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[发明专利]一种同心度的检测方法及检测装置-CN201910564931.7在审
发明人： 耿耀庭 -专利权人：上海华力微电子有限公司
申请日： 2019-06-27 - 公布日： 2019-08-23 - 主分类号： G01B5/252 文献下载
摘要：本申请提供一种同心度的检测方法及检测装置，同心度的检测方法包括以下步骤：提供一种被检测组件，所述被检测组件包括第一套筒和第二套筒，所述第二套筒套设在所述第一套筒外周，所述第二套筒与所述第一套筒之间具有间隙；提供一种检测装置，所述检测装置包括检测件，将所述检测件插入所述间隙中；判断所述检测件是否到达预定深度位置，若是，则所述第二套筒与所述第一套筒符合同心度要求，若否，则所述第二套筒与所述第一套筒不符合同心度要求。该方法的步骤简洁，操作方便，同时还能够比较精确的检测出所述第二套筒与第一套筒是否符合同心度的要求，避免了不符合同心度要求的所述第二套筒与所述第一套筒投入使用时带来的不利后果。
套筒检测同心度同心度要求检测装置检测组件预定深度位置种检测外周申请

[实用新型]一种立式炉管-CN201720975466.2有效
发明人： 耿耀庭 -专利权人：上海华力微电子有限公司
申请日： 2017-08-07 - 公布日： 2018-03-30 - 主分类号： F27B17/00 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种立式炉管，包括顶端带出口的炉管体、设置于炉管体侧面底部的喷嘴管路的进口和设置于炉管内部中间位置的晶舟；所述炉管体上部径向小于炉管体下部径向；所述喷嘴管路顶端设喷嘴并从侧面底部水平延伸后垂直向上；所述喷嘴管路沿水平延伸面设夹具；所述夹具使喷嘴管路与炉管体上部间保持一定的水平间距。本实用新型能解决喷嘴管路与炉管内壁贴合过紧的情况，防止喷嘴管路的断裂。使生产膜时不再产生膜厚异常。夹具将喷嘴管路固定，减少喷嘴管路的折断风险。
一种立式炉管

[实用新型]一种低温氮化炉的疏水阀管路-CN201720975608.5有效
发明人： 耿耀庭;魏巍;俞玮 -专利权人：上海华力微电子有限公司
申请日： 2017-08-07 - 公布日： 2018-03-30 - 主分类号： F16L55/24 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种低温氮化炉的疏水阀管路，包括依次可拆卸法兰连接的波纹管部和疏水阀管路本体，所述波纹管部内设加热组件；所述波纹管部管径小于疏水阀管路本体管径；所述疏水阀管路本体底端设与所述波纹管部管径相同的底端部。本实用新型能提升疏水阀管路收集涂料的能力，减轻后段管路的堵塞程度，便于维护，并在很大程度上减少波纹管损坏的几率，减少维护成本。
一种低温氮化疏水管路