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[发明专利]一种超滑石墨岛移动组件的制作及使用方法-CN202111073946.7有效
发明人：杨鼎麟;瞿苍宇;聂锦辉;马明;郑泉水 -专利权人：深圳清华大学研究院;清华大学
申请日： 2021-09-14 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本申请公开了一种微型块移动组件和制作方法，该组件包括移动部件，移动部件包括：透明基板；位于透明基板表面、用于与微型块阵列接触的透明接触体，透明接触体背离透明基板的表面为平面状，且透明接触体兼具柔性和刚性。由于移动部件为透明的，在推动时可清晰的观察到微型块的运动情况和自回复情况，有利于微型块自回复的判断；由于透明接触体背离透明基板的表面为平面状，面积大，可以同时对多个微型块进行推动和转移，提升推动、转移和自回复判断的效率，同时增加微型块受力均匀性，避免出现锁死的情况，以及增加与微型块之间的粘附力，提升转岛成功率；另外透明接触体兼具柔性和刚性，避免对微型块造成损伤，同时保证推动和转移的顺利进行。
一种滑石移动组件制作使用方法

[发明专利]一种超滑滑块的制备方法-CN202010473597.7有效
发明人：郑泉水;瞿苍宇 -专利权人：深圳清华大学研究院;清华大学
申请日： 2020-05-29 - 公布日： 2023-05-16 - 主分类号： B81B5/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种通过改进加载方式避免超滑滑块屈曲失稳及结构破坏的超滑滑块的制备方法，包括通过聚焦离子束刻蚀等方法，在探针尖端刻蚀出一个平台，用该平台与超滑滑块接触，并将加载方式改为使用探针从顶部接触超滑滑块，施加正压力和剪切力，从而推动滑块。本发明提出的方法简单便捷，可避免在超滑滑块较大时，滑块在探针推动下发生屈曲失稳从而收到破坏的问题。同时，本发明提出的方法能提高批量生产超滑滑块的成品率，并且具有广泛适用性。
一种超滑滑块制备方法

[发明专利]一种微型块阵列移动组件及其制作方法-CN202111074897.9在审
发明人：杨鼎麟;瞿苍宇;聂锦辉;马明;郑泉水 -专利权人：深圳清华大学研究院;清华大学
申请日： 2021-09-14 - 公布日： 2021-11-23 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本申请公开了一种微型块阵列移动组件和制作方法，该组件包括移动部件，移动部件透明基板；位于透明基板上表面的透明介质体；分布在透明介质体背离透明基板的表面的透明触头阵列，透明触头阵列背离透明基板的表面为平面，且透明触头阵列兼具柔性和刚性。本申请中移动部件为透明的，在推岛时可清晰的观察到微型块的运动情况和自回复情况，有利于自回复的判断；透明触头阵列背离透明基板的表面为平面，与微型块为面接触，增加微型块受力均匀性，同时还可以增加与微型块之间的粘附力，提升转移成功率；透明触头阵列可以实现同时对多个微型块进行推岛和转岛，提升推动、转移和自回复判断的效率；透明触头阵列兼具柔性和刚性，避免对微型块造成损伤。
一种微型阵列移动组件及其制作方法