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[实用新型]一种无损检测平面物品表面的装置-CN200920245346.2无效
发明人：赵建林;邸江磊;孙伟伟;王倩;焦向阳 -专利权人：西北工业大学
申请日： 2009-11-19 - 公布日： 2010-08-18 - 主分类号： G01N21/88 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种无损检测平面物品表面的装置，其特征在于：激光器的光轴与被测物品的中心轴线呈0.01°～20°角度放置，在激光器的光轴上与被测物品之间设置显微物镜；在被测样品反射光束的中心轴线上依次设置剪切角固定的光楔、凸透镜和线阵CCD；线阵CCD固定于一维方向移动微位移平台上，线阵CCD采集的图像信号输出至计算机，计算机的控制信号输出至一维方向移动微位移平台控制一维方向移动微位移平台的移动。利用线阵CCD推扫方法，可以根据待测样品表面设计相应的微位移平台的移动轨道，沿所述移动轨道推扫得到的散斑图消除了散斑像的离焦现象，从而有效提高了缺陷检测的灵敏度。
一种无损检测平面物品表面装置

[实用新型]一种无损检测非平面物品表面的装置-CN200920245347.7无效
发明人：赵建林;邸江磊;孙伟伟;王倩;焦向阳 -专利权人：西北工业大学
申请日： 2009-11-19 - 公布日： 2010-08-18 - 主分类号： G01N21/88 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种无损检测非平面物品表面的装置，其特征在于：在激光器的光轴上与被测物品之间设置显微物镜；在被测样品反射光束的中心轴线上依次设置剪切角固定的光楔、柱透镜和线阵CCD；线阵CCD固定于二维方向移动微位移平台上，线阵CCD采集的图像信号输出至计算机，计算机的控制信号输出至二维方向移动微位移平台控制二维方向移动微位移平台的移动。利用线阵CCD推扫方法，可以根据待测样品表面设计相应的微位移平台的移动轨道，沿所述移动轨道推扫得到的散斑图消除了散斑像的离焦现象，从而有效提高了缺陷检测的灵敏度。
一种无损检测平面物品表面装置

[实用新型]一种光学无损检测物品表面的装置-CN200920245345.8无效
发明人：赵建林;邸江磊;孙伟伟;王倩;焦向阳 -专利权人：西北工业大学
申请日： 2009-11-19 - 公布日： 2010-08-04 - 主分类号： G01N21/88 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种光学无损检测物品表面的装置，其特征在于：在激光器的光轴上设置扩束准直透镜组；在被测物品反射光束的中心轴线上依次设置分光棱镜、可前后移动的平面反射镜；在与被测物品反射光束的中心轴线垂直的方向上在分光棱镜的两侧分别设置可转动的平面反射镜和带镜头的线阵CCD，且可前后移动的平面反射镜到分光棱镜的距离与可转动的平面反射镜到分光棱镜的距离相等；带镜头的线阵CCD固定在微位移平台上，线阵CCD采集的图像信号输出至计算机，计算机的控制信号输出至微位移平台控制微位移平台的移动。利用线阵CCD推扫，沿所述移动轨道推扫得到的散斑图消除了散斑像的离焦现象，从而有效提高了缺陷检测的灵敏度。
一种光学无损检测物品表面装置

[实用新型]一种无损检测物品表面的装置-CN200920245343.9无效
发明人：赵建林;邸江磊;孙伟伟;王倩;焦向阳 -专利权人：西北工业大学
申请日： 2009-11-19 - 公布日： 2010-08-04 - 主分类号： G01N21/88 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种无损检测物品表面的装置，其特征在于激光器的光轴上设置扩束准直透镜组；在被测物品反射光束的中心轴线上依次设置剪切元件、带镜头的线阵CCD；剪切元件与带镜头的线阵CCD固定在微位移平台上，带镜头的线阵CCD采集的图像信号输出至计算机，计算机的控制信号输出至微位移平台控制微位移平台的移动。利用线阵CCD推扫方法，可以根据待测样品表面设计相应的微位移平台的移动轨道，沿所述移动轨道推扫得到的散斑图消除了散斑像的离焦现象，从而有效提高了缺陷检测的灵敏度。
一种无损检测物品表面装置

[发明专利]一种利用数字剪切散斑干涉进行无损检测的方法及其装置-CN200910219056.5无效
发明人：赵建林;邸江磊;孙伟伟;王倩;焦向阳 -专利权人：西北工业大学
申请日： 2009-11-19 - 公布日： 2010-04-28 - 主分类号： G01N21/88 文献下载
摘要：本发明涉及一种利用数字剪切散斑干涉进行无损检测的方法及其装置，其特征在于将激光束扩束后照射在待测样品的表面上，以线阵CCD扫描得到两束散射光形成的待测样品表面的两个错开的散斑像H1，对待测样品抽真空另一幅图像H2，对抽真空前后的两幅图像H1和H2进行相关运算，得到图像H3；对图像H3采用均值滤波法或中值滤波法进行滤波，当图像H4中出现蝴蝶斑形状的干涉条纹时证明待测样品出现损伤，否则证明待测样品无损。利用线阵CCD推扫方法，可以根据待测样品表面设计相应的微位移平台的移动轨道，沿所述移动轨道推扫得到的散斑图消除了散斑像的离焦现象，从而有效提高了缺陷检测的灵敏度。
一种利用数字剪切干涉进行无损检测方法及其装置