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[实用新型]一种高低温均温晶圆吸盘-CN202320126340.3有效
发明人：张朝磊;阳力;刘建 -专利权人： 深圳晶准半导体科技有限公司
申请日： 2023-01-13 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本实用新型涉及晶圆吸盘技术领域，具体而言，涉及一种高低温均温晶圆吸盘，包括面板模块、底座模块以及设置在两者的均温模块，均温模块采用双层式流道，均温模块上设有螺旋型流道a、螺旋型流道b，螺旋型流道a、螺旋型流道b连通且均与面板模块同轴；螺旋型流道a设有第一入口和第二入口，所述第一入口设置在螺旋型流道a的外侧，所述第二入口设置螺旋型流道a内侧，螺旋型流道b设有第一出口和第二出口，所述第一出口设置在螺旋型流道b的外侧，第二出口设置在螺旋型流道b的内侧，第二入口与第一出口连通。本实用新型设计了双层式流道，可以实现制冷剂在螺旋流道上从外而内旋进，再从内而外旋出，能最大程度降低能耗损失，保证均温效果。
一种低温均温晶圆吸盘

[实用新型]一种多用型快速更换晶圆吸盘-CN202320125386.3有效
发明人：刘建;阳力;张朝磊 -专利权人： 深圳晶准半导体科技有限公司
申请日： 2023-01-13 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明涉及晶圆吸盘技术领域，具体而言，涉及一种多用型快速更换晶圆吸盘，包括：面板模块、底座模块以及用于压紧两者的紧固模块，所述面板模块其中一面用于放置晶圆，其另一面设有若干环形负压槽a且与底座模块贴合设置,所述环形负压槽a与面板模块面形成槽/面相互交替；所述底座模块靠近面板模块一面也设有若干环形负压槽b，其侧面设有真空通道，所述环形负压槽b与底座模块面形成槽/面相互交替；所述紧固模块采用螺丝将面板模块、底座模块压紧。本实用新型在现有技术上添加紧固模块，采用螺丝可拆卸连接方式来固定面板模块、底座模块，相比现有技术的粘胶方式，本实用新型能使得面板模块、底座模块快速更换。
一种多用快速更换吸盘

[发明专利]一种密封性极佳的晶圆吸盘制造工艺-CN202310077365.3在审
发明人：阳力;刘建;张朝磊 -专利权人： 深圳晶准半导体科技有限公司
申请日： 2023-01-13 - 公布日： 2023-05-23 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明涉及晶圆吸盘技术领域，具体而言，涉及一种密封性极佳的晶圆吸盘制造工艺，包括如下步骤：S1.准备面板；S2.在面板上安装钎焊料；S3.安装底板；S4.进行真空钎焊；S5.钎焊热处理，得到晶圆吸盘。本发明将真空钎焊技术运用到晶圆吸盘中，相比现有粘胶技术，本发明利用特定配比的铅焊料与钎焊温度，能使得晶圆吸盘在吸附晶圆更稳定，利于后期晶圆的检测。本发明制造工艺中还设计了钎焊热处理工艺步骤，通过设计该步骤能增强铝合金真空钎焊时的粘合能力。本发明中的真空钎焊技术可以同时实现钎焊时，各接触面的钎焊互不影响，克服了现有现有技术的粘胶，针对多个接触面的粘胶，往往会存在粘胶溢位、粘合不统一等问题，导致粘胶效果大大折扣。
一种密封性极佳吸盘制造工艺