专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种用于晶圆芯片探针结构的加工方法-CN202011495796.4有效
  • 田敏;刘韦廷 - 湖南佳禾芯半导体有限公司
  • 2020-12-17 - 2023-09-15 - B81C1/00
  • 本发明公开了一种用于晶圆芯片探针结构的加工方法,步骤一:卷料线材的选用;步骤二:整直及切割;步骤三:热处理加硬;步骤四:一次电镀隔氧化;步骤五:直向式角度研磨;步骤六:微雕蚀刻;步骤七:表面清洗抛光;步骤八:依要求客制折弯探针;步骤九:二次贵金属电镀;步骤十:探针检测,此用于晶圆芯片探针结构的加工方法,微蚀刻可控制针尖大小,范围可达1um至15um之间,后工序增加金属电镀针体(铑、镍、铂、钯或金),可让针体表面可达800维式硬度,且选择的贵金属都是高导电和耐磨的特性,故验证过后,可大幅提升探针对晶圆芯片的测试寿命。
  • 一种用于芯片探针结构加工方法
  • [发明专利]一种芯片探针生产设备-CN202310617858.1在审
  • 田敏;田太生;田太全 - 湖南佳禾芯半导体有限公司
  • 2023-05-29 - 2023-08-29 - B21G1/00
  • 本发明揭示了一种芯片探针生产设备,通过采用转盘持续旋转并对探针进行连续折弯的方式加工探针,可有效简化探针的折弯方式,提高折弯工作的连续性,提高生产效率,同时节省了大量人力,相比传统的上下往复式折弯方式,本发明的旋转式折弯方式的连续性更高,惯性力对设备的损伤更小,设备使用寿命更长,并且设备运行更加平稳和高效;包括转盘,所述转盘的轴线水平,转盘的圆周外壁上开设有多个豁口,每个豁口内均设有夹持结构,所述夹持结构能够对探针进行夹持固定,所述转盘的外侧壁上呈环形设有多个拐角推板。
  • 一种芯片探针生产设备
  • [发明专利]一种用于高精密探针的磨型加工中心-CN202310313265.6在审
  • 田敏 - 湖南佳禾芯半导体有限公司
  • 2023-03-28 - 2023-06-06 - B24B19/16
  • 本发明涉及高精密探针加工设备领域,具体为一种用于高精密探针的磨型加工中心,包括加工机箱,还包括:设置在加工机箱内侧顶壁上的磨尖机构,磨尖机构用于对探针进行磨尖成型加工;设置在加工机箱内侧壁上的冷却机构,磨尖机构对探针进行磨尖的同时驱动冷却机构对探针的打磨位置输送冷却液进行降温;设置在加工机箱内侧壁上的循环送料机构,循环送料机构上装有多个探针,且冷却机构输送冷却液的同时驱动循环送料机构将所述探针循环式的向磨尖机构处输送。该种用于高精密探针的磨型加工中心,提高对探针打磨的工作效率,并且实现探针在打磨的同时进行自动转动,无需人力转动,省时省力,大大提高对探针打磨的均匀性,提高成品合格率。
  • 一种用于精密探针加工中心
  • [实用新型]一种高精密探针用磨尖装置-CN202223008736.2有效
  • 田敏 - 湖南佳禾芯半导体有限公司
  • 2022-11-11 - 2023-05-05 - B24B19/16
  • 本实用新型提供有一种高精密探针用磨尖装置,包括工作台,工作台的顶部连接有支撑架,支撑架上设有驱动机构,驱动机构上设有活动座,活动座上横向贯穿开设有一个柱腔,该柱腔内连接有转轴,且转轴的两端均由柱腔的内部延伸出,工作台的顶部连接有直线电机,直线电机的工作台上连接有底座,底座的顶部均匀设有多个用于放置探针的探针槽,工作台上还设有与砂轮相配合作业的探针固定机构。本申请提供了一种一次能够同时对多根探针进行自动磨尖加工处理的磨尖装置,相较于传统的通过人工手持打磨机一根一根的对探针进行磨尖加工处理的方式,本装置不仅可大大提高对探针的加工效率,而且有利于提高探针加工作业的安全性。
  • 一种精密探针用磨尖装置
  • [实用新型]一种高精密探针用检测装置-CN202223008782.2有效
  • 田敏 - 湖南佳禾芯半导体有限公司
  • 2022-11-11 - 2023-05-05 - G01N21/01
  • 本实用新型提供有一种高精密探针用检测装置,包括底板,所述第一固定支架顶部设有第二固定座,所述第二固定座顶部设有显微镜,所述第二固定座底部设有变倍镜头,所述第二固定支架背面设有旋钮,所述第二固定支架侧边设有LED灯源,所述支撑腿顶部设有保护壳,所述固定槽侧边设有转杆,所述转动丝杆侧边设有压紧螺丝,所述压紧螺丝侧边设有探针。该高精密探针用检测装置,通过工作人员扭动旋钮,使得第二固定支架在伸缩杆上进行移动,使得LED灯源随第二固定支架进行调节,同时工作人员在进行操作时,LED灯源能更直接的对准探针,避免了工作人员在使用时,由于灯线不够明亮,导致探针容易伤害到工作人员,具有一定的实用性。
  • 一种精密探针检测装置
  • [实用新型]一种高精密探针用弯折装置-CN202222868958.5有效
  • 田敏 - 湖南佳禾芯半导体有限公司
  • 2022-10-31 - 2023-02-28 - B21F1/00
  • 本实用新型提供有一种高精密探针用弯折装置,包括两个呈左右对称设置的基座,每个基座的底部均固定连接有底座,两个基座的顶部都水平开设有一个探针限位直槽,且两个探针限位直槽处于同一水平线上,底座的顶部与基座上的探针限位直槽基座位置对应处设有探针弯折机构,两个底座上共同设有用于调整两个基座之间间距的动力调节机构。弯折机构包括转动连接于所对应底座上方的转动盘,转动盘的上方转动连接有轴承,转动盘的底部与轴承位置对应处固定连接有能够带动转动盘旋转的牵引把手。本实用新型提供了一种方便对不同长度的探针进行弯折处理的弯折装置,不仅有利于提升探针的弯折效率,而且还有利于提高对探针的弯折效果。
  • 一种精密探针用弯折装置
  • [实用新型]一种高精密探针用电解腐蚀抛光装置-CN202222781029.0有效
  • 田敏 - 湖南佳禾芯半导体有限公司
  • 2022-10-21 - 2023-02-28 - B23H5/08
  • 本实用新型公开了一种高精密探针用电解腐蚀抛光装置,包括用于电解腐蚀抛光探针的主机装置,还包括所述主机装置内安装的用于延伸连接固定的连接装置,所述连接装置上面安装有用于夹持固定多个探针的夹持装置;所述连接装置包括固定座,所述固定座前面焊接有延长杆,所述延长杆前面固定安装有悬架,所述悬架前面对称设置有两个挂钩;所述夹持装置包括连接座,所述连接座下面固定设置有连接杆,所述连接杆下面设置有后夹板。本实用新型所述的一种高精密探针用电解腐蚀抛光装置,通过多个限位槽的设置,保证了一次探针抛光的数量并限定了位置;通过插拔悬挂的设置,增加了取放操作的便利性;通过挂钩固定的设置,保证了固定的稳固可靠。
  • 一种精密探针用电腐蚀抛光装置
  • [实用新型]一种高精密探针用磨平装置-CN202222827255.8有效
  • 田敏 - 湖南佳禾芯半导体有限公司
  • 2022-10-26 - 2023-02-24 - B24B19/16
  • 本实用新型提供有一种高精密探针用磨平装置,包括工作台,工作台的顶部固定连接有支撑架,支撑架的内腔活动设有能够上下运动的电机固定架,电机固定架上固定连接有驱动电机,驱动电机的输出轴贯穿电机固定架并连接有打磨轮,电机固定架的顶部设有高度调整构件,每个螺纹孔内均螺纹连接有与其相配合作业的夹紧螺钉,夹紧螺钉远离L型支架的一端上连接有底座,L型支架上设有用于对待磨平处理的探针进行定位的探针限位件。本实用新型提供了一种一次可同时对多根探针的端部进行磨平处理的磨平装置,相较于传统的一根一根的磨平处理方式无疑大大缩短了探针的磨平加工时间,提高了对探针的磨平效率,方便人们对数量较多的探针进行磨平加工处理。
  • 一种精密探针磨平装置

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