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- [外观设计]便携式移动电源-CN202330213779.5有效
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王强;李保旺;熊启龙;杜玲
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蜂巢能源科技股份有限公司
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2023-04-18
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2023-10-20
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13-02
- 1.本外观设计产品的名称：便携式移动电源。2.本外观设计产品的用途：用于为居家或户外、野营提供电源，也可以作为车辆的应急启动电源等储能共享电源使用，可以给车载冰箱，无人机，数码相机等各类电子产品供电，也可以照明、给轮胎充气、给电瓶充电，以及家庭应急供电，属于发电、配电和变电设备，实现直流转交流供一般电器作为移动电源使用。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。
- 便携式移动电源
- [实用新型]一种Pellicle膜盒-CN202320834993.7有效
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熊启龙;彭伟
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深圳清溢光电股份有限公司
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2023-04-14
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2023-10-17
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G03F1/64
- 本实用新型公开了一种Pellicle膜盒，包括周向设置在膜盒底部的若干个支撑组件和设置在膜盒四个角的固定组件，Pellicle膜的膜框通过所述支撑组件支撑，并通过固定组件固定，所述固定组件与Pellicle膜的膜框插接固定；所述支撑组件包括垫块和设置在所述垫块上的凸块，所述垫块的外侧边设置有一挡块，所述挡块的长度与所述垫块的长度相适应。Pellicle膜放置在膜盒中时，支撑组件的设置起到将膜盒的支撑部位垫高的作用，进而降低膜框与膜盒的接触面积，从而减低膜框与膜盒的粘黏性，便于将Pellicle膜从膜盒中取出，提升出货效率。在从膜盒中取出Pellicle膜的过程中会存在膜框前倾75°的情况，通过设置挡块对膜框进行限位，避免在膜框倾斜时发现移动，提升取膜的稳定性。
- 一种pellicle膜盒
- [实用新型]一种可翻转的掩膜版检查装置-CN202320870105.7有效
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熊启龙;蔡舫
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深圳清溢光电股份有限公司
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2023-04-18
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2023-09-19
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G03F1/84
- 本实用新型公开了一种可翻转的掩膜版检查装置，包括安装底座和安装装置，安装装置包括连接底架和安装机构，连接底架上连接有翻转驱动装置，翻转驱动装置包括穿过连接底架的转轴，转轴与连接底架固接并转动安装在安装底座上，转轴一端连接有蜗轮减速机；连接底架上设置有初始限位固定组件和翻转限位固定组件，安装底座上设置有限位固定器；限位固定器与初始限位固定组件配合时，连接底架呈水平状态；限位固定器与翻转限位固定组件配合时，连接底架呈翻转倾斜状态。本实用新型的可翻转的掩膜版检查装置，解决现有技术中掩膜版检查时中间部位难以平视观察检查的问题，解决现有技术中掩膜版需要搬运至检查台上的问题。
- 一种翻转掩膜版检查装置
- [实用新型]一种掩膜版抬版治具-CN202320834992.2有效
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熊启龙;王亚腾
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深圳清溢光电股份有限公司
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2023-04-14
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2023-09-12
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B65G7/12
- 本实用新型涉及掩膜版用治具技术领域，公开了一种掩膜版抬版治具，包括支撑梁架、螺纹连接在支撑梁架上的锁紧螺母以及通过连接架转动设置在支撑梁架上的卡爪组件，所述卡爪组件设置有四组，所述卡爪组件包括持握部，所述支撑梁架的外伸端均设置有所述持握部，人员通过握紧所述持握部，使得卡爪组件互相靠近且夹紧彼此之间的掩膜版，所述卡爪组件在锁紧螺母的限位下不能够向上活动；松开持握部后，卡爪组件松开掩膜版且均向远离掩膜版的方向移动。本实用新型，2名人员即可轻松完成对于掩膜版的下料操作，同时移动过程中掩膜版夹持稳固不易发生碰撞以至于损坏。
- 一种掩膜版抬版治具
- [发明专利]一种半色调掩膜版透过率测量方法-CN202310625072.4在审
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汪春杨;熊启龙
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合肥清溢光电有限公司
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2023-05-30
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2023-09-08
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G01N21/59
- 本发明公开了一种半色调掩膜版透过率测量方法，半色调掩膜版上，一个视野范围内，具有相邻的全透区、不透区和半透区，测量方法为:首先，在半色调掩膜版两侧分别无接触的设置激光发射器和激光接收器；然后仅打开激光发射器，使得激光发射器发射的激光穿过半透区；再然后打开激光接收器，激光接收器分别获得全透区、不透区和半透区透过的激光信号，分别记为A、B、C；最后计算半透区的透过率T，计算公式为：T＝[(C‑B)/(A‑B)]×100％；本发明的半色调掩膜版透过率测量方法中测量操作简单快速，全程无接触测量，能够满足半色调掩膜版高精度加工要求。同时采用光电信号进行测量，测量精度高，对测量工具和环境要求较低。
- 一种色调掩膜版透过测量方法
- [发明专利]一种掩膜版检查机精度校准样片-CN202310428810.6在审
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熊启龙;宋恺
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深圳清溢光电股份有限公司
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2023-04-20
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2023-08-29
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G03F1/84
- 本发明公开了一种掩膜版检查机精度校准样片，包括基片，基片上设置有位置校准区域和精度校准区域；精度校准区域内设置有对比图形单元和缺陷图形单元；对比图形单元内呈横纵排列状设置有若干掩膜版样片对比图形，对比图形单元内同一行中掩膜版样片对比图形一致，仅尺寸增减；缺陷图形单元内呈横纵排列状设置有若干掩膜版样片缺陷图形，缺陷图形单元内同一行中掩膜版样片缺陷图形一致，仅尺寸增减；对比图形单元和缺陷图形单元内同一行、列位置的掩膜版样片对比图形和掩膜版样片缺陷图形一致，且尺寸相同，仅掩膜版样片缺陷图形内增设缺陷特征；本发明的掩膜版检查机精度校准样片，解决背景技术中提出的满足对掩膜版检查机精度的校准和缺陷的全检查。
- 一种掩膜版检查精度校准样片
- [发明专利]一种半色调掩膜版的制作方法-CN202310428811.0在审
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熊启龙;徐兵
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深圳清溢光电股份有限公司
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2023-04-20
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2023-08-29
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G03F1/32
- 本发明公开了一种半色调掩膜版的制作方法，光刻机在半色调掩膜版上刻写第一层图形和对位Mark，并记录第一层图形初始位置；半色调掩膜版再次安装至光刻机内，光刻机再次获取半色调掩膜版上刻写的第一层图形和对位Mark；将第一层图形和对位Mark信号发送至光刻机Mark识别系统，获得安装半色调掩膜版上第一层图形的偏转位置，将偏转位置与初始位置进行比较，获得再次上料的半色调掩膜版上第一层图形相对初始位置的偏转角度β；将第二层图形区进行旋转β角度，获得第二层刻写图形区；依据获得的第二次刻写图形待加工半色调掩膜版上刻写第二层图形；本发明半色调掩膜版的制作方法，提高了半色调掩膜版第二次蚀刻图形蚀刻精度以及与第一层图形的套合精度。
- 一种色调掩膜版制作方法
- [实用新型]一种适用于小尺寸掩膜版的固定治具-CN202320367789.9有效
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李文;熊启龙;徐智俊;徐兵;杜晓威
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合肥清溢光电有限公司
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2023-03-02
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2023-08-22
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B25J15/06
- 本实用新型属于光刻技术领域，公开了一种适用于小尺寸掩膜版的固定治具，包括对称设置的第一夹爪、可移动的第二夹爪和连接块，待固定掩膜版置于第一夹爪和第二夹爪之间，并被第一夹爪和第二夹爪由两相对的侧面固定；第一夹爪朝向待固定掩膜版的侧面上设置有第一导气槽，第一导气槽的两内端面和两内侧面均不超过待固定掩膜版，第一导气槽的一内侧面上穿透有若干第一导气孔，第一导气槽靠近连接块的内端面上穿透有第二导气孔，第二导气孔通过第一导气管连接有抽真空设备；第一夹爪上穿透有第一导气孔的外表面和待固定掩膜版与放置台面接触的表面共面；本实用新型的固定治具，使得小尺寸的掩膜版能够快速在台面上完成放版和固定，操作简单可靠。
- 一种适用于尺寸掩膜版固定
- [实用新型]一种掩膜版远程检查装置-CN202220449642.X有效
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张华超;熊启龙
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合肥清溢光电有限公司
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2022-03-02
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2022-07-15
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G03F1/84
- 本实用新型公开了一种掩膜版远程检查装置，包括实现掩膜版直立固定的立版装置和朝向立版装置设置的可移动相机机构，立版装置包括可调版架和驱动可调版架旋转实现掩膜版翻面的翻面装置；可调版架包括置于直立状的掩膜版底部的版托以及分别置在直立状的掩膜版两侧的固定版夹和移动版夹，移动版夹相对固定版夹移动；可移动相机机构包括CCD高清相机本体和相机安装座，相机安装座包括与CCD高清相机本体连接的水平移动座和连接在水平移动座上的升降座，升降座和水平移动做分别实现CCD高清相机本体在竖直和水平方向上的移动；本实用新型的掩膜版远程检查装置，旨在解决在清洗后，人员对掩膜版进行表面检查时，对掩膜版造成污染和破坏的隐患。
- 一种掩膜版远程检查装置
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