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[发明专利]一种用于大型晶圆研磨机改善晶圆形貌的研磨工艺-CN202310967122.7在审
发明人：何丙才;郑宇;韩萍;李广振;刘鹏亮;张亮;姜伟;田凤阁;陈克强;韩佩鑫 -专利权人：山东有研半导体材料有限公司;有研半导体硅材料股份公司
申请日： 2023-08-02 - 公布日： 2023-10-10 - 主分类号： B24B1/00 文献下载
摘要：本发明公开一种用于大型晶圆研磨机改善晶圆形貌的研磨工艺，属于半导体晶圆加工技术领域。该研磨工艺包括以下步骤：(1)使用A磨砂研磨晶圆，A磨砂配制的研磨液各组分所占质量百分比为：A磨砂15％‑38％、研磨剂1.5％‑2.8％，其余为水；研磨晶圆时使用的磨液流量为900‑1500mL/min；研磨压力为600‑1500kg；研磨转速为25‑50rpm，转速比为0.3‑0.6；(2)使用B磨砂研磨晶圆，B磨砂配制的研磨液各组分所占质量百分比为：B磨砂13％‑36％、研磨剂2.2％‑3.8％，其余为水；研磨晶圆时使用的磨液流量为900‑1500mL/min；研磨压力为600‑1500kg；研磨转速为25‑50rpm，转速比为0.3‑0.6。本发明通过改善研磨工艺可以得到平坦度高的晶圆，并且能够避免晶圆的边缘塌陷。
一种用于大型研磨机改善圆形研磨工艺

[实用新型]一种异形链条组件装配台-CN202223210366.0有效
发明人：张业东;陈明凯;田凤阁 -专利权人：伊藤机工（大连）有限公司
申请日： 2022-12-01 - 公布日： 2023-04-18 - 主分类号： B21L9/06 文献下载
摘要：本实用新型公开一种异形链条组件装配台，涉及装配台领域。该异形链条组件装配台包括工作台，工作台的上表面组件有主体座，工作台的内部设置有传送带，传送带的外表面设置有传送机构，传送机构用于对异形链条组件装配中的传送作用，传送机构包括传送杆、转动杆、手转杆、滑动块、弹簧，传送杆转动连接在工作台的内部，传送带传动连接在传送杆的外表面，转动杆转动连接在工作台的侧面，手转杆固定连接在转动杆的外表面，手转杆的外表面与滑动块相接触，弹簧固定连接在滑动块的外表面。该异形链条组件装配台，方便对异形链条根据主体坐的位置进行传送。
一种异形链条组件装配

[实用新型]一种稳定真空负压系统-CN202223210298.8有效
发明人： 田凤阁;张业东 -专利权人：伊藤机工（大连）有限公司
申请日： 2022-12-01 - 公布日： 2023-04-04 - 主分类号： F04B37/14 文献下载
摘要：本实用新型公开一种稳定真空负压系统，涉及真空负压设备领域。该稳定真空负压系统，包括移动设备架和负压真空泵，连接软管固定安装在负压真空泵的输出端上，控制箱安装在移动设备架的内部用于控制负压真空泵，移动设备架的内部设置有可拆分的软管支撑座，连接软管的另一端固定安装有L形安装管，软管支撑座的内部螺纹连接有用于高度调节的支撑螺杆，L形安装管安装在支撑螺杆的外表面。该稳定真空负压系统，在使用时，连接软管的端部保持向下垂挂状态，并且L形安装管通过支撑螺杆进行支撑，以此避免重力对连接处的密封件向下拉拽造成密封件损坏的情况发生。
一种稳定真空系统

[实用新型]一种圆钢弯曲用治具-CN202223287867.9有效
发明人：陈明凯;田凤阁;张业东 -专利权人：伊藤机工（大连）有限公司
申请日： 2022-12-08 - 公布日： 2023-03-28 - 主分类号： B21D7/024 文献下载
摘要：本实用新型公开一种圆钢弯曲用治具，涉及治具领域。该圆钢弯曲用治具包括工作台，工作台的上表面安装有固定台，弯曲件，弯曲件安装在固定台的外表面，工作台的外表面设置有限位块，限位块的外表面设置有限位机构，限位机构用于对圆钢弯曲时弯曲角度的限制作用，限位机构包括滑动块、螺纹杆、卡块、刻度盘，滑动块滑动连接在工作台的内部，螺纹杆转动连接在滑动块的上表面，卡块螺纹连接在螺纹杆的外表面，刻度盘设置在工作台的上表面，限位块滑动连接在刻度盘的外表面。该圆钢弯曲用治具方便对圆钢弯曲的角度大小进行限制。
一种圆钢弯曲用治具

[实用新型]一种砂型铸造用电动筛砂机-CN202222675102.6有效
发明人： 田凤阁;陈明凯;张业东 -专利权人：伊藤机工（大连）有限公司
申请日： 2022-10-11 - 公布日： 2023-02-10 - 主分类号： B22C5/06 文献下载
摘要：本实用新型公开一种砂型铸造用电动筛砂机，涉及砂型铸造领域。该砂型铸造用电动筛砂机，包括机架，机架用于整体设备支撑，振筛斗设置在机架的顶部，振筛网架安装在振筛斗的内部，驱动电机安装在机架的内部用于驱动振筛斗进行振筛，振筛斗的前端设置有用于调节振筛网架倾斜度的支撑机构。该砂型铸造用电动筛砂机，通过顺时针转动调节螺杆，使得U形支撑架在调节螺杆的外表面向上移动，此时通过支撑转辊将振筛网架的末端向上顶起，以此减小其倾角，在进行振筛时，活动架在支撑转辊的顶部晃动，可以延缓原料在振筛网架上滑落的速度，以此保证充分的时间能够使得合格砂料被分离出来。
一种砂型铸造用电动筛砂机

[实用新型]一种耐高温防裂料盘生产用模具-CN202222387875.4有效
发明人： 田凤阁;陈明凯;张业东 -专利权人：伊藤机工（大连）有限公司
申请日： 2022-09-06 - 公布日： 2023-01-31 - 主分类号： B29C45/74 文献下载
摘要：本实用新型公开一种耐高温防裂料盘生产用模具，涉及模具技术领域。该装置包括下模具，下模具的上表面设置有液压伸缩杆，液压伸缩杆的顶端设置有上模具，注塑口开设在上模具处，用于注塑原料的添加。该一种耐高温防裂料盘生产用模具，通过在注塑口处设置注塑管，注塑管内部设置有导热板，使得注塑管侧壁整体温度较高，防止上料过程中注塑原料在注塑管处于凝结，进而堵塞住注塑原料的上料处，另外当多余的注塑原料积留在注塑管处且凝结成块时，此时可将注塑管从注塑口处取出，以便对注塑管内部的凝结的注塑原料进行清理，防止注塑管被堵塞。
一种耐高温防裂料盘生产模具

[实用新型]一种手持圆弧倒角机-CN202222675059.3有效
发明人：陈明凯;田凤阁;张业东 -专利权人：伊藤机工（大连）有限公司
申请日： 2022-10-11 - 公布日： 2023-01-13 - 主分类号： B23D79/00 文献下载
摘要：本实用新型公开一种手持圆弧倒角机，涉及倒角机技术领域。该装置包括倒角机主体，倒角机主体的一侧设置有握把，倒角刀，设置在倒角机主体的一侧，倒角刀的一侧设置有辅助轴承，挡板，设置在倒角刀的外表面。该一种手持圆弧倒角机，通过在倒角机主体握把处设置滚球，可使得握把的两端均设置有定位点，即其一端通过倒角机主体设置的挡板和握把另一端设置的滚球，以使得握把能与加工工件的表面处于平行状态，使得挡板能在倒角机主体移动过程中与加工工件之间接触稳定，也缓解工作人员长时间通过手部用力对挡板移动进行平稳定位的酸胀。
一种手持圆弧倒角

[实用新型]一种V法造型用自动起膜装置-CN202222365698.X有效
发明人： 田凤阁;陈明凯;张业东 -专利权人：伊藤机工（大连）有限公司
申请日： 2022-09-06 - 公布日： 2022-12-13 - 主分类号： B22C9/03 文献下载
摘要：本实用新型公开一种V法造型用自动起膜装置，涉及起膜装置领域。该V法造型用自动起膜装置包括主体架，主体架的外表面安装有主体座，机械臂，机械臂的安装在主体座的外表面，转动起膜板，转动起膜板安装在机械臂的外表面，机械臂的外表面设置有固定板固定块固定连接在转动起膜板的外表面，限位板固定连接在转动起膜板的外表面，固定板滑动连接在固定块的外表面，固定板滑动连接在限位板的外表面，螺纹杆螺纹连接在固定板的内部，螺纹杆螺纹连接在固定块的内部。该V法造型用自动起膜装置，方便对转动起膜板进行拆卸更换。
一种造型自动装置

[实用新型]一种V法铸造砂箱翻箱装置-CN202222365720.0有效
发明人： 田凤阁;陈明凯;张业东 -专利权人：伊藤机工（大连）有限公司
申请日： 2022-09-06 - 公布日： 2022-12-13 - 主分类号： B22D33/02 文献下载
摘要：本实用新型公开一种V法铸造砂箱翻箱装置，涉及翻箱装置领域。该V法铸造砂箱翻箱装置包括主体座，主体座的外表面安装有翻箱机械臂，固定件，固定件安装在翻箱机械臂的外表面，固定件的外表面设置有调节板，调节板的外表面设置有调节机构，调节机构用于对不同宽度的砂箱进行翻箱操作，调节板转动连接在辅助板的外表面，调节块转动连接在调节板的外表面，调节块滑动连接在固定件的外表面，螺纹杆螺纹连接在调节块的内部。该V法铸造砂箱翻箱装置方便对不同宽度的V法铸造砂箱进行翻箱操作。
一种铸造砂箱装置

[发明专利]一种用于键合工艺的硅衬底抛光片的制备方法-CN202111616066.X在审
发明人：钟耕杭;王新;边永智;宁永铎;徐继平;张健华;韩萍;林霖;田凤阁;李钧宏;颜俊尧;朱晓彤 -专利权人：山东有研半导体材料有限公司;有研半导体硅材料股份公司
申请日： 2021-12-27 - 公布日： 2022-04-15 - 主分类号： B24D18/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于键合工艺的硅衬底抛光片的制备方法，包括以下步骤：(1)采用磁场拉晶法进行拉晶，磁场类型为水平磁场，磁场强度为1000‑5000高斯，磁场形状为马鞍形，晶转为5‑15rpm，埚转为0.1‑3rpm；控制晶体生长时液面位置+/‑0.5mm波动范围；(2)进行滚磨及线切割；(3)进行倒角轮廓设计与加工，进行四次倒角，分别使用800#导轮粗倒2次，1000‑3000#导轮精倒2次，使用非对称倒角，轮廓幅长X1大于600μm，X2小于300μm；(4)进行研磨腐蚀，先进行碱腐蚀，再进行酸腐蚀，碱腐蚀去除量控制在5‑15μm，酸腐蚀去除量控制在15‑20μm；(5)进行抛光，抛光转速控制在30‑50rpm，压力控制在300‑500kg，化学液浓度控制在1∶15‑1∶30，pH值控制在9‑13，蜡膜厚度控制在1‑3μm；(6)进行清洗检测；(7)进行边缘形状评估。
一种用于工艺衬底抛光制备方法

[发明专利]一种高品质几何参数抛光片的有蜡贴片工艺-CN202111436473.2在审
发明人：林霖;陈克强;田凤阁;韩佩鑫;张坤飞;王新;史训达;郑宇 -专利权人：山东有研半导体材料有限公司;有研半导体硅材料股份公司
申请日： 2021-11-29 - 公布日： 2022-04-12 - 主分类号： B24B37/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种高品质几何参数抛光片的有蜡贴片工艺。该工艺包括以下步骤：(1)将硅片放在一个圆形吸盘上，硅片与吸盘之间靠真空固定，吸盘与硅片的圆心重合于一点，吸盘以1000‑3000rpm的转速携带硅片旋转，此时向硅片圆心处注入0.1‑10mL液体蜡，吸盘及硅片持续旋转1‑60s，液体蜡在离心力的作用下，涂覆在硅片背表面；(2)将吸盘及硅片转速提高到3500‑5000rpm，此时向硅片圆心处注入0.1‑10mL液体蜡，吸盘及硅片持续旋转1‑60s，液体蜡在离心力的作用下，涂覆在硅片背表面；(3)经热烘箱烘烤后，粘贴在有蜡抛光专用的工装夹具上，进行有蜡抛光。本发明能够产生厚度更加均匀的蜡膜，进而制造出具有更加优异局部平整度的硅衬底抛光片，提高后道器件厂的成品率。
一种品质几何参数抛光有蜡贴片工艺

[实用新型]一种衬板、棚板坡口加工定位装置-CN202121149291.2有效
发明人： 田凤阁 -专利权人：伊藤机工（大连）有限公司
申请日： 2021-05-26 - 公布日： 2021-11-30 - 主分类号： B23Q3/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种衬板、棚板坡口加工定位装置，其特征在于：包括圆形的核心定位板，核心定位板的周向侧面上通过螺纹连接的形式连接有多个辅助环板，多个辅助环板以核心定位板为中心呈放射状设置，核心定位板与邻近的辅助环板之间和相邻的辅助环板之间均存在有落差度；核心定位板和每个辅助环板上均开设有四个长定位孔和四个短定位孔，核心定位板上的长定位孔位于远离核心定位板的圆心的位置；长定位孔和短定位孔的孔径相同且均螺纹连接有压紧螺栓，压紧螺栓连接有L状的压紧板，压紧螺栓贯穿L状的压紧板后螺纹连接至长定位孔或短定位孔中，达到能够适应不同尺寸的衬板、棚板的加工定位需求的效果。
一种棚板坡口加工定位装置

[实用新型]改造兼用型砂砂箱-CN202121154999.7有效
发明人： 田凤阁 -专利权人：伊藤机工（大连）有限公司
申请日： 2021-05-26 - 公布日： 2021-11-30 - 主分类号： B22C21/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了改造兼用型砂砂箱，涉及铸件设备技术领域，包括上模与下模，所述上模与下模之间设置有加固组件，加固组件的长度不短于上模或下模的长度；加固组件包括固定连接在下模侧面的支撑板，支撑板上抵接有补砂框，补砂框开设有补砂缺口，补砂缺口朝向上模与下模的间隙设置，补砂缺口盖过上模与下模的间隙；补砂框远离支撑板的位置处开设有充砂孔，补砂框远离上模与下模的间隙的方向上设置有固定组件，固定组件供补砂框与上模之间的相对位置固定，达到在进行大体积铸件砂包制作时，提高砂包朝向上模与下模两侧位置处的砂壁的抗冲击能力的效果。
改造兼用型砂砂箱

[实用新型]一种V法造型运输起模系统-CN201921096105.6有效
发明人： 田凤阁 -专利权人：伊藤机工（大连）有限公司
申请日： 2019-07-12 - 公布日： 2020-04-17 - 主分类号： B65G35/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种V法造型运输起模系统，包括：V法造型运输起模台车和运行轨道；V法造型运输起模台车结构包括：上车身(1)、下车身(2)、滚轮(5)、四个齿轮箱(7)、四个驱动电机(4)、行程开关(6)，以及四个液压机(8)；液压机(8)与电源连接；行程开关(6)与驱动电机(4)电性连接；下车身(2)的下部四角处设有容置滚轮(5)的槽口；行程开关(6)与四个驱动电机(4)分别连接；运行轨道包括：上端漏出地面设置的工字形轨道(9)。本实用新型将原来的人工吊运改为电控的V法造型起模台车运送，V法造型起模台车可充分利用现有空间，提高生产效率。
一种造型运输系统

[实用新型]一种耐高温防裂料盘-CN201921096148.4有效
发明人： 田凤阁 -专利权人：伊藤机工（大连）有限公司
申请日： 2019-07-12 - 公布日： 2020-04-17 - 主分类号： C21D1/63 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种耐高温防裂料盘，包括料盘本体(1)、L型支脚(2)；料盘本体(1)包括中间部分(1.1)和第一端部(1.2)和第二端部(1.3)；第一端部(1.2)为一个长矩形框架通过若干个第一隔断(1.21)隔成小矩形；其中，第一端部(1.2)中左侧和右侧的第二个小矩形上部均设有第一U型防裂凹弧(1.22)；中间部分(1.1)通过若干交错设置的第二隔断(1.11)隔成小矩形；第二端部(1.3)与第一端部(1.2)互成对称设置；其中，第二端部(1.3)中左侧和右侧的第二个小矩形上部均设有第二U型防裂凹弧(1.32)。本实用新型料盘在高温时4角产生的拉应力被4处U型防裂凹弧吸收减缓；料盘在低温时4角产生的压应力同样能够被4处U形结构吸收减缓，已达到增长料盘的使用寿命的目的。
一种耐高温防裂料盘

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