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- [发明专利]一种新型场板技术-CN202310962822.7在审
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程骏骥;刘家平;郭新凯;孙燕;杨洪强
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电子科技大学;电子科技大学广东电子信息工程研究院
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2023-08-02
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2023-09-15
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H01L29/40
- 发明属于半导体功率器件领域,涉及横向耐压结构,具体提供了一种新型场板技术,应用于硅基、碳化硅基、氮化镓基或者氧化镓基的横向半导体功率器件或者纵向半导体功率器件的结边缘终端。本发明通过弧形嵌入式源极场板来吸引耗尽区中正电荷发出的电力线,从而缓解栅极或者主结处的电场集中效应。相对包含传统矩形嵌入式源极场板和传统栅极场板在内的传统场板技术,本发明中场板末端的弧形形态更加优化了场板末端的电场分布,取得优于传统技术的电场调制效果以及抑制栅漏电容效果。同时,通过一道版图和一次腐蚀工艺,可在本发明弧形嵌入式源极场板的末端同时设置多个深度及间距可变的弧形嵌入式浮空场板,进一步优化器件的表面电场分布。
- 一种新型技术
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