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[发明专利]硅片上料检测方法、装置、设备、介质及硅片上料系统-CN202311017702.6在审
发明人：路站龙;刘哲;姚奇 -专利权人： 福建鲲曜科技有限公司
申请日： 2023-08-14 - 公布日： 2023-09-12 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明涉及硅片上料技术领域，公开了一种硅片上料检测方法、装置、设备、介质及硅片上料系统，方法包括：将待上料的硅片插入硅片承载架，并控制升降模组带动其下降至传送带进行上料；获取第一硅片的正面图像并进行外观正面检测，获取正面图像信息；获取预设数量的硅片的侧面图像并进行边缘外观检测及位置检测，获取侧面图像信息；根据动态融合算法对第一硅片的正面图像信息及侧面图像信息进行融合检测，并根据检测结果调整下一硅片检测的权重比例，直至达到预设分配条件；根据检测结果控制上料过程。本发明能够防止由于出现叠片、斜片或无片状态而导致的碰撞，保证硅片上料的可靠性及安全性，降低硅片或设备受损的可能性，避免损失。
硅片检测方法装置设备介质系统

[发明专利]一种硅片分选分流装置及分选分流的方法-CN202310758655.4有效
发明人：路站龙;刘哲;姚奇 -专利权人： 福建鲲曜科技有限公司
申请日： 2023-06-26 - 公布日： 2023-09-12 - 主分类号： B07C5/36 文献下载
摘要：本申请公开了一种硅片分选分流装置及分选分流的方法。其中，硅片分选分流装置包括：主传送带、若干侧向传送带、筛分机构、转移机构、控制器。主传送带用于输送待检测的硅片样品。侧向传送用于输送检测分类后的硅片样品。筛分机构用于对待检测的硅片样品进行检测分类。转移机构设于侧向传送带与主传送带连接的位置，具有不高于主传送带的初始状态和在驱动力的作用下抬升至主传送带的上方，以将检测分类后的一部分硅片样品输送至侧向传送带上的转移状态，转移机构处于转移状态时，其与主传送带之间形成允许另一部分硅片样品沿主传送带继续输送的空间。本申请用于解决在对硅片进行筛分和输送的过程中，存在输送效率较低的技术问题。
一种硅片分选分流装置方法