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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]用于检查基板的表面的测量装置和测量系统-CN200680035452.7无效
发明人：弗朗茨·德罗布纳;特奥多罗·龙鲍尔 -专利权人：西门子公司
申请日： 2006-09-19 - 公布日： 2008-09-24 - 主分类号： G01B13/16 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于通过测量头(110)来检查基板(190)的表面的测量装置，该测量头具有用于检测表面的传感器(111)和设置在传感器旁侧的气动件(112)，该气动件包括入口(115)和至少一个向下取向的出口(114)。此外，测量装置还具有：面定位系统(220)，其被设置用来将测量头(110、210)精确地定位在基板(190)之上的x－y平面内；以及压力空气生成装置(250)，其与入口(215)气动地耦合，从而在用压力空气加载气动件(112、212)时，测量头(110、210)可以预设的高度定位在基板(190)上方并且在气垫上滑动。此外，本发明还涉及一种具有多个前述类型的测量装置的测量系统，该系统这样地彼此相对设置，即各个传感器形成测量行。
用于检查表面测量装置系统

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共 1 条

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