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[发明专利]一种晶圆清洗装置-CN202310088755.0在审
发明人： 石启鹏;舒福璋;李伟;尹影 -专利权人：北京晶亦精微科技股份有限公司
申请日： 2023-01-17 - 公布日： 2023-04-11 - 主分类号： B08B1/00 文献下载
摘要：本发明涉及半导体制造技术领域，具体涉及一种晶圆清洗装置，包括：第一支臂，靠近晶圆的表面设置；第一施压组件，设置于第一支臂上，且所述第一施压组件与第一刷头连接，所述第一施压组件适于带动所述第一刷头靠近所述晶圆的表面，以对晶圆的表面施加压力；驱动组件，与第一刷头连接，所述驱动组件适于带动所述第一刷头旋转，以清洗晶圆表面；本申请采用上述技术方案，在第一刷头旋转的同时，通过第一施压组件和第一刷头对晶圆表面施加压力，以对晶圆上污染物聚集位置进行有效清洗，提高晶圆的良品率。与传统滚刷方式相比，第一刷头的体积更小，成本更低。
一种清洗装置

[发明专利]晶圆暂存装置及化学机械抛光设备-CN202210499159.7在审
发明人： 石启鹏;李伟;尹影 -专利权人：北京烁科精微电子装备有限公司
申请日： 2022-05-09 - 公布日： 2022-08-16 - 主分类号： B24B37/34 文献下载
摘要：本发明提供一种晶圆暂存装置及化学机械抛光设备，属于晶圆抛光的技术领域，晶圆暂存装置包括：隔水盘、定位柱和位置检测机构，定位柱设有至少三个，在隔水盘上沿圆形间隔分布，定位柱的顶部设有用于定位晶圆侧边的定位面，所有的定位面在隔水盘上定位出直径与晶圆直径相同的定位圆；位置检测机构也设有至少三个，沿定位圆间隔分布在隔水盘上，位置检测机构在隔水盘上形成用于判断当前位置是否具有晶圆的检测点，检测点位于定位圆的内侧。通过定位柱的设置，能够将晶圆定位在隔水盘上，并通过判断每一个检测点处是否检测到晶圆的方式，可准确的判断晶圆的摆放位姿是否准确，确保机械手能够准确的抓取到晶圆。
暂存装置化学机械抛光设备

[发明专利]一种晶圆夹紧装置-CN202210389115.9在审
发明人：吴尚东;史霄;王剑;石启鹏;尹影;李婷 -专利权人：北京烁科精微电子装备有限公司
申请日： 2022-04-13 - 公布日： 2022-07-15 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本发明涉及晶圆加工技术领域，具体涉及一种晶圆夹紧装置。本发明提供的一种晶圆夹紧装置，包括：底板；至少两根支撑柱；多个滑块，每个滑块皆滑动安装在底板上，且滑动方向与虚拟圆的径向一致，滑块连接有驱动其沿虚拟圆的径向滑动的第一驱动件，第一驱动件能连续调节滑块在虚拟圆径向上的位置；多个夹紧轴，与滑块一一对应，且安装在滑块上，夹紧轴的顶端侧面适于接触晶圆边缘。本发明可实现对大小不同的晶圆进行夹紧，且与现有的晶圆夹紧机构相比，也不会改变晶圆与夹紧轴的包角大小，避免了晶圆在旋转时飞出，损坏晶圆，造成经济损失。
一种夹紧装置

[发明专利]一种装置于旋翼桨叶的动态涡流发生器-CN201910190101.2有效
发明人：杨克龙;韩东;石启鹏 -专利权人：南京航空航天大学
申请日： 2019-03-13 - 公布日： 2022-06-17 - 主分类号： B64C27/82 文献下载
摘要：本发明公开了一种装置于旋翼桨叶的动态涡流发生器，属于直升机旋翼桨叶设计领域，能有效解决直升机飞行时后行侧桨叶失速导致的桨盘平面内升力不对称、飞行速度受限、直升机性能降低的难题。本发明包括：转轴中间段嵌套在滑板A一侧内部，滑板A另一侧和滑板B一侧通过滑板滑槽嵌套在一起，滑块A通过销孔A铰接在滑板B另一侧底端，滑块A底部有滑块滑槽A，滑块滑槽A的背面设有销孔B，连杆一端通过销孔B与滑块A铰接，连杆另一端通过销孔C铰接在滑块B上，滑块B底部设有滑块滑槽B。
一种装置桨叶动态涡流发生器

[发明专利]一种基于机器视觉的燃气采暖炉的接头自动对接方法及系统-CN202010703731.8有效
发明人：张浩;苏小光;石启鹏;刘传乐 -专利权人：南京航空航天大学
申请日： 2020-07-21 - 公布日： 2022-05-03 - 主分类号： G01B11/00 文献下载
摘要：本发明实施例公开了一种基于机器视觉的燃气采暖炉的接头自动对接方法，涉及机器视觉技术领域，能够促进该行业自动化生产系统的改造，提高工人的工作效率和设备安装中的安全程度。本发明包括：获取摄像机与机械臂的基底的相对位置，并对所述摄像机进行标定；获取所述燃气采暖炉的图像信息且反馈给上位机，所述上位机通过目标检测算法定位燃气采暖炉测试接口的位置；机械臂末端的执行器获取实时坐标后，根据所述位置信息，调整位置与角度后，机械臂末端的执行器带动连接软管的快速接头移动到所述燃气采暖炉测试接口。本发明适用于燃气采暖炉的接头自动对接。
一种基于机器视觉燃气采暖炉接头自动对接方法系统

[发明专利]一种用于全向飞行物理交互平台的协作系统-CN202010588211.7有效
发明人： 石启鹏;韩东;张浩 -专利权人：南京航空航天大学
申请日： 2020-06-24 - 公布日： 2022-02-08 - 主分类号： B64C27/08 文献下载
摘要：本发明实施例公开了一种全向飞行物理交互平台及协作系统，涉及安全生产技术领域，能够节约人力并适应更多地形。本发明包括：飞行平台、地面能源小车、和操纵手运输小车。机身的上壳体安装雷达天线和顶部盖板，机身的下壳体安装操纵平台接口和监视器，机身中包含组桨叶单元；操纵手通过操纵平台接口与机身联接；飞行平台联接柱与车身固定联接；太阳能板调节装置套在飞行平台联接柱之上，在太阳能板调节装置上还设置有太阳能板的安装接口，车身上部是太阳能顶盖，车身内部有电池组、可折叠太阳能板的收纳室以及飞行平台联接柱安装口；操纵手运输小车的车身上安装有雷达，车身内部有操纵手收纳室、电池组以及仪器设备。本发明适用于智能化作业。
一种用于全向飞行物理交互平台协作系统

[发明专利]一种用于高层救援的可倾转动力的变形飞行器-CN201911029548.8有效
发明人： 石启鹏;韩东;桑玉委;何晓萍;张浩;张思敬;叶尚卿 -专利权人：南京航空航天大学
申请日： 2019-10-28 - 公布日： 2021-04-27 - 主分类号： A62C3/02 文献下载
摘要：本发明实施例公开了一种用于高层救援的可倾转动力的变形飞行器，涉及应急救援装备的设计领域，能够缓减常规救援装备地面运输时间成本大、不能深入火场救援的问题。本发明包括：外壳‑固定1和外壳‑移动5拼接成球形透波外壳，外壳‑固定1上设有曲线沟槽；上支架4嵌套有面罩球容器2，形成骨架上层；辅助轮3通过销轴联接并固定于上支架4上，辅助轮3与所述外壳的内表面接触；骨架中间层包括：可移动桨叶单元6和骨架13；骨架下层包括：下支架9、灭火小球容器11、电池组及其容器10和传感器容器15；3层骨架依次通过经过所述变形飞行器的中心轴线的纵向柱体联接。本发明适用于火场救援。
一种用于高层救援转动变形飞行器

[发明专利]一种微型的移栽覆膜一体机具-CN201710511521.7有效
发明人：李亮;石启鹏;贾继光;武东东;石耀闻 -专利权人：盐城工学院
申请日： 2017-06-29 - 公布日： 2020-05-05 - 主分类号： A01C11/02 文献下载
摘要：本发明涉及以一种微型的移栽覆膜一体机具，包括整机框架模块、移栽模块、覆膜模块、高度调节模块、动力模块；其中整机框架模块包括主机架，在主机架两侧设置有外侧板，主机架的内部对称设置有用于连接移栽模块的连接腔，在主机架的前部设置有覆膜模块连接架；移栽模块通过若干阵列结构的鸭嘴移栽器，并通过两个支撑盘使其与地面往复接触，并打开鸭嘴，实现移栽，动力模块与高度调节模块为一体结构，通过与地面接触的动力轮，使得对鸭嘴移栽器支撑盘的转动驱动，在动力轮的支撑框架上连接了外侧板，外侧板上设置丝杠以实现高度调节；覆膜模块采用若干移动套和十字套，可以根据不同需求调节整个覆膜支架的宽度、高度实现对不同规格田地的覆膜需求。
一种微型移栽一体机具

[发明专利]一种深孔机床轴-扭复合激振试验方法-CN201811136574.6有效
发明人：李亮;薛虎;刘鹏;朱奔驰;石启鹏 -专利权人：盐城工学院
申请日： 2018-09-28 - 公布日： 2019-10-08 - 主分类号： B23B41/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种深孔机床轴‑扭复合激振试验方法，通过对深孔机床轴‑扭复合激振实验装置中的模块组件进行调整，从而实现轴向激振、单向轴扭复合激振和往复轴扭复合激振三种振动形式。根据深孔加工过程中，对深孔直线度或轴线偏斜的钻削质量要求的不同，实现四种钻削运动方式之间的切换；四种钻削运动方式分别包括：运动方式一、工件旋转，刀具作进给运动；运动方式二、工件不动，刀具旋转又做进给运动；运动方式三、工件旋转，刀具作相反方向旋转及进给运动；运动方式四、工件做旋转与进给运动；振动钻削的三种振动形式以及钻削的四种钻削运动方式能相互结合，从而拓展机床加工适用范围。
运动方式激振钻削进给运动深孔复合机床轴工件旋转振动形式刀具刀具旋转方向旋转机床加工模块组件深孔加工实验装置振动钻削轴线偏斜单向轴往复轴直线度试验轴向拓展

[发明专利]一种深孔机床轴-扭复合激振实验装置-CN201811136580.1有效
发明人：李亮;薛虎;朱奔驰;刘鹏;石启鹏 -专利权人：盐城工学院
申请日： 2018-09-28 - 公布日： 2019-07-12 - 主分类号： B23B41/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种深孔机床轴‑扭复合激振实验装置，包括轴向激振单元、扭转单元和振幅实时测量显示单元；轴向激振单元包括变频器、振动电机、参振机体和工件轴向固定组件；两个振动电机能同步振动，每个振动电机均连接一个变频器；每个振动电机的电机轴两端各设置两个角度能调节的偏重块；扭转单元包括单向扭转组件、周期往复扭转组件和工件扭转夹持组件。振幅实时测量显示单元用于对轴向激振单元的轴向振幅进行实时检测与显示。本发明能实现三种不同振动方式的切换，能提高深孔钻削效率和加工质量。在维持枪钻正常进给的条件下，将工件固定在激振台上随着激振台做轴向振动，此外，工件还可以做往复的扭转运动，满足试验平台的设计要求。
振动电机激振轴向激振单元扭转组件实时测量实验装置变频器机床轴深孔扭转复合电机轴两端工件固定固定组件夹持组件扭转运动深孔钻削实时检测试验平台同步振动振动方式轴向振动工件轴进给枪钻台做加工

[实用新型]一种微型移栽覆膜一体机具的辅助调节装置-CN201720598316.4有效
发明人：李亮;石启鹏;贾继光;武东东;石耀闻 -专利权人：盐城工学院
申请日： 2017-05-26 - 公布日： 2018-11-27 - 主分类号： A01G13/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种微型移栽覆膜一体机具的辅助调节装置，包括覆膜模块辅助调节装置和移栽模块高度调节装置和机架；其中覆膜模块辅助调节装置包括剖土铲机构、压膜轮机构和膜筒机构；剖土铲、压膜轮和膜筒支架均通过十字套或T字套固定于机架上，通过十字套在机架的移动，调节覆膜宽度，移栽模块高度调节装置包括一个对称固定于机架两侧的地轮固定座，通过地轮固定座活动安装有一个地轮组件，地轮组件包括地轮以及用于固定地轮的地轮安装座，地轮安装座与地轮固定座之间滑动连接，在地轮安装座的顶部转动连接有一个丝杆，丝杆的中部与地轮固定座之间通过螺纹连接，地轮与转动输出轴之间通过链传动连接。
地轮辅助调节装置地轮固定座移栽安装座覆膜高度调节装置地轮组件覆膜模块十字套压膜轮丝杆土铲机具本实用新型链传动连接转动输出轴对称固定滑动连接活动安装螺纹连接膜筒支架转动连接膜筒移动

[实用新型]一种悬挂式移栽机具-CN201720598391.0有效
发明人：李亮;石启鹏;贾继光;武东东;石耀闻 -专利权人：盐城工学院
申请日： 2017-05-26 - 公布日： 2018-06-15 - 主分类号： A01C11/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种悬挂式移栽机具，包括一个支撑架，在支撑架上滑动连接有一个阵列设置有鸭嘴式移栽器的鸭嘴架，鸭嘴架在设置于支撑架内部的联动机构进行驱动；联动机构的输入包括输出链轮，通过输出链轮带动输出机构的支撑板和横杆移动，从而带动鸭嘴架上下移动，与现有技术相比，本实用新型的移栽机专用的新型栽植机构采用两支撑盘既有鸭嘴机构的支撑作用，也有使两支撑盘偏心的作用；采用可调节式的鸭嘴安装座可以进行滚子和凸台的紧密接触。较其他栽植机构具有结构简单，紧凑，轻便，工作稳定，可靠，制造成本低，价格低廉，维护简单，故障率及小，有利于批量生产及大面积推广等优点，具有良好的市场前景。 1
鸭嘴支撑架本实用新型联动机构输出链轮悬挂式支撑盘机具移栽栽植偏心工作稳定滑动连接可调节式上下移动输出机构鸭嘴机构阵列设置支撑作用制造成本安装座故障率鸭嘴式移栽机移栽器支撑板专用的横杆轻便滚子凸台紧凑驱动移动维护生产

[实用新型]一种悬挂式移栽机具-CN201720704019.3有效
发明人：李亮;石启鹏;贾继光;武东东;石耀闻 -专利权人：盐城工学院
申请日： 2017-06-16 - 公布日： 2018-03-09 - 主分类号： A01C11/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种悬挂式移栽机具，包括一个支撑架，在支撑架上滑动连接有一个阵列设置有鸭嘴式移栽器的鸭嘴架，鸭嘴架在设置于支撑架内部的联动机构进行驱动；联动机构的输入包括输出链轮，通过输出链轮带动输出机构的支撑板和横杆移动，从而带动鸭嘴架上下移动，与现有技术相比，本实用新型的移栽机专用的新型栽植机构采用两支撑盘既有鸭嘴机构的支撑作用，也有使两支撑盘偏心的作用；采用可调节式的鸭嘴安装座可以进行滚子和凸台的紧密接触。较其他栽植机构具有结构简单，紧凑，轻便，工作稳定，可靠，制造成本低，价格低廉，维护简单，故障率及小，有利于批量生产及大面积推广等优点，具有良好的市场前景。
一种悬挂移栽机具

[发明专利]一种移栽机专用的新型栽植机构-CN201710511522.1在审
发明人：李亮;石启鹏;贾继光;武东东;石耀闻 -专利权人：盐城工学院
申请日： 2017-06-29 - 公布日： 2017-12-22 - 主分类号： A01C11/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种移栽机专用的新型栽植机构，包括若干鸭嘴移栽器总成、设置于鸭嘴移栽器总成两侧的支撑盘；其中两个支撑盘分为支撑盘A和支撑盘B，支撑盘A和支撑盘B之间互相偏心设置，且在支撑盘A的中部连接有驱动轴；支撑盘A和支撑盘B之间通过一根曲轴连接，在支撑盘A和支撑盘B上均环形阵列设置有等数量的安装板；鸭嘴移栽器总成位于相对的安装板A和安装板B之间，鸭嘴移栽器总成包括鸭嘴安装座，在鸭嘴安装座的底部设置有鸭嘴，包括两个鸭嘴开合片，在鸭嘴开合片顶端装配有顶推机构，安装板A顶端与鸭嘴安装座转动连接，在安装板A上设置凸台，在鸭嘴安装座的侧壁上偏心设置有连接轴，安装板B与连接轴之间转动连接。
一种移栽专用新型栽植机构

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