超滑片阵列；将带有超滑片阵列的过渡基板与导电连接体键合，软化导电连接体，并使超滑片与软化的导电连接体连接；去除过渡基板，得到超滑器件。本申请中的加工方法将带有超滑片的过渡基板与导电连接体键合，导电连接体在高温下发生熔融变软，超滑片从而与导电连接体连在一起，有效解决因超滑片高度不均一引起的组装困难的问题，同时导电连接体使得超滑器件可以与其他器件之间实现电连接。加工中利用键合的方式，可以实现超滑器件的大规模制备，并且可以将多个超滑片组装在一起，得到大尺寸的超滑器件。
一种器件及其加工方法

[发明专利]一种基于结构超滑的微发电机和发电机组-CN202111006753.X有效
发明人： 聂锦辉;郑泉水 -专利权人：深圳清华大学研究院;清华大学
申请日： 2021-08-30 - 公布日： 2023-04-11 - 主分类号： H02N1/06 文献下载
摘要：本申请公开了一种基于结构超滑的微发电机和发电机组，包括滑动件，绝缘介质层，电极，绝缘介质层为单一材料的介质层；滑动件和绝缘介质层相对滑动，滑动件的下表面与绝缘介质层的上表面形成结构超滑接触状态；滑动件在绝缘介质层的上表面对应电极的区域和未对应电极的区域往复滑动，滑动件和绝缘介质层接触起电或者通过注入电荷感应带电。滑动件和绝缘介质层接触起电或者通过注入电荷带电，当滑动件和绝缘介质层相对滑动，电极中感应出电荷，由于滑动接触的两表面形成结构超滑接触状态，滑动时不产生磨损，使用寿命延长；滑动接触的两表面实际接触面积和表观接触面积相接近，实际接触面积相对较大，表面电荷密度增大，增大发电机输出性能。
一种基于结构发电机发电机组

[实用新型]一种基于血管脉动的微型发电装置及植入式微型器件-CN202221414030.3有效
发明人：黄轩宇;聂锦辉;郑泉水 -专利权人：深圳清华大学研究院;清华大学
申请日： 2022-06-08 - 公布日： 2023-04-11 - 主分类号： A61B5/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了介入医疗领域，特别是一种基于血管脉动的微型发电装置及植入式微型器件，包括半导体滑道、超滑导电片及俘能连接件；所述俘能连接件与所述超滑导电片和赋能血管相连接，用于利用所述赋能血管的脉动使所述超滑导电片在所述半导体滑道相对滑动；所述超滑导电片与所述半导体滑道之间超滑接触并输出电信号。本实用新型基于超滑的肖特基发电，导电的超滑材料和平整的半导体材料相对滑动，即可产生电流的原理，通过所述俘能连接件，将血管的收缩舒张过程中的机械能，高效率的转化为电能，为植入式微型器件供能或者本身作为自供能传感器，在基本不对人体产生伤害的情况下，获得寿命较长的，可持续的人体内植入式微型器件供电手段。
一种基于血管脉动微型发电装置植入式微器件

[实用新型]一种可测电的微型片转移装置-CN202222419426.3有效
发明人：杨鼎麟;聂锦辉;郑泉水 -专利权人：深圳清华大学研究院;清华大学
申请日： 2022-09-13 - 公布日： 2023-03-24 - 主分类号： G01R31/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及半导体器件技术领域，公开一种可测电的微型片转移装置，微型片转移装置包括：用于转移微型片的触头；用于驱动所述触头调整位姿的探针，且所述探针与所述触头固定连接或一体成型；以及用于测量所述微型片电特性的导电组件，所述导电组件的检测端设置于所述触头。本实用新型提供的微型片转移装置能够同步实现微型片的转移和电特性检测，简化作业工序，提高工作效率。
一种可测电微型转移装置

[发明专利]一种边缘翘曲的结构超滑部件及其制作方法、组件-CN202211586865.1在审
发明人： 聂锦辉;庄树强;黄轩宇;郑泉水 -专利权人：深圳清华大学研究院;清华大学
申请日： 2022-12-09 - 公布日： 2023-03-14 - 主分类号： F16S1/00 文献下载
摘要：本申请涉及结构超滑领域，公开了一种边缘翘曲的结构超滑部件及其制作方法、组件，包括在超滑岛的上表面形成金属层；超滑岛内具有超滑界面，金属层具有用于使超滑片的边缘向远离超滑界面的方向翘曲的内应力；沿着超滑界面分离超滑岛，超滑片位于超滑界面上方，超滑片和金属层的边缘向远离超滑界面的方向翘曲，得到边缘翘曲的结构超滑部件。本申请中通过制备具有内应力的金属层以及分离超滑岛的方式使得边缘翘曲的结构超滑部件可以实现大规模制备，使得边缘翘曲的结构超滑部件更容易得到，同时，由于边缘翘曲的结构超滑部件包括金属层，具有优良的导电性能，可以拓宽边缘翘曲的结构超滑部件的应用领域。
一种边缘结构部件及其制作方法组件

[实用新型]一种结构超滑部件和设备-CN202222977395.3有效
发明人：张艺泽;杨鼎麟;聂锦辉;郑泉水 -专利权人：深圳清华大学研究院;清华大学
申请日： 2022-11-08 - 公布日： 2023-02-17 - 主分类号： B81B5/00 文献下载
摘要：本申请公开了一种结构超滑部件及设备，涉及结构超滑领域，包括二级组装单元，二级组装单元包括至少两个一级组装单元，以及与一级组装单元上表面连接的盖板；其中，一级组装单元包括至少两个超滑岛，以及与超滑岛上表面连接的盖板。本申请结构超滑部件包括二级组装单元，二级组装单元包括多个一级组装单元和盖板，一级组装单元包括多个超滑岛和盖板，即通过超滑岛的多级组装将尺寸扩大；大尺寸结构超滑部件也更容易进行摩擦性能测试。与一级组装的超滑部件相比，在获得同等尺寸的超滑部件时，本申请中盖板与超滑岛之间的接触位置数量增多，对超滑岛与盖板接触的要求降低，因此对各个超滑岛的高度、承载超滑岛的基底的整体平整度的要求也降低。
一种结构部件设备

[实用新型]一种超滑片转移工装-CN202222988076.2有效
发明人：李嘉城;张艺泽;聂锦辉;郑泉水 -专利权人：深圳清华大学研究院;清华大学
申请日： 2022-11-09 - 公布日： 2023-02-17 - 主分类号： B65G35/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种超滑片转移工装，应用于超滑结构技术领域，基板包括基底，基底朝向转移部件一侧表面设置有用于承载超滑片的放置区；转移部件朝向基板一侧表面设置有第一凸台，第一凸台朝向基板一侧表面的端面为待转移面，待转移面与放置区相对应；第一凸台表面设置有柔性粘结剂层。通过在转移部件表面设置第一凸台，再在第一凸台表面设置柔性粘结剂层，使得第一凸台表面的柔性粘结剂层突出，由于待转移面与放置区相对应，通过突出的柔性粘结剂层键合位于放置区的超滑片，可以有效避免柔性粘结剂沾污问题。
一种超滑片转移工装

[实用新型]一种超滑片转移工装-CN202222989635.1有效
发明人：张艺泽;王一然;聂锦辉;郑泉水 -专利权人：深圳清华大学研究院;清华大学
申请日： 2022-11-09 - 公布日： 2023-02-17 - 主分类号： B65G35/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种超滑片转移工装，应用于超滑结构技术领域，包括相对设置的基板和转移部件；基板包括基底，和位于基底朝向转移部件一侧表面切割而成的多个支撑柱；支撑柱朝向转移部件一侧表面用于承载超滑片；转移部件朝向基板一侧表面设置有用于键合超滑片的连接层。通过在基板的基底表面切割出多个支撑柱，可以减少甚至避免基底因边缘翘起、基底表面不平整以及基底表面杂质颗粒所带来的影响。通过先在支撑柱的顶面转移超滑片，可以保证超滑片处在基板表面的最高点，便于实现与转移部件连接层的接触，从而可以实现超滑片大批量的同步转移。
一种超滑片转移工装

[实用新型]一种可测力的微型片转移装置-CN202222419427.8有效
发明人：杨鼎麟;聂锦辉;郑泉水 -专利权人：深圳清华大学研究院;清华大学
申请日： 2022-09-13 - 公布日： 2023-01-10 - 主分类号： G01L5/16 文献下载
摘要：本实用新型涉及半导体器件的技术领域，公开了一种可测力的微型片转移装置，包括：用于转移微型片的触头；用于驱动所述触头调整位姿的探针，且所述探针与所述触头固定连接或一体成型；以及用于检测所述触头受力的力传感器，所述力传感器与所述探针相连接。本实用新型提供的可测力的微型片转移装置能够实时检测触头粘取微型片的力度，以便及时调整触头的进给量，避免损坏触头或微型片。
一种测力微型转移装置

[发明专利]一种微型片转移装置和微型片转移方法-CN202211111144.5在审
发明人：杨鼎麟;聂锦辉;郑泉水 -专利权人：深圳清华大学研究院;清华大学
申请日： 2022-09-13 - 公布日： 2022-11-15 - 主分类号： B65G47/74 文献下载
摘要：本发明涉及半导体器件的技术领域，公开了一种微型片转移装置和微型片转移方法，微型片转移装置包括用于转移微型片的触头以及用于驱动所述触头调整位姿的探针，所述触头采用透明材料制成，所述探针与所述触头偏置，且所述探针与所述触头固定连接或一体成型。本发明提供的微型片转移装置能够为操作人员使用显微镜从上方观察提供有利条件，从而提高微型片转移操作的精确度。
一种微型转移装置方法

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