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[发明专利]潜望式光路集成方法-CN202211195283.0在审
发明人：申淙;任妍;田锐;谭胜旺 -专利权人：北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）
申请日： 2022-09-28 - 公布日： 2022-12-06 - 主分类号： G02B23/08 文献下载
摘要：本申请涉及光学设备装调测试技术领域，尤其是涉及一种潜望式光路集成方法。该潜望式光路集成方法包括以下步骤：安装第一光学组件，在第一光学组件沿光路方向后方安装定心仪，确定绕x向基准以及绕y向基准；移动定心仪直至对准潜望镜组的预定安装位置；在预定安装位置处安装并调整潜望镜组，使第一光学组件与定心仪绕x向基准上及绕y向基准准直；移动定心仪使其与第一光学组件沿y向基准准直；安装并调整第二光学组件，使第二光学组件的出射光轴与定心仪沿y向同轴；将定心仪替换为镜面定位仪，沿z方向平移第一光学组件，使第一光学组件与第二光学组件沿z向基准上的准直。该潜望式光路集成方法能够装调集成有非平行光路的潜望式光路。
潜望式光路集成方法

[发明专利]投影物镜系统-CN202210244412.4在审
发明人：谭胜旺;吴爽;申淙;高爱梅 -专利权人：北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）
申请日： 2022-03-14 - 公布日： 2022-06-07 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本申请涉及集成电路制造技术领域，尤其是涉及一种投影物镜系统。投影物镜系统包括从投影物镜系统的物方至像方的方向顺序设置的第一透镜组、第二透镜组、第三透镜组、第四透镜组、第五透镜组和第六透镜组，第一透镜组至第六透镜组的光焦度呈现出正、负、正、负、正、正。根据本发明的投影物镜系统，能够实现更好的像差控制，进而实现更加完美的图形曝光。
投影物镜系统

[发明专利]投影物镜系统-CN202210244421.3在审
发明人：申淙;谭胜旺;孙明睿;高爱梅 -专利权人：北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）
申请日： 2022-03-14 - 公布日： 2022-05-31 - 主分类号： G02B13/18 文献下载
摘要：本申请涉及集成电路制造技术领域，尤其是涉及一种投影物镜系统。投影物镜系统包括从投影物镜系统的物方至像方的方向顺序设置的第一透镜组、第二透镜组、第三透镜组、第四透镜组和第五透镜组，第一透镜组至第五透镜组的光焦度呈现出正、负、正、负、正；五个透镜组满足：f2/L＞‑0.1，f4/L＞‑0.3；其中f2为第二透镜组的焦距，f4为第四透镜组的焦距，L为投影物镜系统的物像距；根据本发明的投影物镜系统，能够实现更好的像差控制，进而实现更加完美的图形曝光。
投影物镜系统

[发明专利]一种图像检测方法-CN202210199232.9在审
发明人：闵珊珊;林佳;魏祥英;杜婷婷;孙邦元;李洪亮;谭胜旺;申淙 -专利权人：北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）
申请日： 2022-03-02 - 公布日： 2022-05-31 - 主分类号： G06T7/00 文献下载
摘要：本申请提供了一种图像检测方法，其中，该方法包括：获取半导体掩膜工件的对准标记图像；从所述对准标记图像中提取至少一个局部图像；针对每个局部图像，确定该局部图像的局部图像检测值；确定所述对准标记图像的全局图像检测值；根据至少一个局部图像检测值和所述全局图像检测值，确定所述对准标记图像的图像质量。本申请即对对准标记图像的全局进行质量评价，又对对准标记图像的对准标记的局部进行图像质量评价，达到准确判断对准标记图像质量的效果。
一种图像检测方法

[发明专利]调焦光学成像系统-CN202210161373.1在审
发明人：申淙;李欢;田锐;谭胜旺 -专利权人：北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）
申请日： 2022-02-22 - 公布日： 2022-04-29 - 主分类号： G02B7/09 文献下载
摘要：一种调焦光学成像系统，涉及光学技术领域，包括沿第一光轴方向依次间隔设置的标记板、第一对焦镜组、第二对焦镜组、筒镜、物镜和用于放置待测物体的物方平面板；物方平面板配置成能够沿第一光轴方向移动，以改变物方平面板和物镜之间的光轴距离；调焦光学成像系统还包括沿第二光轴方向依次设置的第三对焦镜组和图像采集装置；第一光轴方向与第二光轴方向垂直；第一对焦镜组与第二对焦镜组之间设置有折转反射镜；折转反射镜配置为令沿第一光轴方向传输的光线反射为沿第二光轴方向传输；标记板上设置有测量标记孔。本发明的目的在于提供一种调焦光学成像系统，以在一定程度上解决现有技术中存在的调焦时间较长、调焦精度较差的技术问题。
调焦光学成像系统

[发明专利]一种具有棱镜反射结构的激光雷达装置-CN202010398526.5在审
发明人：申淙;高铁军 -专利权人：保定市天河电子技术有限公司
申请日： 2020-05-12 - 公布日： 2021-11-16 - 主分类号： G01S7/481 文献下载
摘要：本申请公开了一种具有棱镜反射结构的激光雷达装置，包括底座、支撑柱、雷达组件、旋转机构、反射镜及反射棱镜；雷达组件包括设备箱，设备箱内部设有相互电连接的激光同轴发射接收器及信号处理电路；旋转机构与底座转动连接；旋转机构的转动轴与激光同轴发射接收器的中心重合；反射镜，反射镜倾斜放置于旋转机构上，其与水平面间呈45°夹角；反射棱镜，设于反射镜的镜面上方，两端分别设有入射面和出射面；入射面沿水平方向设于激光同轴发射接收器的正下方；出射面沿垂直方向设置。本申请通过设置反射棱镜，使得激光发射端发出的激光经过多次全反射，可对距离雷达底部更近的区域实施扫描，从而提高了激光雷达发现地面小尺寸目标的能力。
一种具有棱镜反射结构激光雷达装置

[实用新型]一种具有棱镜反射结构的激光雷达装置-CN202020777564.7有效
发明人：申淙;高铁军 -专利权人：保定市天河电子技术有限公司
申请日： 2020-05-12 - 公布日： 2020-12-25 - 主分类号： G01S7/481 文献下载
摘要：本申请公开了一种具有棱镜反射结构的激光雷达装置，包括底座、支撑柱、雷达组件、旋转机构、反射镜及反射棱镜；雷达组件包括设备箱，设备箱内部设有相互电连接的激光同轴发射接收器及信号处理电路；旋转机构与底座转动连接；旋转机构的转动轴与激光同轴发射接收器的中心重合；反射镜，反射镜倾斜放置于旋转机构上，其与水平面间呈45°夹角；反射棱镜，设于反射镜的镜面上方，两端分别设有入射面和出射面；入射面沿水平方向设于激光同轴发射接收器的正下方；出射面沿垂直方向设置。本申请通过设置反射棱镜，使得激光发射端发出的激光经过多次全反射，可对距离雷达底部更近的区域实施扫描，从而提高了激光雷达发现地面小尺寸目标的能力。
一种具有棱镜反射结构激光雷达装置

[外观设计]三维扫描激光雷达-CN201930162492.8有效
发明人：申淙;高铁军 -专利权人：保定市天河电子技术有限公司
申请日： 2019-04-11 - 公布日： 2019-11-29 - 主分类号： 10-05 文献下载
摘要：1．本外观设计产品的名称：三维扫描激光雷达。;2．本外观设计产品的用途：用于高铁线路安全防护设备；高危路段安全防护设备；看守所、戒毒所等安全防范设备。;3．本外观设计产品的设计要点：产品的形状。;4．最能表明本外观设计设计要点的图片或照片：左视图。
三维扫描激光雷达

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