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[发明专利]一种基于OPC模型的无掩模光刻优化方法-CN202110709880.X有效
发明人：彭飞;桂成群;宋毅;薛兆丰 -专利权人： 矽万（上海）半导体科技有限公司;武汉大学
申请日： 2021-06-25 - 公布日： 2023-10-17 - 主分类号： G03F1/36 文献下载
摘要：本发明提供了一种基于OPC模型的无掩模光刻优化方法，包括如下步骤：步骤S1、根据光刻胶曝光数据以及光刻胶化学反应函数获得优化的光刻胶函数模型；步骤S2、根据光刻机参数、目标图案以及所述光刻胶函数模型，构建自适应成像模型；步骤S3、将所述目标图案的数值作为晶圆电路板图的像素化数值，来构建第一代价函数和约束条件，并根据所述约束条件对所述目标图案的曝光剂量分布数值进行更新；以及步骤S4、将反向曝光能量分布的数值作为曝光能量分布数值，来构建第二代价函数和约束条件，并根据所述约束条件对所述目标图案的曝光剂量分布数值进行进一步更新。本发明的优化方法计算量小、设置简单以及可根据需要对全局曝光点进行并行优化。
一种基于 opc 模型无掩模光刻优化方法

[发明专利]复眼透镜制备方法-CN202310412990.9在审
发明人：董坤;尹飞;桂成群;薛兆丰 -专利权人： 矽万（上海）半导体科技有限公司
申请日： 2023-04-18 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： G02B3/00 文献下载
摘要：本发明提供一种复眼透镜制备方法，包括：S101、在玻璃衬底上进行涂胶，形成光刻胶版；S102、激光直写设备根据导入的复眼透镜加工图对所述光刻胶版进行灰度曝光刻蚀；S103、对所述光刻胶版进行后烘；S104、通过显影机对所述光刻胶版进行多次旋涂浸泡式显影，在所述光刻胶版上获得复眼透镜结构；S105、对所述光刻胶版进行硬烘；S106、通过等离子刻蚀机对所述光刻胶版进行等离子干法刻蚀，移除所述玻璃衬底上的胶膜，在所述玻璃衬底表面形成玻璃材质的复眼透镜结构，得到复眼透镜模板；S107、对所述复眼透镜模板进行UV转印。本发明可保证复眼透镜整体结构的一致性和形貌完整性。
复眼透镜制备方法

[发明专利]一种基于UV激光直写光刻的双胶合微阵列透镜的制备方法-CN202111681529.0有效
发明人：栾世奕;桂成群;宋毅;薛兆丰 -专利权人： 矽万（上海）半导体科技有限公司
申请日： 2021-12-29 - 公布日： 2023-03-31 - 主分类号： G02B3/00 文献下载
摘要：本发明提出了一种基于UV激光直写光刻的双胶合微阵列透镜的制备方法，包括以下步骤：步骤a：设计好构成双胶合微透镜的单个微透镜的尺寸，将每个所述单个微透镜分解为2个透镜，每个所述透镜的一面均为平面；步骤b：将分解后的每个透镜分别形成为微透镜阵列组，并在每个所述微透镜阵列组旁边形成一组或两组对准标记，并制作相应的灰度图；步骤c：根据所述灰度图基于UV激光直写光刻技术制作微透镜阵列组和相应的对准标记；以及步骤d：通过步骤c中制作好的所述对准标记将制作好的所述微透镜阵列组进行对准，并组成双胶合微阵列透镜。本发明方法的技术原理简单可行。另外，本发明方法对微阵列透镜进行拼接胶合，可有效减小透镜像的像差及色差。
一种基于 uv 激光光刻胶合阵列透镜制备方法

[发明专利]一种具有微结构阵列的多功能投影屏的制备方法-CN202211638513.6在审
发明人：邓鸿峰;曹皓;栾世奕;万辉;桂成群 -专利权人： 矽万（上海）半导体科技有限公司
申请日： 2022-12-19 - 公布日： 2023-03-21 - 主分类号： G03B21/60 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于微结构阵列的多功能投影屏的制备方法，包括：步骤a：利用matlab算法软件转化得到所述多功能投影屏的子结构的灰度图；所述子结构包括凹形非球面反射镜以及位于所述凹形非球面反射镜周围的周期性排列的多个尖锥状凸起；步骤b：通过3D激光直写光刻技术采集所述灰度图的灰阶信息进行一次曝光，得到基于微结构阵列的多功能投影屏的子结构的光刻胶模型；步骤c：将多个所述子结构的光刻胶模型进行周期性紧密排列，并通过周期性紧密排列的多个所述子结构光刻胶模型制备PDMS模具；步骤d：由所述PDMS模具得到所述多功能投影屏的柔性基底；以及步骤e：对所述柔性基底镀上纳米级的增反射膜，从而制备得到基于微结构阵列的多功能投影屏。
一种具有微结构阵列多功能投影制备方法

[实用新型]一种超吸水图案化金属纳米线薄膜-CN202222399120.6有效
发明人：赵强;桂成群;孙胜兵 -专利权人： 矽万（上海）半导体科技有限公司
申请日： 2022-09-09 - 公布日： 2022-12-30 - 主分类号： F25D31/00 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种超吸水图案化金属纳米线薄膜，所述薄膜包括基层，所述基层的一表面具有第一微米柱阵列，所述基层的与所述一表面相反的另一表面具有第二微米柱阵列，所述第一微米柱阵列中微米柱的宽深比大于所述第二微米柱阵列中微米柱的宽深比。所述薄膜的第一微米柱阵列，由于具有较高的宽深比，可以利用毛细力增强自身的吸水效果，能有效降低莱顿弗罗斯特效应的不利影响；而第二微米柱阵列连接高温器件的表面进行传热降温，由于第二微米柱阵列具有较低的宽深比，因此能更有效地传导高温器件的热量。同时，薄膜的第二微米柱阵列和高温器件的表面之间能形成多个空腔，而空腔会保存大量的水分，从而实现加速冷却高温器件的目的。
一种吸水图案金属纳米薄膜

[实用新型]一种基于亚微米3D灰度光刻技术的结构色成像薄膜-CN202221685222.8有效
发明人：曹皓;万辉;桂成群 -专利权人： 矽万（上海）半导体科技有限公司
申请日： 2022-07-01 - 公布日： 2022-11-04 - 主分类号： G02B3/00 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种基于亚微米3D灰度光刻技术的结构色成像薄膜，包括：基材层、位于所述基材层一面上的微透镜阵列以及所述微透镜阵列表面的反射层，所述微透镜阵列为周期性排列的多个微凸透镜，每个微凸透镜的结构参数根据需要产生的结构色而确定。所述每个微凸透镜的结构参数包括口径、深度和曲率。所述每个微凸透镜的口径范围为5～20um，深度范围为1‑10um。本实用新型的基于亚微米3D灰度光刻技术的结构色成像薄膜，具有优异的光学成像性能，不会对环境产生污染，并且制备成本低廉，生产效率高。
一种基于微米灰度光刻技术结构成像薄膜

[实用新型]可室内外使用的投影显示幕布-CN202221601763.8有效
发明人：曹皓;桂成群;万辉 -专利权人： 矽万（上海）半导体科技有限公司
申请日： 2022-06-24 - 公布日： 2022-10-18 - 主分类号： G03B21/60 文献下载
摘要：一种可室内外使用的投影显示幕布，包括基材层，所述基材层的正面具有多个阵列分布的正方形反射镜单元，所述反射镜单元包括凹形反射镜以及围绕所述凹形反射镜的口字形凸起部，所述凹形反射镜的正面设有金属反射层，所述凸起部由间隔布置的多个凸块构成。本实用新型投影显示幕布亮度高、疏水性强，具有抗光干扰及抗水污染的性能，不仅可供用户在室内使用，也可以供用户在室外使用，具有极大的商业应用潜力。
内外使用投影显示幕布

[实用新型]一种具有锯齿结构的抗光投影幕布-CN202221198166.5有效
发明人：万辉;曹皓;栾世奕;桂成群 -专利权人： 矽万（上海）半导体科技有限公司
申请日： 2022-05-18 - 公布日： 2022-08-30 - 主分类号： G03B21/60 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种具有锯齿结构的抗光投影幕布，包括：柔性衬底及位于所述柔性衬底上的锯齿结构，所述锯齿结构由多个周期性排列的锯齿部构成，每个所述锯齿部具有第一齿面和第二齿面，所述第一齿面涂覆有吸收层用于吸收环境光，所述第二齿面涂覆有反射层用于反射投影光。所述锯齿结构上具有记忆层，所述记忆层上具有疏水层。本实用新型通过调节锯齿结构的齿面倾斜角，使投影仪投射的图像被反射至幕布正面，环境光源的干扰光被锯齿反斜面的吸收层吸收，使投影幕布产生抗光效果。同时，利用疏水涂层使幕布具有疏水功能，通过简单清洗即可带走幕布表面灰尘和杂质。
一种具有锯齿结构投影幕布

[实用新型]大视场范围的裸眼3D薄膜-CN202221070245.8有效
发明人：万辉;桂成群;薛兆丰;刘星宇 -专利权人： 矽万（上海）半导体科技有限公司
申请日： 2022-05-06 - 公布日： 2022-08-12 - 主分类号： G02B30/27 文献下载
摘要：一种大视场范围的裸眼3D薄膜，包括微缩图案层以及设于所述微缩图案层上的微透镜阵列，所述微透镜阵列包括多个微透镜单元，所述微透镜单元包括透明支撑块以及多个离轴微透镜，所述透明支撑块固定于所述微缩图案层上，所述多个离轴微透镜环绕固定于所述透明支撑块的四周侧面。本实用新型的微透镜阵列由多个微透镜单元构成，每个微透镜单元的透明支撑块的四周侧面环绕固定多个离轴微透镜，从而为裸眼3D薄膜带来侧面360°的大视场范围，改善了侧面观察效果，适用于观察方向主要来自侧面的应用场景。
视场范围裸眼薄膜

[实用新型]一种用于激光直写柔性显示屏的多层材料贴合设备-CN202220792283.8有效
发明人：栾世奕;桂成群;宋毅;薛兆丰 -专利权人： 矽万（上海）半导体科技有限公司
申请日： 2022-04-07 - 公布日： 2022-08-12 - 主分类号： B32B38/18 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种用于激光直写柔性显示屏的多层材料贴合设备，包括多个材料放出装置，其中每个材料放出装置用于放出一层材料；多层材料贴合装置，其用于将所述多个材料放出装置放出的多层材料进行贴合，所述每个材料放出装置包括：放出单元、方向改变单元、张力校正单元及位移同步单元。本实用新型通过多级贴合张力施加，可以有效地减少贴合过程中材料的失效，进一步提高贴合精度。
一种用于激光柔性显示屏多层材料贴合设备

[实用新型]多景深裸眼3D薄膜-CN202221032409.8有效
发明人：万辉;桂成群;薛兆丰;刘星宇 -专利权人： 矽万（上海）半导体科技有限公司
申请日： 2022-04-29 - 公布日： 2022-07-29 - 主分类号： G02B30/27 文献下载
摘要：一种多景深裸眼3D薄膜，包括微缩图案层以及设于所述微缩图案层上的微透镜阵列，还包括透明台阶层，所述透明台阶层设于所述微缩图案层上，该透明台阶层具有高度不同的多个支撑平面，所述微透镜阵列的多个微透镜分别设于不同的支撑平面上，所述支撑平面的高度大于所述微透镜的焦距长度小于所述焦距长度的两倍。本实用新型使每个微透镜与图案的距离不同，距离近的微透镜对图案具有高放大倍数，距离远的微透镜对图案具有低放大倍数，基于人眼远小近大的视觉特征，使高放大倍数图像景深浅、低放大倍数图像景深大，从而在相同人眼观察位置实现不同的放大倍数，产生多景深的3D立体效果。
景深裸眼薄膜

[实用新型]一种光学纳米级双面对准薄膜压印装置-CN202220791781.0有效
发明人：董坤;桂成群;薛兆丰;刘星宇 -专利权人： 矽万（上海）半导体科技有限公司
申请日： 2022-04-07 - 公布日： 2022-07-29 - 主分类号： B41F16/00 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种光学纳米级双面对准薄膜压印装置，包括：水平底座、溶剂槽、第一至第三机架、第一至第二上下导轨、刮刀头、从动轴、套筒、上轧辊、下轧辊、光学对准器件。水平底座上表面前端布置溶剂槽。水平底座上表面中后部分别设置第一至第三机架，第一机架上设置第一上下导轨及刮刀头。第二机架上设置从动轴，从动轴安装有套筒。第三机架上设置上轧辊、下轧辊，轧辊上、下轧辊贴合模板，模板上分别固设有对位标记，对位标记将用于校准上轧辊、下轧辊于水平、垂直两个方向上的位置误差，以及第三机架的顶部、底部各架设第二上导轨、第二下导轨，第二上导轨、第二下导轨成对安装四副光学对准器件，光学对准器件分别安装摄像头。
一种光学纳米双面对准薄膜压印装置

[实用新型]一种基于OPC与激光直写光刻技术的闪耀光栅-CN202220792269.8有效
发明人：董坤;桂成群;薛兆丰;刘星宇 -专利权人： 矽万（上海）半导体科技有限公司
申请日： 2022-04-07 - 公布日： 2022-07-15 - 主分类号： G02B5/18 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种基于OPC与激光直写光刻技术的闪耀光栅，由多个山脊状结构体周期性排列而成，所述山脊状结构体的倾斜面为平整无曲面，所述倾斜面与水平面的夹角最大为9°。所述山脊状结构体的宽度为50微米，周期频率为20线/毫米，即1000微米/50微米。所述山脊状结构体的倾斜面的粗糙度为6～10nm。所述山脊状结构体的结构高度为7.9微米～8.1微米。本实用新型的闪耀光栅，其倾斜面平整无曲面，闪耀角达到9°，倾斜面表面粗糙度高，有效地降低了入射光经过光栅调制后发生的漫散射现象，光强均匀性与现有光栅相比提高了15％，明显提高了光衍射器件的功能。
一种基于 opc 激光光刻技术闪耀光栅

[实用新型]一种基于凹透镜微结构的抗光幕布-CN202220639918.0有效
发明人：栾世奕;桂成群;宋毅;薛兆丰 -专利权人： 矽万（上海）半导体科技有限公司
申请日： 2022-03-22 - 公布日： 2022-07-15 - 主分类号： G03B21/60 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种基于凹透镜微结构的抗光幕布，包括凹透镜微结构阵列及其表面上的反射层，所述凹透镜微结构阵列具有在横向和纵向周期性排列的多个凹透镜以及相邻凹透镜之间设置的隔离板。本实用新型的基于凹透镜微结构的抗光幕布，其表面具有金属喷涂层的凹透镜阵列具有很强的聚光性能，通过对投影仪出射光的汇聚，达到增强幕布上的成像亮度，降低自然光对成像的干扰，从而有效提高显示效果。本实用新型的抗光幕布具有环保、低能耗、显示效果好的优点。
一种基于凹透镜微结构幕布

[实用新型]一种基于激光直写光刻技术的抗菌结构-CN202220639921.2有效
发明人：董坤;桂成群;薛兆丰;刘星宇 -专利权人： 矽万（上海）半导体科技有限公司
申请日： 2022-03-22 - 公布日： 2022-07-15 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种基于激光直写光刻技术的抗菌结构，包括聚酯薄膜层及粘附于聚酯薄膜层上的紫外光固化胶水层，所述紫外光固化胶水层由正视为长六边形、第一矩形、第二矩形的三种形状周期性排列而成，其中，长六边形由两条长边及四条斜边构成，长边与所述斜边形成135°，两条相邻斜边均形成90°，长六边形沿长边的正交方向为行方向、长边方向为列方向进行排列，每行各相邻长六边形之间分别设置一个第一矩形，列方向上相邻的两个所述长六边形在行方向上错开一定距离，相邻行的两个长六边形的相对的两条斜边平行且两条斜边之间分别设置一个第二矩形。本实用新型采用疏水疏油的结构，极大地降低了结构表面堆积水、油的风险，从而降低细菌滋生的可能性。
一种基于激光光刻技术抗菌结构

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