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- [发明专利]一种金刚石涂层工具-CN201910590731.9有效
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王鸿翔
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江苏电子信息职业学院
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2019-07-02
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2023-10-20
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C23C16/27
- 本发明公开了一种金刚石涂层工具,涉及化工领域,包括底座,所述底座的上表面连接有箱体,箱体转动连接有匹配设置的密封盖,且箱体的底部连通的排气管,所述箱体内连接有用于固定基体的夹持机构,且底座上安装有用于驱动夹持机构转动的驱动机构;本发明通过驱动机构带动被夹持机构夹持固定的基体慢速均匀转动,使得基体与气源的接触更加均匀,使得基体上涂层生长的厚度更加均匀,提高金刚石涂层的质量,且有效的降低由于基体表面不平造成的金刚石涂层生长不均匀的问题,提高装置的适用范围;本发明中的进气机构带有稳流的功能,从而可以缓冲气源流速的波动,使得气源以稳定的速度进入箱体内,进一步有利于基体上涂层的均匀生长。
- 一种金刚石涂层工具
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