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[发明专利]惯性传感器、电子设备及移动体-CN202110187850.7有效
发明人：永田和幸;田中悟 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2021-02-18 - 公布日： 2023-10-10 - 主分类号： G01P15/125 文献下载
摘要：本发明涉及惯性传感器、电子设备及移动体。该惯性传感器具备：基板；固定部，设置于基板；第一可动体，与基板相对，并能够以第一支承梁为第一旋转轴进行位移；第一支承梁，连接在第一方向上排列的第一可动体和固定部；第二可动体，能够因第二支承梁的变形而进行位移；第二支承梁，连接在与第一方向交叉的第二方向上排列的第一可动体和第二可动体；以及突起，设置于基板或第二可动体，在从第三方向俯视观察时，该突起与第二可动体重叠，并且朝向第二可动体或基板突出。
惯性传感器电子设备移动

[发明专利]物理量传感器及其制造方法、复合传感器及惯性计测单元-CN201810986948.7有效
发明人： 田中悟 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2018-08-28 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： G01C19/5656 文献下载
摘要：一种物理量传感器及其制造方法、复合传感器及惯性计测单元，使检测灵敏度和可靠性提高。物理量传感器(100)包括：可动体(20)，呈平板状，在贯穿该平板状的平板面(28)的方向上具有多个开口(26)，能够以转动轴为中心摆动；支承基板(10)，通过支柱(14)与平板面(28)的一部分连结而成，使得隔开间隔地支承可动体的平板面；以及突起(15)，在沿着与平板面垂直的方向观察支承基板时，在支承基板(10)的与可动体(20)隔开间隔而重叠的区域，向可动体一侧突出设置，在沿着与平板面垂直的方向观察支承基板时，当设突起的最大外形尺寸为D时，开口(26)设置于除从突起的外周向外侧D/2的范围以外的区域。
物理量传感器及其制造方法复合惯性单元

[发明专利]物理量传感器和传感器器件、电子设备、便携式电子设备及移动体-CN201811099867.1有效
发明人： 田中悟 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2018-09-20 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： G01C19/5656 文献下载
摘要：提供一种能够发挥良好温度特性的物理量传感器和传感器器件、电子设备、便携式电子设备及移动体。物理量传感器包括基板、检测第一方向加速度的一对第一元件部以及检测第二方向加速度的一对第二元件部。第一元件部包括能够沿第一方向位移的第一可动部、配置于第一可动部的第一、第二可动电极指、与第一、第二可动电极指相对配置的第一、第二固定电极指、以及支承第一、第二固定电极指的第一、第二支承部。第二元件部包括能够沿第二方向位移的第二可动部、配置于第二可动部的第三、第四可动电极指、与第三、第四可动电极指相对配置的第三、第四固定电极指、以及支承第三、第四固定电极指的第三、第四支承部。
物理量传感器器件电子设备便携式移动

[发明专利]物理量传感器、惯性测量装置以及制造方法-CN202310139332.7在审
发明人：泷泽照夫;田中悟 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2023-02-20 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： B81B7/02 文献下载
摘要：本发明公开了物理量传感器、惯性测量装置以及制造方法，能够避免伴随着可动体的质量不均匀性的不良情况。物理量传感器检测第三方向上的物理量，包括固定于基板的固定部、一端与固定部连接的支承梁以及可动体。可动体具有可动电极部以及框架部。在固定电极部设置有第一固定电极组和第二固定电极组。在可动电极部设置有第一可动电极组和第二可动电极组。而且，在第一可动电极组设置有向第三方向凹陷的第一凹部，在第二固定电极组设置有向第三方向凹陷的第二凹部，在框架部的第二可动电极组侧的区域设置有向第三方向凹陷的第三凹部。
物理量传感器惯性测量装置以及制造方法

[发明专利]物理量传感器、复合传感器、惯性计测单元及电子设备-CN201810984424.4有效
发明人： 田中悟 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2018-08-27 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： G01C19/5656 文献下载
摘要：本发明涉及物理量传感器、复合传感器、惯性计测单元及电子设备，其耐冲击性优异、提高了可靠性。物理量传感器具备：可动体，包括梁部、与梁部连接并沿与梁部交叉的交叉方向设置的连结部、与连结部连接的第一质量部和第二质量部；第一固定电极和第二固定电极，设置于支承基板上，与第一质量部、第二质量部相对；以及突起，设置于设置有第一固定电极、第二固定电极的区域，并从支承基板朝向第一质量部、第二质量部突出，在交叉方向上，将从连结部与第一质量部、第二质量部的连接位置到第一质量部、第二质量部的与梁部相反一侧的端部的距离设为L、将从突起到第一质量部、第二质量部的与梁部相反一侧的端部的距离设为L1时，距离L1是0.5L以上3.1L以下。
物理量传感器复合惯性单元电子设备

[发明专利]惯性传感器、电子设备及移动体-CN202010578057.5有效
发明人： 田中悟 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2020-06-23 - 公布日： 2023-05-12 - 主分类号： G01P15/18 文献下载
摘要：提供惯性传感器、电子设备及移动体。当将相互正交的三个轴作为X轴、Y轴和Z轴时，惯性传感器具有：基板；可动体，绕沿所述Y轴的摆动轴摆动；以及突起，在从所述Z轴方向的俯视观察时与所述可动体重叠，并从所述基板向所述可动体侧突出设置，其中所述突起具有近端侧突起和位于相比于所述近端侧突起远离所述摆动轴的侧的远端侧突起，当所述可动体绕所述摆动轴相对于所述基板摆动时，所述近端侧突起及所述远端侧突起同时与所述可动体接触或在所述近端侧突起与所述可动体接触后所述远端侧突起与所述可动体接触。
惯性传感器电子设备移动

[发明专利]物理量传感器及惯性测量装置-CN202211316966.7在审
发明人： 田中悟 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2022-10-26 - 公布日： 2023-05-05 - 主分类号： G01P15/08 文献下载
摘要：本发明提供物理量传感器及惯性测量装置，能够同时实现小型化和高精度化。物理量传感器(1)包括：第一固定电极部(10)、第一可动电极部(20)、固定于基板(2)的第一固定部(40)、一端与第一固定部连接的第一支撑梁(42)、一端与第一固定部连接的第二支撑梁(43)、以及连结第一支撑梁的另一端及第二支撑梁的另一端与第一可动电极部的第一连结部(30)。在从与基板正交的第三方向(DR3)俯视时，第一可动电极部、第一固定部沿第一方向(DR1)配置，第一支撑梁及第二支撑梁沿第二方向(DR2)配置，第一连结部包括：与第一支撑梁及第二支撑梁排列而沿第二方向配置的第一部分、和与第一部分和第一可动电极部连接并沿第一方向配置的第二部分。
物理量传感器惯性测量装置

[发明专利]物理量传感器及惯性测量装置-CN202211317024.0在审
发明人： 田中悟 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2022-10-26 - 公布日： 2023-05-05 - 主分类号： G01P15/08 文献下载
摘要：本发明提供物理量传感器及惯性测量装置，能够同时实现小型化和高精度化。物理量传感器包括：设置于基板的第一固定电极部及第二固定电极部；以可动电极与第一固定电极部的固定电极对置的方式设置的第一可动电极部；以可动电极与第二固定电极部的固定电极对置的方式设置的第二可动电极部；固定于基板的第一固定部及第二固定部；一端与第一固定部连接的第一支撑梁；连结第一支撑梁的另一端与第一可动电极部的第一连结部；一端与第二固定部连接的第二支撑梁；以及连结第二支撑梁的另一端与第二可动电极部的第二连结部。在从与基板正交的第三方向俯视时，第一可动电极部、第二固定部、第一固定部、第二可动电极部按此顺序沿第一方向排列配置。
物理量传感器惯性测量装置

[发明专利]物理量传感器及其设备、复合传感器设备和电子设备-CN201910251468.0有效
发明人： 田中悟 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2019-03-29 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： G01P15/125 文献下载
摘要：一种物理量传感器及其设备、复合传感器设备和电子设备，具有优异的检测灵敏度。物理量传感器包括：基板；与基板相对的可动体；固定于基板的固定部；连接可动体和固定部的支承梁。另外，可动体能够将支承梁作为旋转轴而进行位移，在俯视时，可动体包括相对于旋转轴位于第二方向的一侧的第一质量部和位于另一侧的第二质量部。另外，第一质量部以及第二质量部分别具有贯通可动体并且开口形状为正方形状的多个贯通孔。另外，将阻尼设为C、将阻尼的最小值设为Cmin时，满足C≤1.5×Cmin。
物理量传感器及其设备复合电子设备

[发明专利]惯性传感器、电子设备以及移动体-CN202010572531.3有效
发明人： 田中悟 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2020-06-22 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： G01P15/18 文献下载
摘要：一种惯性传感器、电子设备以及移动体。所述惯性传感器具有：基板；可动体，绕摇动轴摇动；以及电极，配置于基板。可动体具有设置为夹着摇动轴的第一可动部以及第二可动部，第一可动部具有：对称部，与第二可动部相对于摇动轴对称；以及非对称部，位于比对称部离摇动轴更远侧。电极具有：第一检测电极，与对称部重叠；以及第一虚设电极，与可动体为同电位，且与对称部以及非对称部重叠。对称部具有：第一开口，设置于与第一检测电极重叠的第一部分；以及第二开口，设置于与第一虚设电极重叠的第二部分。并且，第一开口相对于第一部分的开口率比第二部分相对于第二开口的开口率小。
惯性传感器电子设备以及移动

[发明专利]物理量及复合传感器、惯性测量单元、电子设备及移动体-CN202210946801.1在审
发明人： 田中悟 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2018-08-29 - 公布日： 2022-11-11 - 主分类号： G01P15/08 文献下载
摘要：一种物理量及复合传感器、惯性测量单元、电子设备及移动体，抗冲击性优异且提高了可靠性。物理量传感器具备：可动体，包括梁部、与梁部连接并沿与梁部交叉的交叉方向设置的连结部以及与连结部连接的第一、第二质量部；第一、第二固定电极，设置于支承基板上，与第一、第二质量部相对；以及突起，设置于设有第一、第二固定电极的区域，从支承基板朝向第一、第二质量部突出，在交叉方向上，当将从连结部与第一、第二质量部的连接位置到第一、第二质量部的与梁部相反一侧的端部的距离设为L，且将从突起到第一、第二质量部的与梁部相反一侧的端部的距离设为L1时，距离L1为0.18L以上0.88L以下。
物理量复合传感器惯性测量单元电子设备移动

[发明专利]惯性传感器、电子设备以及移动体-CN202010579928.5有效
发明人： 田中悟 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2020-06-23 - 公布日： 2022-10-25 - 主分类号： G01P15/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种惯性传感器、电子设备以及移动体。惯性传感器具有基板、绕摆动轴摆动的可动体以及配置于基板的电极。可动体具有隔着摆动轴设置的第一可动部以及第二可动部，第一可动部具有相对于摆动轴与第二可动部对称的对称部以及位于比对称部距离摆动轴更远的一侧，并且与第二可动部非对称的非对称部。电极具有与对称部重叠的第一检测电极以及与对称部以及非对称部重叠且与可动体为相同电位的第一虚拟电极。并且，对称部与第一虚拟电极的分开距离大于对称部与第一检测电极的分开距离。
惯性传感器电子设备以及移动

[发明专利]物理量传感器、物理量传感器装置、电子设备及移动体-CN202210498536.5在审
发明人： 田中悟 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2017-12-04 - 公布日： 2022-08-12 - 主分类号： G01P15/125 文献下载
摘要：提供电极指难破损且具有优异的耐冲击性的物理量传感器、物理量传感器装置、电子设备及移动体。包括：固定电极部、能在X轴方向上位移的可动部和设于可动部的可动电极部。固定电极部包括沿Y轴方向排列的第一、第二固定电极部，第一固定电极部包括从第一主干部向Y轴方向两侧延伸的多个第一固定电极指，第二固定电极部包括从第二主干部向Y轴方向两侧延伸的多个第二固定电极指。可动电极部包括在Y轴方向上排列的第一可动电极部和第二可动电极部，第一可动电极部包括位于第一主干部的Y轴方向的两侧且与第一固定电极指相对的多个第一可动电极指，第二可动电极部包括位于第二主干部的Y轴方向的两侧且与第二固定电极指相对的多个第二可动电极指。
物理量传感器装置电子设备移动

[发明专利]惯性传感器、电子设备和移动体-CN202010739324.2有效
发明人： 田中悟 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2020-07-27 - 公布日： 2022-08-09 - 主分类号： G01P15/125 文献下载
摘要：惯性传感器、电子设备和移动体。惯性传感器具有：基板；可动体，绕沿着Y轴的摆动轴摆动；检测电极，设置于所述基板，在从与所述Y轴正交的Z轴方向俯视时与所述可动体重叠，在所述检测电极与所述可动体之间形成静电电容；露出部，设置在所述检测电极的内侧，供所述基板的所述可动体一侧的面露出；突起，在从所述Z轴方向俯视时与所述可动体重叠，并从所述基板的所述露出部向所述可动体一侧突出设置；以及覆盖电极，设置在所述突起的顶部，所述覆盖电极与所述可动体为等电位。
惯性传感器电子设备移动

[发明专利]物理量传感器、物理量传感器装置、电子设备以及移动体-CN201810963512.6有效
发明人： 田中悟 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2018-08-22 - 公布日： 2022-08-09 - 主分类号： G01P15/125 文献下载
摘要：本申请提供具有优异的耐冲击性的物理量传感器、物理量传感器装置、电子设备以及移动体。本发明的物理量传感器包括基板、固定于基板的固定部、能够相对于固定部在第一方向上进行位移的可动部、设置于可动部的可动电极部、固定于基板并与可动电极部在所述第一方向上相对配置的固定电极部、以及限制可动部在第一方向上的可动范围的限制部。可动部包括配置于所述第一方向上的一侧的第一外缘部和配置于另一侧的第二外缘部。限制部包括与第一外缘部隔开间隙而配置的第一限制部以及与第二外缘部隔开间隙而配置的第二限制部中至少任一方。
物理量传感器装置电子设备以及移动

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