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[发明专利]一种晶圆级玻璃通孔TGV检测及工艺参数优化方法-CN202310694345.0在审
发明人：方艳阳;潘红日;周建红 -专利权人：深圳市圭华智能科技有限公司
申请日： 2023-06-13 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明提供了一种晶圆级玻璃通孔TGV检测及工艺参数优化方法，该方法包括激光诱导孔的检测步骤，蚀刻后TGV通孔的检测步骤，以及工艺参数的优化步骤。本发明的有益效果是：本发明克服了传统显微检测不能通过玻璃顶面检测通孔全貌的弊病，充分借助正在使用的生产设备和检测设备，通过使用便捷的方式制作并检测微孔纵剖面的方法获得了较为完善的检测数据，通过对检测数据的统计学处理，结合实际生产需要对处理过的数据进行优选，即可得出最佳工艺参数。将已确定的最佳工艺参数逐一代入下一轮优化过程，可进一步获得剩余工艺参数的优化，此过程不断循环，最终可获得全部工艺参数的优化，也可以只选择最关注的工艺参数进行优化。
一种晶圆级玻璃 tgv 检测工艺参数优化方法

[实用新型]一种硅片治具-CN202321213683.X有效
发明人：方艳阳;周建红;潘红日 -专利权人：深圳市圭华智能科技有限公司
申请日： 2023-05-18 - 公布日： 2023-10-17 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种硅片治具，包括底板和承托板，底板的内部设有若干风道，底板的上表面设有若干与风道相连通的风孔I；承托板位于底板的上方并与底板固定连接，承托板由耐高温、不含金属成分或含金属成分但受热后不与硅片发生物质交换的材料制成，承托板上设有上下贯通的且与风孔I相互匹配的风孔III，风道通过负压吸风装置提供吸力从而使风孔III吸附硅片，进而将硅片固定于承托板上。本实用新型中硅片的固定方式为真空吸附柔性固定方式，固定效果好，且不易造成硅片的损坏，在太阳能电池激光掺杂SE过程中伴生温度大于100℃时，承托板不与硅片的底部发生物质交换，从而保证硅片的纯度，提高硅片的生产质量，降低报废率，从而也节省了生产成本。
一种硅片

[发明专利]一种用于三维集成封装的玻璃晶圆激光微孔加工设备-CN202310773441.4在审
发明人： 潘红日;张立;周建红 -专利权人：深圳市圭华智能科技有限公司
申请日： 2023-06-28 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： B23K26/382 文献下载
摘要：本发明提供了一种用于三维集成封装的玻璃晶圆激光微孔加工设备及加工方法，设备集成机构、光学、电控、软件四大部分，包括机架、运动组件、与所述运动组件分别连接的光路组件和上下料组件，以及与所述光路组件、所述上下料组件分别连接的电控及操作系统。本发明设备通过组件结构的综合应用，实现了三维集成封装玻璃晶圆激光微孔技术的本质提升，所制作的玻璃微孔孔径小、深径比高、外观形貌好、表面质量光洁、制作微孔阵列效率高。
一种用于三维集成封装玻璃激光微孔加工设备

[发明专利]用于激光精密加工的同轴对焦系统及安装方法、对焦方法-CN202310794198.4在审
发明人：张立;潘红日;周建红 -专利权人：深圳市圭华智能科技有限公司
申请日： 2023-06-30 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： B23K26/064 文献下载
摘要：本发明提供了一种用于激光精密加工的同轴对焦系统及安装方法、对焦方法，系统包括由光源、光栅、CCD、半反射镜、透镜、全反射镜、半反射镜、激光系统、扩束镜、陶瓷电机、物镜、激光位移传感器、待加工件及共轭光路组成的投影成像光路、拍摄取像光路和激光聚焦光路。系统以同轴共轭光路为基础，结合激光位移传感器精准测量，克服了单纯光学测量及图像比较对焦法的不足，实现了高速高精度对焦及高速焦点跟随功能，为存在厚度偏差及表面形变产品的激光加工提供了最佳解决方案。
用于激光精密加工同轴对焦系统安装方法

[发明专利]基于X-ray的晶圆级玻璃通孔TGV检测装置及方法-CN202310777566.4在审
发明人： 潘红日;张立;周建红 -专利权人：深圳市圭华智能科技有限公司
申请日： 2023-06-29 - 公布日： 2023-07-28 - 主分类号： G01B15/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于X‑ray的晶圆级玻璃通孔TGV检测装置及方法，装置包括X‑ray防护装置，在X‑ray防护装置内从下往上依次有X‑ray发射装置、XYR轴运动机构、待检测晶圆基板、相机防护板、电动变焦镜头和相机，X‑ray防护装置内还包括用于带动所述相机上下移动的Z轴运动机构，XYR轴运动机构包括X轴、Y轴和R轴，其中X轴和Y轴的直线导轨搭接成“井”字结构，R轴由中空旋转台构成，中空旋转台上设置有载具接口，中空旋转台侧方配备有真空接口和气路接口，载具中间装有高透明玻璃板，玻璃板与待检测晶圆基板之间设置有破真空装置。本发明装置克服了传统显微检测不能检测通孔全貌的弊病。
基于 ray 晶圆级玻璃 tgv 检测装置方法

[发明专利]一种阻燃纤维板燃烧性能的快速检测方法-CN201710252977.6在审
发明人：韦淇峰;潘红日;全霞芳;李匀曦 -专利权人：广西丰林木业集团股份有限公司
申请日： 2017-04-18 - 公布日： 2017-08-04 - 主分类号： G01N31/12 文献下载
摘要：本发明公开一种阻燃纤维板燃烧性能的快速检测方法，该方法应用氧指数测试仪，采用顶端点燃及燃烧时间为终点判断法，可简单判断阻燃纤维板燃烧性能的阻燃等级，该方法操作简便，检测耗时短，工作效率高，且人工消耗小，大大提高了生产效益和节约产品检测费用，利于定量化比较分析，显著提高了企业阻燃纤维板的生产效益和产品质量，对筛选阻燃剂配方、初步评价木质人造板材的燃烧性能等级起到简便易行、重复性好的作用，是一种简便、易行、重复性好的快速检测及判断方法。
一种阻燃纤维板燃烧性能快速检测方法

[发明专利]一种无醛轻质阻燃纤维板的生产方法-CN201710253884.5在审
发明人：韦淇峰;潘红日;唐运表;全霞芳;李匀曦 -专利权人：广西丰林木业集团股份有限公司
申请日： 2017-04-18 - 公布日： 2017-08-04 - 主分类号： B27N3/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种无醛轻质阻燃纤维板的生产方法，包括木材削片、筛选、蒸煮软化、纤维分离、调施胶、干燥分选、铺装成型、预压、热压、翻板冷却、砂光、检验分等、入库包装工艺步骤，所述调施胶过程中施加有无醛增强胶黏剂，施加量为30.0～50.0kg/m3，在热磨纤维喷放管道上通过齿轮泵进行施加；所述干燥分选过程中施加粉剂阻燃剂，施加量为120.0～135.0kg/m3，在干燥管道下料风机前段离风机约1.0m处，借助风机引力作用吸入并均匀分流至干纤维仓中完成施加。本发明显著提高纤维板的机械胶合强度，又赋予纤维板绿色环保无醛及阻燃防火性能，符合人们对家居材料的安全绿色环保理想追求，而且具有轻质耐水、环保安全、尺寸稳定性好等显著优点。
一种无醛轻质阻燃纤维板生产方法

[实用新型]一种酚醛泡沫夹芯阻燃复合板-CN201521095785.1有效
发明人：韦淇峰;林立省;黄精明;潘红日;唐运表 -专利权人：广西丰林木业集团股份有限公司
申请日： 2015-12-25 - 公布日： 2016-06-29 - 主分类号： B32B27/42 文献下载
摘要：本实用新型公开一种酚醛泡沫夹芯阻燃复合板，包括上面层、下面层以及芯层，其特征在于,以阻燃纤维板作为上面层、下面层，以硬质酚醛泡沫为芯层，阻燃纤维板上面层与硬质酚醛泡沫芯层之间以及阻燃纤维板下面层与硬质酚醛泡沫芯层之间含有酚醛树脂胶或氨基树脂胶粘剂层；所述阻燃纤维板上面层的厚度为1.0-45.0mm，所述阻燃纤维板下面层的厚度为1.0-45.0mm，所述硬质酚醛泡沫芯层的厚度为10.0-450.0mm。所述酚醛树脂胶或氨基树脂胶粘剂层的涂胶量为100kg-150kg/m²。本实用新型在提高其粘结强度的同时，又赋予阻燃复合材料轻质、保温、隔热及防火性能。扩大了酚醛泡沫夹芯阻燃复合板的使用范围。
一种酚醛泡沫阻燃复合板

[发明专利]一种防霉功能纤维板的生产方法-CN201510988270.2在审
发明人：韦淇峰;林立省;黄精明;潘红日 -专利权人：广西丰林木业集团股份有限公司
申请日： 2015-12-25 - 公布日： 2016-05-25 - 主分类号： B27N3/04 文献下载
摘要：本发明公开一种防霉功能纤维板制造方法，包括以下工艺步骤：木材削片、摔选、蒸煮、纤维分离、调施胶、干燥分选、铺装成型、预压、热压、翻版冷却、砂光，所述调施胶步骤中施加防霉型胶粘剂，施加量为150.0-250.0kg/m³，在热磨纤维喷放管道上通过齿轮泵进行施加。防霉型胶粘剂制备方法为：UF或MUF胶粘剂90-98份，防霉剂2-10份。防霉剂的制备方法为：杀菌剂40-50份，防腐剂30-50份，硼砂10-20份。本发明显著提高板材防霉防腐特性，而且延长了板材的使用寿命，扩大了纤维板使用范围，节约木材资源。
一种防霉功能纤维板生产方法

[发明专利]一种激光切割方法-CN201010269439.6无效
发明人：张洪鑫;潘红日;高云峰 -专利权人：深圳市大族激光科技股份有限公司
申请日： 2010-08-31 - 公布日： 2011-04-06 - 主分类号： B23K26/36 文献下载
摘要：本发明提供一种激光切割方法，该方法用于去除注塑件水口和覆膜件水口，其切割路径采用示教编程并记录相关程序的方法，所述的示教编程方法是逐一记录曲线上点的切割头姿态和即时速度，并把这些数据联系起来形成连续的切割运动，示教整条切割路径并保存为CNC程序；其中，规则曲线根据其特征进行示教，不规则曲线则采用短线段拟合法示教。通过采用程序控制工作台运动和激光频率、能量的方式和法向切割的工作模式，除了能够降低对操作人员的要求外，同时也保证了加工的一致性、切口和圆弧衔接的连续性，提高了切割质量，进一步扩大激光切割的适用范围。
一种激光切割方法

[实用新型]激光打标系统-CN201020156755.8有效
发明人：高云峰;尹江祖;杜荣钦;潘红日;李瑜 -专利权人：深圳市大族激光科技股份有限公司
申请日： 2010-04-06 - 公布日： 2010-11-24 - 主分类号： B41J3/407 文献下载
摘要：一种激光打标系统，包括打标组件、机架和控制组件，所述打标组件和控制组件设于所述机架上，所述控制组件控制打标组件对USB装置打标，其特征在于，还包括监测USB装置位置的影像装置，所述影像装置将获得的USB装置位置发送给控制组件，由控制组件调整打标组件的打标位置。上述激光打标系统将激光打标装置和影像装置相结合，由影像装置获取待标记的USB装置位置，实时调整打标位置，对于不同的USB装置，也可以精确地定位USB底座上用于标记的区域。
激光系统

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