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[实用新型]一种新型扩散泵阀盖机构-CN202220517613.2有效
发明人：赵艺;焦艳璐 -专利权人：山东省宝丰镀膜有限公司
申请日： 2022-03-07 - 公布日： 2022-07-12 - 主分类号： F04F9/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及镀膜设备技术领域，具体地说，涉及一种新型扩散泵阀盖机构。包括大阀盖和用于驱动大阀盖升降的大阀盖驱动油缸；所述大阀盖的上方设置有若干个小阀盖，各个小阀盖以大阀盖的圆心为中心呈圆形阵列排布；每个小阀盖对应设置有驱动其升降的小阀盖驱动油缸。本实用新型为一泵多盖的结构方式，多个小阀盖盖在大阀盖上，大阀盖覆盖在扩散泵口上，均分负载，同时，依靠提升阀盖高度来提升流导，使得流导更加多元化，使扩散泵的抽空能力也得到极大的释放。
一种新型扩散泵阀盖机构

[实用新型]高真空卷绕镀膜机收放卷双电机机构-CN202122693412.6有效
发明人：袁风磊;孙效刚;焦艳璐 -专利权人：山东省宝丰镀膜有限公司
申请日： 2021-11-05 - 公布日： 2022-05-13 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本实用新型涉及镀膜设备技术领域，具体地说，涉及一种高真空卷绕镀膜机收放卷双电机机构。包括第一电机、第二电机、输入轴和离合器；所述第一电机的动力输出端通过联轴器与输入轴相连接；所述输入轴上安装有能在输入轴上自由转动的连接齿轮，所述连接齿轮上通过胀套连接有第一同步带轮；所述输入轴上还固定安装有输入轴齿轮；所述第二电机固定的动力输出端上固定安装有第二同步带轮；所述第一同步带轮与第二同步带轮通过同步带传动连接。本实用新型采用一大一小两种功率型号的电机和离合器的组合，根据膜卷选用电机，改变输出功率，实现减少能耗、降低成本的目的，提高了产品的市场竞争力，具有良好的经济效益。
真空卷绕镀膜机收放卷双电机机构

[实用新型]一种真空镀膜机的抽真空系统-CN201920081089.7有效
发明人： 焦艳璐;袁风磊;赵艺 -专利权人：青州市宝丰镀膜科技有限公司
申请日： 2019-01-17 - 公布日： 2019-10-01 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本实用新型涉及真空镀膜技术领域，具体地说，涉及一种真空镀膜机的抽真空系统。包括通过管道与真空室连接的抽空机构、真空检测机构和PLC控制系统；所述抽空机构包括机械泵、第一罗茨泵、第二罗茨泵和扩散泵，其中，所述机械泵、第一罗茨泵和第二罗茨泵通过管道顺序连接与真空室之间形成一条预抽空气路，所述机械泵、第一罗茨泵和扩散泵通过管道顺序连接与真空室之间形成一条抽真空气路；所述扩散泵上装配有调功器，所述的调功器连接并受控于PLC控制系统。本实用新型在扩散泵上加装调功器，按PLC设定值随时调节扩散泵的功率，既可以实现真空状态的维持，又可以达到省电的效果，降低了能耗，同时降低了生产成本。
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