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[发明专利]超快激光并行加工系统-CN202310901375.4在审
发明人：付强;赵全忠;钱静;王关德 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2023-07-21 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： B23K26/046 文献下载
摘要：一种超快激光并行加工系统，包括激光器、光束传输系统和光束预整形系统，还包括光束时空调制系统和光束实时调制软件，所述的光束时空调制系统包括反射镜、聚焦镜、空间光调制器，所述的光束实时调制软件作用于所述的光束时空调制系统上，通过所述的光束时空调制系统对激光光束进行时空调制,空间聚焦用于调制光束的静态特性，调制光束峰值光强和累积能量，时间聚焦用于调制光斑的动态特性，调制光斑的动态位移和变形，经过调制的激光光束到达材料表面，实现对材料的加工。本发明能实现时空同步聚焦，空间聚焦用于调制光束的静态特性，调制光束峰值光强和累积能量，时间聚焦用于调制光斑的动态特性，调制光斑的动态位移和变形。
激光并行加工系统

[发明专利]极紫外光刻光源产生稳定液滴靶的调控系统和方法-CN202310462841.3在审
发明人：孙海轶;王关德;彭凯伦;邹家杰;彭宇杰;冷雨欣 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2023-04-26 - 公布日： 2023-08-08 - 主分类号： H05G2/00 文献下载
摘要：一种极紫外(EUV)光刻光源产生稳定液滴靶的调控系统和方法，包括储液器、喷嘴、压电陶瓷、驱动器。本发明用于极紫外(EUV)光刻光源中周期性液滴靶的稳定产生，本发明具有调控方法易于操作，可调节范围大，适用于EUV光刻光源中稳定液滴的产生。
紫外光刻光源产生稳定液滴靶调控系统方法

[发明专利]小型流体循环系统及产生循环流体的方法-CN202310462821.6在审
发明人：孙海轶;彭凯伦;邹家杰;王关德;彭宇杰;冷雨欣 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2023-04-26 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： H05G1/02 文献下载
摘要：一种小型流体循环系统及产生循环流体的方法，系统包括泵体、背压阀、压力传感器、压力表、过滤器、质量流量计、缓冲罐、截止阀、喷嘴、截止阀、具有开关的储液罐、具有开关的氮气瓶和具有开关的氩气瓶。流体在泵体的作用下做循环往复流动，液柱直径通过所述的喷嘴的直径调节，流量和速度通过所述的背压阀调节，质量流量计可实时显示管道中流体的实际流量。本发明具有安装方便、集成化程度高、射流的直径、速度和流量调节方便、操作简单的特点，适用于不同波段等离子体光的发射，及相关的科学研究或平台开发。
小型流体循环系统产生循环方法

[发明专利]一种激光扫描系统-CN202211563083.6在审
发明人：付强;赵全忠;钱静;王关德 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2022-12-07 - 公布日： 2023-03-28 - 主分类号： B23K26/042 文献下载
摘要：本发明涉及一种激光扫描系统，用于激光扫描加工及激光检测，主要提高激光扫描精度和一致性。本发明包括激光发生器、扫描单元、激光聚焦透镜、激光聚焦点位置检测单元、实时扫描矫正单元，所述的激光发生器发出的激光束通过所述扫描头中偏转机构形成特定形状，光束经过所述激光聚焦镜聚焦于工作面上，所述激光聚焦点位置检测单元检测激光聚焦点的实际位置，所述实时扫描矫正单元计算激光聚焦点的实际位置与理论位置的偏差，并控制补偿振镜扫描单元的扫描位置以提高激光扫描精度。
一种激光扫描系统

[发明专利]超快激光微纳加工平台焦点的确认方法-CN202110678524.6在审
发明人：赵全忠;夏照远;王关德;钱静 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2021-06-18 - 公布日： 2022-12-20 - 主分类号： B23K26/04 文献下载
摘要：一种超快激光微纳加工平台焦点的确认方法，该方法包括：确认成像焦平面的z坐标；估计并设置测量范围以及测量精度；执行超快激光打样；通过对比识别出加工效果最好的点，并获得该点的离焦量；在激光加工前设置好离焦量，执行激光加工。本发明能准确地找到激光焦点位置，具有查询方便、省时、可靠的特点。
激光加工平台焦点确认方法

[实用新型]一种金属粉末除尘装置-CN202220088520.2有效
发明人：赵春禄;胡万谦;李振民;赵全忠;王关德;钱静 -专利权人：江西宝航新材料有限公司
申请日： 2022-01-13 - 公布日： 2022-09-13 - 主分类号： B01D46/10 文献下载
摘要：本实用新型提供一种金属粉末除尘装置，包括第一过滤仓和第二过滤仓，第一过滤仓的一侧开设有集尘口，第一过滤仓的另一侧连通第二过滤仓，第一过滤仓与第二过滤仓的连接处设有第一风机，第一过滤仓的内部倾斜设有第一过滤板，第一过滤仓的底部设有一级排尘口；第二过滤仓的内部倾斜设有第二过滤板，第二过滤仓的底部设有二级排尘口，第二过滤板的滤孔小于第一过滤板的滤孔；第二过滤仓相对第一风机的另一侧设有第二风机、罩设在第二风机上的集尘罩、以及连接集尘罩的三级排尘管。通过对铝材粉末三级过滤，提升除尘效果，解决了现有技术中的除尘装置除尘效果差、以及除尘处理后收集的铝材粉末粒径不同，不能直接回收利用的技术问题。
一种金属粉末除尘装置

[实用新型]一种粉末包装设备-CN202220132412.0有效
发明人：赵春禄;胡万谦;李振民;赵全忠;王关德;钱静;刘中国 -专利权人：江西宝航新材料有限公司
申请日： 2022-01-18 - 公布日： 2022-08-12 - 主分类号： B65B31/02 文献下载
摘要：本实用新型提供一种粉末包装设备，包括手套箱本体、保护组件、送料组件及自动装料组件，保护组件包括设于手套箱本体一侧的抽气机构及进气机构，送料组件包括设于手套箱本体上侧的储料桶及设于储料桶开口处的电磁阀，自动装料组件包括放置架及设于放置架上的称重传感器，称重传感器与电磁阀电性连接。本实用新型中的粉末包装设备，通过设置保护组件对手套箱内部充入惰性气体进行保护，使粉体材料的包装全程处于惰性气体的保护内，保证了粉体质量，通过设置送料组件进行下料，通过设置自动装料组件，当称重传感器感应到包装袋或包装桶内的粉体重量达到预设值后，给电磁阀发送信号，使电磁阀闭合输送管，完成包装，提高包装效率。
一种粉末包装设备

[实用新型]一种惰性气体回收装置-CN202220064983.5有效
发明人：赵春禄;胡万谦;李振民;赵全忠;王关德;钱静;刘奋成 -专利权人：江西宝航新材料有限公司
申请日： 2022-01-11 - 公布日： 2022-06-24 - 主分类号： B03C3/017 文献下载
摘要：本实用新型提供一种惰性气体回收装置，用于回收雾化系统内的惰性气体，包括废气储存罐，所述雾化系统的一侧连接所述废气储存罐，废气储存罐的一侧连接第一过滤仓，第一过滤仓的一侧连接第一储气仓，第一储气仓的一侧连接加热干燥器，加热干燥器的一侧连接第二储气仓，第二储气仓的一侧连接低压加热器，低压加热器的一侧连接第二过滤仓，第二过滤仓的一侧连接第三储气仓，第三储气仓的一侧连接制冷机，制冷机的一侧连接储气罐。通过废气储存罐储存雾化系统内排出的废气，废气通过过滤颗粒粉尘，去除水蒸气，并过滤活性气体后，经制冷机将剩余惰性气体压缩冷却并储存于储气罐内，实现了惰性气体的循环利用，降低了生产成本。
一种惰性气体回收装置

[发明专利]一种测量超快激光微加工瞬态温度的方法-CN202210161506.5在审
发明人：赵全忠;杨翃勃;钱静;王关德 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2022-02-22 - 公布日： 2022-04-19 - 主分类号： B23K26/00 文献下载
摘要：一种测量超快激光微加工瞬态温度的方法，该系统包括超快激光微加工装置、加工采集高精度同步系统、光谱采集系统及样品形貌观测系统。本发明加工采集高精度同步系统使得材料加工开始的时间零点得到精确校准，利用超快激光微加工装置对材料内部进行激光超快脉冲加工，然后被光谱采集系统采集得到加工开始后任意时刻(纳秒量级)的黑体辐射谱，通过作图来计算该时刻的温度。研究过程中还可以利用形貌观测系统观察加工部位形貌，从而完成超快激光加工后材料温度的测量的研究工作。
一种测量激光加工瞬态温度方法

[发明专利]一种用于极紫外光刻光源中喷嘴的清洗装置与方法-CN202111342506.7在审
发明人：孙海轶;王成;王关德;李学红;邹家杰;彭凯伦;王天泽;冷雨欣 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2021-11-12 - 公布日： 2022-03-04 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种用于极紫外(EUV)光刻光源中喷嘴的清洗装置，包括：供清洗液放置的清洗罐和清洗皿，管道、过滤器、第一阀门、气压控制装置、气瓶、第二阀门和负压泵；采用超纯水或者易挥发的清洁液体清洗喷嘴，清洗过程采用正压和负压相结合的方式，使得喷嘴内的污染物倒吸到清洗罐中。本发明安装方便，易于操作，适用于EUV光刻光源中微小喷嘴的前期清洗。
一种用于紫外光刻光源喷嘴清洗装置方法

[发明专利]基于图像颜色识别与图像变换的激光着色方法-CN202111233570.1在审
发明人：赵希明;赵全忠;王关德;钱静 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2021-10-22 - 公布日： 2022-02-01 - 主分类号： B23K26/70 文献下载
摘要：一种基于图像颜色识别与变换的激光着色方法，通过彩色相机获取材料激光着色位图相片，经计算机分析后分别得到每个着色区域颜色RGB值与激光加工参数的对应关系，并形成训练数据组输入神经网络中进行非线性拟合，完成训练的神经网络能够实现对激光加工参数与颜色RGB值的预测；彩色相机采集现实图案，经过图像颜色识别与变换方法处理后可以利用神经网络引导激光加工系统复现。
基于图像颜色识别变换激光着色方法

[发明专利]一种用于EUV光源中液滴靶的一体化锡原料罐装系统-CN202010965090.3有效
发明人：孙海轶;王成;王关德;邹家杰;李学红;刘科;张宗昕;齐荣;冷雨欣 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2020-09-15 - 公布日： 2021-09-07 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明一种用于EUV光源中液滴靶的一体化锡原料罐装系统,基于极紫外(EUV)光源中液滴靶对锡材料的要求，主要由熔锡罐、晶纤维加热腔、真空泵、液位开关、热电偶、氮气瓶、储液罐、废液罐、高温球阀及管道组件、加热套、加热带、过滤器、自动控制装置等构成，集熔锡、过滤与罐装于一体，采用电阻丝加热方式熔锡，整个系统与氮气保护气氛及真空泵相连。通过调节熔锡罐内的气体压力，熔化后的锡液经过滤后流入储液罐，整个过程采用真空熔炼，惰性气体保护下罐装，极大程度地避免了氧化。此外，通过控制熔锡罐内的液位，保证最后1cm锡液不流入储液罐中，从而进一步降低锡液中的氧化物含量。该装置集成化程度高，操作安全方便，适用于EUV光源锡原料的罐装。
一种用于 euv 光源中液滴靶一体化原料罐装系统

[实用新型]一种用于EUV光源的熔融液滴发生装置-CN202120033360.7有效
发明人：孙海轶;王成;王关德;李学红;邹家杰;刘科;冷雨欣;翟腾飞 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所;山东爱特机电技术有限责任公司
申请日： 2021-01-07 - 公布日： 2021-08-03 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本实用新型提供一种用于EUV光源的熔融液滴发生装置，其中所述的本体外壁设导热油输入口及导热油输出口；加热腔内填充导热油，电加热棒延伸至导热油内；内腔内安装内腔体，顶盖内腔体顶部连接，固定帽安装在内腔体内，固定帽底部固定压紧弹簧，压紧弹簧底部为过滤帽，过滤帽底部连通输出通道，输出通道与高速喷头连接，高速喷头与压紧螺母连接，压紧螺母固定在本体底部；优点为：本实用新型过滤帽用于去除金属杂质；密封圈及压紧弹簧维持熔融装置在高温高压环境下使用，内腔体实现金属的加热、熔融及传输；加热腔用于传输导热介质；电加热棒维持熔融装置整体的实验温度环境；高速喷头按要求喷射出实验用金属液滴。
一种用于 euv 光源熔融发生装置

[发明专利]一种用于EUV光源的熔融液滴发生装置-CN202110017947.3在审
发明人：孙海轶;王成;王关德;李学红;邹家杰;刘科;冷雨欣;翟腾飞 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所;山东爱特机电技术有限责任公司
申请日： 2021-01-07 - 公布日： 2021-03-23 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供一种用于EUV光源的熔融液滴发生装置，其中所述的本体外壁设导热油输入口及导热油输出口；加热腔内填充导热油，电加热棒延伸至导热油内；内腔内安装内腔体，顶盖内腔体顶部连接，固定帽安装在内腔体内，固定帽底部固定压紧弹簧，压紧弹簧底部为过滤帽，过滤帽底部连通输出通道，输出通道与高速喷头连接，高速喷头与压紧螺母连接，压紧螺母固定在本体底部；优点为：本发明过滤帽用于去除金属杂质；密封圈及压紧弹簧维持熔融装置在高温高压环境下使用，内腔体实现金属的加热、熔融及传输；加热腔用于传输导热介质；电加热棒维持熔融装置整体的实验温度环境；高速喷头按要求喷射出实验用金属液滴。
一种用于 euv 光源熔融发生装置

[发明专利]皮秒激光在玻璃中诱导析出量子点的方法-CN202011010180.3在审
发明人： 王关德;沈丹阳;赵全忠;钱静 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2020-09-23 - 公布日： 2021-01-01 - 主分类号： C03C3/085 文献下载
摘要：一种利用皮秒激光在玻璃中诱导析出量子点的方法，利用脉冲宽度为皮秒量级、能量密度大于或等于透明介质量子点产生阈值的超短脉冲激光束，通过其显著的热效应在透明材料内部诱导产生量子点。
激光玻璃诱导析出量子方法

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