本发明公开了一种精确高效的太赫兹分支波导定向耦合器建模方法,该方法利用模式匹配法(mode matching method,MMM)将分支结构不连续性所引入的对耦合器场分布造成的影响考虑在内,同时结合奇偶模分析法(odd and even mode analysis),进一步简化了推导过程,最终得到了一个精简、精确的耦合度计算公式,并由公式得到了一个新的结论:对于分支波导定向耦合器,当工作频率确定时,其耦合度由其分支宽度的和所决定。本发明的建模方法具有简洁的特点,与传统建模方法相比,可大大缩短建模的时间,提高建模的效率。同时,本发明的建模方法具有普适性的特点。