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专利名称

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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]显示装置及其制造方法-CN200810003975.4有效
发明人： 石井美备;上原淳一;渡边邦彦 -专利权人：株式会社日立显示器;株式会社IPS先驱高新技术
申请日： 2008-01-23 - 公布日： 2008-07-30 - 主分类号： H01L21/84 文献下载
摘要：本发明提供一种能够在薄膜晶体管中可靠性良好地形成电极的显示装置的制造方法，由如下步骤构成：准备具有依次层叠有栅极信号线、绝缘膜、半导体层及导体层而成的层叠体的基板；至少在薄膜晶体管的形成区域，将光致抗蚀剂膜作为掩模对上述导体层进行选择蚀刻而形成上述薄膜晶体管的漏电极及源电极，这两个电极由如下图案构成：在俯视观察时，一个电极形成为包围另一个电极的前端部、一端侧开放且另一端侧具有结合部的大致U字状，该结合部的与上述另一个电极相反一侧的边上形成有突出部；将使上述光致抗蚀剂膜原样流回而形成的变形光致抗蚀剂膜作为掩模，来对上述半导体层进行蚀刻。
显示装置及其制造方法

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