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[发明专利]MEMS谐振器-CN201110153799.4有效
发明人： 罗伯特·詹姆斯·帕斯科·兰德 -专利权人： NXP股份有限公司
申请日： 2011-06-09 - 公布日： 2011-12-28 - 主分类号： H03H3/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种MEMS谐振器器件，包括：两个匹配的谐振器，这两个匹配的谐振器相对于晶体半导体的晶体结构以不同方式对准。每个谐振器包括由杨氏模量温度相关性与晶体半导体材料的杨氏模量温度相关性不同的材料组成的部分。这样，谐振器的悬挂弹簧具有不同的特性，所述不同的特性影响谐振频率。测量校准温度和操作温度下第一谐振器与第二谐振器之间的谐振频率比值。然后根据谐振器之一的温度相关性，得到操作频率下谐振器之一(或两个谐振器)的频率。
mems 谐振器

[发明专利]谐振器-CN201010293408.4有效
发明人： 罗伯特·詹姆斯·帕斯科·兰德 -专利权人： NXP股份有限公司
申请日： 2010-09-26 - 公布日： 2011-04-27 - 主分类号： H03H9/05 文献下载
摘要：一种谐振器(2)，具有有效弹簧常数(kz)，并包括适合沿振荡方向谐振的梁(4)，所述梁(4)具有梁弹簧常数(kB)，所述梁(4)与所述振荡方向成非零角度θ而延伸，其中，所述谐振器具有预定几何结构，并由一种或多种材料形成，每一种材料具有热膨胀系数(CTE)，每一种材料的CTE连同所述谐振器的预定几何结构一起引起θ随温度而变化，从而补偿梁弹簧常数的温度依赖性，使得所述谐振器的有效弹簧常数在工作温度范围内基本上保持恒定。
谐振器