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[发明专利]多线放电加工机-CN202180073350.9在审
发明人： 糸数笃 -专利权人：三菱电机株式会社
申请日： 2021-04-12 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： B23H7/02 文献下载
摘要：多线放电加工机(1)具有：多个切断线部(6a)，它们通过使线电极(6)卷绕于引导辊(3a～3d)，从而使线电极(6)与被加工物(2)相对而并列配置；驱动单元(14)，其对被加工物和切断线部之间的相对距离进行调整；加工电源(7)，其对被加工物和切断线部之间施加脉冲电压；加工状态检测装置(15)，其对切断线部中的加工状态进行检测；以及加工控制装置(9)，其对驱动单元及加工电源进行控制，加工控制装置在表示加工状态的值超过阈值的情况下，将按照避免线电极的断线的加工条件得到的脉冲电压的施加指令输出至加工电源。
放电加工

[发明专利]线放电加工装置及半导体晶片的制造方法-CN202080102529.8在审
发明人：三宅英孝;糸数笃 -专利权人：三菱电机株式会社
申请日： 2020-09-10 - 公布日： 2023-04-04 - 主分类号： B23H7/02 文献下载
摘要：为了在多线放电加工中减小从被加工物切出的多个薄板状部件的板厚的波动，具有：1根线电极(1)，其绕多个引导辊(2)卷绕多次，由此形成并列设置有多个线切断部的并列线部(1a)；放电波形控制装置(32)，其基于放电波形指令对极间的电压波形或极间的电流波形进行控制；线行进控制装置(35)，其基于线电极行进指令对线电极的行进进行控制；切断台驱动装置(34)，其基于切断进给台指令对并列线部和被加工物之间的相对位置进行控制；加工状态取得部(33)，其取得极间的电气特性即切断部电气特性或与线切断部的状态有关的信息即电极状态信息而作为加工状态信息；以及加工控制装置(31)，其基于加工状态信息而决定线电极行进指令、放电波形指令及切断进给台指令。
放电加工装置半导体晶片制造方法

[发明专利]多线放电加工机、多线放电加工系统-CN202080098442.8在审
发明人： 糸数笃 -专利权人：三菱电机株式会社
申请日： 2020-03-18 - 公布日： 2022-11-04 - 主分类号： B23H7/02 文献下载
摘要：多线放电加工机(1)具有：加工电源(7)，其对被加工物(2)和切断线部(6a)之间施加加工脉冲电压；以及线断线检测部(20)，其对线电极(6)的断线进行检测。线断线检测部(20)与在从线电极(6)的抽出侧的一个部位至线电极(6)的排出侧的一个部位为止的区间张设的线电极部分并联地电连接，具有：线断线检测电路(206)，其是将至少在对被加工物(2)进行切断加工中始终对线电极部分供给直流电流的线断线检测用电源(204)及电流限制电阻(205)各自串联地接线而成的电气电路；以及线断线判定部(207)，其基于在电流限制电阻(205)中流动的电流而对线电极的断线进行判定。
放电加工系统

[发明专利]线放电加工机及线放电加工方法-CN201780003444.2有效
发明人： 糸数笃;原正行 -专利权人：三菱电机株式会社
申请日： 2017-04-11 - 公布日： 2020-04-07 - 主分类号： B23H7/02 文献下载
摘要：一种线放电加工机，其在被加工物和线电极之间发生放电而对所述被加工物进行加工，该线放电加工机具有：驱动控制装置(20)，其对线电极与被加工物的相对距离进行控制；极间平均加工电压检测部(40)，其对线电极和被加工物之间的极间平均加工电压进行检测；加工速度控制部(43)，其基于极间平均加工电压和预先设定的目标电压，对驱动控制装置进行控制；以及电压校正部，其基于加工中的加工信息和加工方向，对极间平均加工电压或者目标电压的任意者进行校正，以使得与加工方向无关地使线电极和被加工物之间的侧面间隙成为恒定。
放电加工方法

[发明专利]加工控制装置、线放电加工装置及线放电加工方法-CN201680081273.0有效
发明人： 糸数笃;中川孝幸;榎本耕二 -专利权人：三菱电机株式会社
申请日： 2016-02-12 - 公布日： 2019-12-13 - 主分类号： B23H7/02 文献下载
摘要：加工控制装置(110－1)具有：电压检测部(20)，其检测对被加工物施加脉冲电压时的极间平均加工电压(11)的变化点；以及电压校正部(50－1)，其以对被加工物的板厚变化位置处的被加工物的加工速度的降低进行抑制的方式对电压校正增益(V
被加工物加工控制装置板厚变化电压校正变化点加工线放电加工装置电压检测部电压校正部线放电加工脉冲电压加工面位置处条纹校正运算施加输出检测

[发明专利]线电极放电加工装置、使用该线电极放电加工装置的薄板的制造方法以及半导体晶片的制造方法-CN201480028904.3有效
发明人：三宅英孝;糸数笃;桥本隆 -专利权人：三菱电机株式会社
申请日： 2014-02-28 - 公布日： 2017-06-13 - 主分类号： B23H7/10 文献下载
摘要：为了通过从加工电源稳定地进行供电从而进行高精度的切断加工，在本发明中，在将线电极(3)在主导辊(1a～1d)之间卷挂多次，同时进行多个切割加工的线电极放电加工装置中，缩短将多根线电极(3)向供电件的线电极架设作业，对切割线电极部(CL)进行均匀的供电，谋求稳定的加工，将多个供电件按照排列位置以单元为单位，与作为供电对象的各切割线电极部的线电极并列间隔相对应地进行排列，并且配置为至少每隔1根线电极而向切割线电极部进行供电。
电极放电加工装置使用该线薄板制造方法以及半导体晶片

[发明专利]线放电加工装置以及使用该线放电加工装置的半导体晶片的制造方法-CN201280072279.3有效
发明人：三宅英孝;糸数笃;中西洋介 -专利权人：三菱电机株式会社
申请日： 2012-10-19 - 公布日： 2014-12-17 - 主分类号： B23H7/02 文献下载
摘要：本发明的特征在于，提供一种线放电加工装置，其具有：多个主导向辊(1a～1d)，它们隔开间隔而平行配设；1根导线(3)，其以一定的间距卷挂在多个主导向辊(1a～1d)之间，从而在一对导向辊(1a、1b)之间形成并列线部(CL)，随着主导向辊(1)的转动而行进；供电件单元(6)，其向切断线部(CL)的各根导线(3)供电，通过切断线部(CL)进行被加工物(5)的切断，在一部分与被加工物(5)连接的状态下，中断来自被加工物(5)的半导体晶片的切出，然后使切断线部(CL)的导线(3)接近一个切断面，在放电加工的状态下进行扫描。
放电加工装置以及使用该线半导体晶片制造方法

[发明专利]线电极放电加工装置、线电极放电加工方法、薄板制造方法、以及半导体晶片制造方法-CN201280067416.4有效
发明人： 糸数笃;三宅英孝 -专利权人：三菱电机株式会社
申请日： 2012-12-17 - 公布日： 2014-09-17 - 主分类号： B23H7/02 文献下载
摘要：本发明的目的在于防止在端面加工中由加工电流从不产生放电的切断线电极部流入而导致的线电极的断裂、加工面精度的降低，在本发明的线电极放电加工装置中具有控制部件，该控制部件基于被加工物的端面和与该端面非平行的包含多个切断线电极的面所成的角度、切断线电极的并列间隔、以及切断线电极和被加工物的相对距离，选择由脉冲电压产生单元施加脉冲电压的切断线电极，驱动单元构成为，在不与包含多个切断线电极的面垂直的方向驱动被加工物，通过施加脉冲电压对被加工物进行放电加工从而进行切断。
电极放电加工装置方法薄板制造以及半导体晶片

[发明专利]金属丝放电加工装置、金属丝放电加工方法、薄板制造方法以及半导体晶片制造方法-CN201180047137.7有效
发明人： 糸数笃;三宅英孝;佐藤达志;汤泽隆;福岛一彦 -专利权人：三菱电机株式会社
申请日： 2011-06-14 - 公布日： 2013-05-29 - 主分类号： B23H7/02 文献下载
摘要：金属丝放电加工装置具备：金属丝电极；通过缠绕上述金属丝电极而使上述金属丝电极并列的导辊；单独地与上述并列的金属丝电极滑动接触的多个滑动接触导体（62）；单独地保持上述多个滑动接触导体（62）、通过各滑动接触导体（62）向上述并列的金属丝电极单独地供电的供电夹具，其中，上述供电夹具具备决定上述滑动接触导体（62）的固定间隔的多个基准面。
金属丝放电加工装置方法薄板制造以及半导体晶片

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