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[发明专利]脱气装置-CN202180087159.X在审
发明人：布施贵章;大井和美;羽田尚树;菅沼洋平;川岛和保;佐藤明 -专利权人： DIC株式会社
申请日： 2021-12-16 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： B01D63/06 文献下载
摘要：提供一种能够防止交叉污染的脱气装置。脱气装置(1)具备：脱气模块(10、20、30)，其具有将流体流通空间(S1)与减压空间(S2)之间隔开的气体透过膜即管单元(12)；真空配管(40)，其与各减压空间(S2)连通；排出装置(50)，其经由真空配管(40)排出各减压空间(S2)内的气体；大气开放配管(60)，其与各减压空间(S2)连通；大气开放阀(70)，其能够经由大气开放配管(60)向各减压空间(S2)导入大气；以及控制部(80)，其控制排出装置(50)和大气开放阀(70)的动作。控制部(80)在进行脱气处理的情况下控制为将大气开放阀(70)关闭而由排出装置(50)进行各减压空间(S2)内的气体的排出处理，并且在结束脱气处理之后控制为将大气开放阀(70)打开来使各减压空间(S2)一举向大气开放。
脱气装置

[发明专利]电阻率值调整装置以及电阻率值调整方法-CN202180041211.8在审
发明人：安西大二郎;羽田尚树;大井和美 -专利权人： DIC株式会社
申请日： 2021-05-31 - 公布日： 2023-03-07 - 主分类号： B01F21/00 文献下载
摘要：电阻率值调整装置具备：中空纤维膜组件；液体供给管；液体排出管；气体供给管；气体排出管；旁通管，其以绕过中空纤维膜组件的方式与液体供给管以及液体排出管连通；以及第一止回阀，其设置于旁通管，并且流路的开度根据液体供给管侧与液体排出管侧的差压而变化。
电阻率调整装置以及方法

[发明专利]电阻率值调整装置和电阻率值调整方法-CN201780048310.2有效
发明人：齐藤政人;大井和美;羽田尚树 -专利权人： DIC株式会社
申请日： 2017-08-10 - 公布日： 2022-02-25 - 主分类号： B01F35/83 文献下载
摘要：具备：中空纤维膜组件(2)；组件经由管(5)，其经由中空纤维膜组件(2)；旁通管(6)，其旁通绕过中空纤维膜组件(2)；液体排出管(7)，其经由汇合部(14)与组件经由管(5)和旁通管(6)连通，该汇合部(14)使组件经由管(5)和旁通管(6)在中空纤维膜组件(2)的下游侧汇合；第一流量检测部(8)，其对在液体供给管(4)和液体排出管(7)中任一者流动的液体(L)的第一流量进行检测；控制阀(9)，其用于开闭组件经由管(5)；以及控制部(10)，其根据由第一流量检测部(8)检测到的第一流量设定控制阀(9)的开度。
电阻率调整装置方法

[发明专利]电阻率值调整装置和电阻率值调整方法-CN201780078406.3有效
发明人：安西大二郎;羽田尚树;大井和美 -专利权人： DIC株式会社
申请日： 2017-12-15 - 公布日： 2021-11-05 - 主分类号： B01F15/04 文献下载
摘要：一种电阻率值调整装置，其包括：气体溶解装置，其用于将用于调整液体的电阻率值的调整气体溶解于作为电阻率值的调整对象的所述液体，而生成在所述液体溶解有所述调整气体的处理液体；以及缓冲罐，其被供给从所述气体溶解装置排出的所述处理液体。
电阻率调整装置方法

[发明专利]电阻率值调整装置及电阻率值调整方法-CN201680021352.2有效
发明人：大井和美;齐藤政人;羽田尚树 -专利权人： DIC株式会社
申请日： 2016-03-31 - 公布日： 2021-10-12 - 主分类号： B01F1/00 文献下载
摘要：一种电阻率值调整装置，其包括：中空纤维膜组件，其被中空纤维膜分隔成被供给要调整电阻率值的液体的液相侧区域、以及被供给能调整电阻率值的调整气体的气相侧区域，该中空纤维膜组件能够使所述调整气体溶解于所述液体；液体供给管，其连通于所述液相侧区域，用于向所述液相侧区域供给所述液体；液体排出管，其连通于所述液相侧区域，用于将所述液体自所述液相侧区域排出；气体供给管，其连通于所述气相侧区域，用于向所述气相侧区域供给所述调整气体；气体排出管，其连通于所述气相侧区域，用于将所述调整气体自所述气相侧区域排出；旁通管，其以旁通绕过所述中空纤维膜组件的方式连通于所述液体供给管及所述液体排出管；以及第一开闭阀，其连接于所述气体排出管，用于开闭所述气体排出管内的第一流路，所述第一开闭阀能够通过开启所述第一流路来将蓄积于所述气相侧区域的水排出。
电阻率调整装置方法

[发明专利]液体供给方法及装置-CN200480030834.1有效
发明人：菅沼俊和;富田康司;酒井一成;羽田尚树;风间胜彦 -专利权人：大日本油墨化学工业株式会社;株式会社启梓SCT
申请日： 2004-10-15 - 公布日： 2006-11-29 - 主分类号： H01L21/304 文献下载
摘要：本发明提供一种液体供给方法，其中，当通过将微量的化学品等供应至超纯水中来制备能用作洗涤水等的溶液时，所供应的供给液的量可以精确地测定。在该液体供给方法中，通过将供给液供应至在主流体流通管(2)中流通的主流体中来制备溶液。该液体供给方法使用的液体供应装置(1)包括：输送供给液的供给部(3)；和使供给液从供给部(3)流到主流体流通管(2)的供给液流通管(4)，供给液流通管(4)的内直径在0.01和1mm之间。当通过供给液流通管(4)将供给液从供给部(3)供应至主流体流通管(2)时，供给部(3)的供给液压强P1和主流体流通管中的主流体压强P2满足式P1－P2＞0。
液体供给方法装置